晶圆微动装置及自动化加工生产线的制作方法

本申请涉及半导体加工设备，尤其是涉及一种晶圆微动装置及自动化加工生产线。

背景技术：

1、在半导体加工过程中，时常需要使用微动装置对晶圆位置的进行微调整。微动装置通常包括用于承托晶圆的承托机构和至少两个驱动机构，至少两个驱动机构均与承托机构连接，且至少两个驱动机构中的每一个驱动机构的延伸方向均不相同，以驱动承托机构沿不同的方向移动，这使得微动装置占用的空间较大，难以适应结构紧凑、空间紧张的自动化加工生产线。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种晶圆微动装置及自动化加工生产线，以在一定程度上解决现有技术中存在的微动装置占用的空间较大，难以适应结构紧凑的空间紧张的自动化加工生产线的技术问题。

2、根据本申请的第一方面提供一种晶圆微动装置，包括承托部、滑动组件，第一偏心轴、第二偏心轴、第一驱动部和第二驱动部，用于承托晶圆的所述承托部与所述滑动组件连接，所述第一偏心轴与所述第二偏心轴两者均沿第一方向延伸；

3、所述滑动组件包括第一施力面和第二施力面，所述第一偏心轴的一端与所述第一驱动部连接，所述第一偏心轴的另一端的侧面与所述第一施力面抵接，以使得所述第一驱动部能够驱动所述滑动组件沿垂直于所述第一施力面的第二方向移动，所述第二驱动部与所述第二偏心轴的一端连接，所述第二偏心轴的另一端的侧面与所述第二施力面抵接，以使得所述第二驱动部能够驱动所述滑动组件沿垂直于所述第二施力面的第三方向移动，所述第一施力面与所述第二施力面两者交叉。

4、优选地，所述滑动组件包括彼此连接的第一滑块和第二滑块，所述承托部和所述第一施力面均设置于所述第一滑块，所述第二施力面设置于所述第二滑块。

5、优选地，所述滑动组件还包括设置于所述第一滑块和第二滑块两者的之间连接导向部；

6、所述连接导向部的面对所述第二滑块的一侧设置有沿所述第二方向延伸的限位滑槽，所述第二滑块的至少部分设置于所述限位滑槽的内侧，以使得所述连接导向部能够相对所述第二滑块沿所述第二方向滑动；

7、所述连接导向部的背对所述第二滑块上的一侧与所述第一滑块连接。

8、优选地，所述限位滑槽的在第三方向上的两侧的内壁能够限定所述第二滑块在所述第三方向上的位置，在所述第二滑块沿所述第三方向运动时，所述第一滑块能够随着所述第二滑块移动。

9、优选地，所述第一滑块包括彼此可拆卸连接的连接部分和调整部分，以使得所述第一滑块在所述第二方向上的长度可调整；

10、所述承托部固定设置于所述连接部分的在所述第三方向上的第一端，所述调整部分包括抵接凸块，所述抵接凸块相对所述连接部分的在第三方向上的第二端的端面凸出，使得所述抵接凸块与所述连接部分两者形成抵接缺口，所述第一施力面为所述抵接凸块的在所述第二方向上的表面。

11、优选地，还包括第一挂爪、第二挂爪和第一弹性部，第一挂爪设置于所述抵接凸块的面对所述第二滑块的一侧，所述第二挂爪设置于所述第二滑块的面对所述第一滑块的一侧，所述第一弹性部的两端分别挂设于所述第一挂爪和所述第二挂爪，且所述第一弹性部沿所述第二方向拉伸。

12、优选地，还包括固定部和第二弹性部，所述固定部设置于所述第二滑块的背对所述第二施力面的一侧，所述第二弹性部被压缩地设置于所述固定部和所述第二滑块两者之间。

13、优选地，还包括限位部，所述限位部与所述连接导向部两者沿所述第一方向相对设置，所述第二滑块设置于所述限位部与所述连接导向部两者之间。

14、优选地，还包括计数圆盘和光电感应部，所述计数圆盘设置有沿所述第一方向贯穿所述计数圆盘的计数缺口，所述第一偏心轴和所述第二偏心轴两者中的至少一者的外侧套设有所述计数圆盘，所述光电感应部设置于所述计数圆盘的一侧，以记录所述计数缺口经过所述光电感应部的次数。

