抓手机构、上下料装置和半导体处理设备的制作方法

本发明涉及半导体产品处理，尤其是涉及一种抓手机构、上下料装置和半导体处理设备。

背景技术：

1、随着半导体封装行业的快速发展，半导体的需求量不断增加。

2、目前，针对半导体封装产品的检测、激光刻印、水洗等工艺的处理过程中需要将产品在设备本体上的料盒和处理装置之间进行转移，然而，由于目前料盒通常是直接搁置在设备本体上，这会使料盒的位置无法固定，从而导致推料机构无法准确地抵到料盒中指定位置的待处理产品或者将已处理产品推入料盒中的指定位置。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种抓手机构、上下料装置和半导体处理设备，能够保证推料机构准确地抵到料盒中指定位置的待处理产品，以将待处理产品推出，或者将已处理产品准确推入料盒中的指定位置，操作更为精准可靠。

2、第一方面，本发明提供一种抓手机构，包括：

3、支撑组件，包括承载台和料盒背板，所述料盒背板竖向设置，所述承载台固定在所述料盒背板的下侧，所述承载台上用于供料盒搁置；

4、夹紧组件，可升降设置于所述料盒背板，且位于所述承载台的上侧，用于朝下压紧所述料盒，并使所述料盒紧贴所述料盒背板。

5、在可选的实施方式中，所述夹紧组件包括连接件、夹紧块和弹性件，所述连接件可升降设置于所述料盒背板，所述夹紧块的一端可转动连接于所述连接件，且与所述承载台正对，所述弹性件设置在所述连接件和所述夹紧块之间，用于使所述夹紧块靠近所述承载台的部位具有朝所述料盒背板靠近的运动趋势。

6、在可选的实施方式中，所述料盒背板设置有若干个传感器，所述传感器用于检测所述料盒是否贴住所述料盒背板。

7、在可选的实施方式中，所述抓手机构还包括设置在所述料盒背板上的夹紧驱动件，所述夹紧驱动件与所述夹紧组件连接，用于驱动所述夹紧组件相对于所述支撑组件做运动以压紧所述料盒。

8、第二方面，本发明提供一种上下料装置，包括推料机构和前述实施方式任一项所述的抓手机构；其中，所述推料机构相对于所述支撑组件可活动设置，并能够伸入到所述料盒内。

9、在可选的实施方式中，所述推料机构包括驱动组件和推料组件，所述推料组件包括滑动座和推动件，所述滑动座设置于所述驱动组件，所述推动件与所述滑动座连接，且所述推动件的一端沿横向朝外伸出，所述驱动组件用于驱动所述滑动座横向移动，以使所述推动件伸入所述料盒。

10、在可选的实施方式中，所述推动件用于伸入所述料盒的一端的端面设置有纵向延伸的定位长槽。

11、在可选的实施方式中，所述滑动座和所述推动件之间设置有拉紧弹性件，所述拉紧弹性件用于使所述推动件具有横向朝外移动的运动趋势。

12、在可选的实施方式中，所述滑动座设置有固定部，所述拉紧弹性件的一端连接于所述固定部，另一端连接于所述推动件。

13、在可选的实施方式中，所述拉紧弹性件的另一端连接有连接块，所述连接块设置有横向延伸的长孔，通过一紧固件穿过所述长孔并锁入所述推动件，以将所述连接块和所述推动件连接。

14、在可选的实施方式中，所述滑动座设置有测力传感器，所述测力传感器用于检测所述推动件伸入所述料盒过程中所受的实时阻力，当所述实时阻力达到预设阈值时发出报警信息，所述推动件动作暂停。

15、第三方面，本发明提供一种半导体处理设备，包括前述实施方式任一项所述的上下料装置。

16、本发明实施例的有益效果包括：

17、通过固定在料盒背板下侧的承载台来供料盒搁置，并通过可升降设置于料盒背板，且位于承载台上侧的夹紧组件朝下压紧料盒，并使料盒紧贴料盒背板，从而实现料盒的夹紧，同时由于料盒紧贴料盒背板，因此能够精准地实现料盒在支撑组件上的定位，以保证推料机构进行伸入料盒内能够准确地抵到指定位置的待处理产品，以将待处理产品推出，或者将已处理产品推入料盒中的指定位置，操作更为精准可靠。

技术特征：

1.一种抓手机构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的抓手机构，其特征在于，所述夹紧组件包括连接件、夹紧块和弹性件，所述连接件可升降设置于所述料盒背板，所述夹紧块的一端可转动连接于所述连接件，且与所述承载台正对，所述弹性件设置在所述连接件和所述夹紧块之间，用于使所述夹紧块靠近所述承载台的部位具有朝所述料盒背板靠近的运动趋势。

3.根据权利要求1所述的抓手机构，其特征在于，所述料盒背板设置有若干个传感器，所述传感器用于检测所述料盒是否贴住所述料盒背板。

4.根据权利要求1所述的抓手机构，其特征在于，所述抓手机构还包括设置在所述料盒背板上的夹紧驱动件，所述夹紧驱动件与所述夹紧组件连接，用于驱动所述夹紧组件相对于所述支撑组件做运动以压紧所述料盒。

5.一种上下料装置，其特征在于，包括推料机构和权利要求1-4任一项所述的抓手机构；其中，所述推料机构相对于所述支撑组件可活动设置，并能够伸入到所述料盒内。

6.根据权利要求5所述的上下料装置，其特征在于，所述推料机构包括驱动组件和推料组件，所述推料组件包括滑动座和推动件，所述滑动座设置于所述驱动组件，所述推动件与所述滑动座连接，且所述推动件的一端沿横向朝外伸出，所述驱动组件用于驱动所述滑动座横向移动，以使所述推动件伸入所述料盒。

7.根据权利要求6所述的上下料装置，其特征在于，所述推动件用于伸入所述料盒的一端的端面设置有纵向延伸的定位长槽。

8.根据权利要求6所述的上下料装置，其特征在于，所述滑动座和所述推动件之间设置有拉紧弹性件，所述拉紧弹性件用于使所述推动件具有横向朝外移动的运动趋势。

9.根据权利要求8所述的上下料装置，其特征在于，所述滑动座设置有固定部，所述拉紧弹性件的一端连接于所述固定部，另一端连接于所述推动件。

10.根据权利要求9所述的上下料装置，其特征在于，所述拉紧弹性件的另一端连接有连接块，所述连接块设置有横向延伸的长孔，通过一紧固件穿过所述长孔并锁入所述推动件，以将所述连接块和所述推动件连接。

11.根据权利要求6所述的上下料装置，其特征在于，所述滑动座设置有测力传感器，所述测力传感器用于检测所述推动件伸入所述料盒过程中所受的实时阻力，当所述实时阻力达到预设阈值时发出报警信息，所述推动件动作暂停。

12.一种半导体处理设备，其特征在于，包括权利要求5-11任一项所述的上下料装置。

技术总结
本发明提供了一种抓手机构、上下料装置和半导体处理设备，涉及半导体产品处理技术领域，通过固定在料盒背板下侧的承载台来供料盒搁置，并通过可升降设置于料盒背板，且位于承载台上侧的夹紧组件朝下压紧料盒，并使料盒紧贴料盒背板，从而实现料盒的夹紧，同时由于料盒紧贴料盒背板，因此能够精准地实现料盒在支撑组件上的定位，以保证推料机构进行伸入料盒内能够准确地抵到指定位置的待处理产品，以将待处理产品推出，或者将已处理产品推入料盒中的指定位置，操作更为精准可靠。

技术研发人员：兰振,王为新,郑军
受保护的技术使用者：聚时科技（上海）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15