15、根据本申请的第二方面提供一种自动化加工生产线，包括上述任一技术方案所述的晶圆微动装置，因而，具有该晶圆微动装置的全部有益技术效果，在此，不再赘述。

16、与现有技术相比，本申请的有益效果为：

17、本申请提供的晶圆微动装置，通过在滑动组件上设置彼此交叉的第一施力面和第二施力面，并将均沿第一方向延伸的第一偏心轴和第二偏心轴分别作用于第一施力面和第二施力面，以使得第一驱动部能够驱动滑动组件沿垂直于第一施力面的第二方向移动，第二驱动部能够驱动滑动组件沿垂直于第二施力面的第三方向移动，如此，通过上述结构使得沿相同方向延伸的第一偏心轴和第二偏心轴，便能实现驱动设置于滑动组件上的承托部沿第二方向和第三方向移动，有效地压缩了晶圆微动装置占用的空间，进而使得晶圆微动装置能够适应结构紧凑、空间紧张的自动化加工生产线，提高了晶圆微动装置的灵活适应性。

18、为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

技术特征：

1.一种晶圆微动装置，其特征在于，包括承托部、滑动组件，第一偏心轴、第二偏心轴、第一驱动部和第二驱动部，用于承托晶圆的所述承托部与所述滑动组件连接，所述第一偏心轴与所述第二偏心轴两者均沿第一方向延伸；

2.根据权利要求1所述的晶圆微动装置，其特征在于，所述滑动组件包括彼此连接的第一滑块和第二滑块，所述承托部和所述第一施力面均设置于所述第一滑块，所述第二施力面设置于所述第二滑块。

3.根据权利要求2所述的晶圆微动装置，其特征在于，所述滑动组件还包括设置于所述第一滑块和第二滑块两者的之间连接导向部；

4.根据权利要求3所述的晶圆微动装置，其特征在于，所述限位滑槽的在第三方向上的两侧的内壁能够限定所述第二滑块在所述第三方向上的位置，在所述第二滑块沿所述第三方向运动时，所述第一滑块能够随着所述第二滑块移动。

5.根据权利要求3所述的晶圆微动装置，其特征在于，所述第一滑块包括彼此可拆卸连接的连接部分和调整部分，以使得所述第一滑块在所述第二方向上的长度可调整；

6.根据权利要求5所述的晶圆微动装置，其特征在于，还包括第一挂爪、第二挂爪和第一弹性部，第一挂爪设置于所述抵接凸块的面对所述第二滑块的一侧，所述第二挂爪设置于所述第二滑块的面对所述第一滑块的一侧，所述第一弹性部的两端分别挂设于所述第一挂爪和所述第二挂爪，且所述第一弹性部沿所述第二方向拉伸。

7.根据权利要求2所述的晶圆微动装置，其特征在于，还包括固定部和第二弹性部，所述固定部设置于所述第二滑块的背对所述第二施力面的一侧，所述第二弹性部被压缩地设置于所述固定部和所述第二滑块两者之间。

8.根据权利要求3所述的晶圆微动装置，其特征在于，还包括限位部，所述限位部与所述连接导向部两者沿所述第一方向相对设置，所述第二滑块设置于所述限位部与所述连接导向部两者之间。

9.根据权利要求2至8中任一项所述的晶圆微动装置，其特征在于，还包括计数圆盘和光电感应部，所述计数圆盘设置有沿所述第一方向贯穿所述计数圆盘的计数缺口，所述第一偏心轴和所述第二偏心轴两者中的至少一者的外侧套设有所述计数圆盘，所述光电感应部设置于所述计数圆盘的一侧，以记录所述计数缺口经过所述光电感应部的次数。

10.一种自动化加工生产线，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的晶圆微动装置。

技术总结
本申请涉及半导体加工设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆微动装置及自动化加工生产线，晶圆微动装置包括承托部、滑动组件，第一偏心轴、第二偏心轴、第一驱动部和第二驱动部，承托部与滑动组件连接，第一偏心轴与第二偏心轴均沿第一方向延伸；滑动组件包括第一施力面和第二施力面，第一偏心轴的侧面与第一施力面抵接，第二偏心轴的侧面与第二施力面抵接第一施力面与第二施力面两者交叉。根据本申请提供的晶圆微动装置及自动化加工生产线，有效地压缩了晶圆微动装置占用的空间，进而使得晶圆微动装置能够适应结构紧凑、空间紧张的自动化加工生产线，提高了晶圆微动装置的灵活适应性。

技术研发人员：张伟,王洪宇,李思,杨树文
受保护的技术使用者：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15