太阳电池及其制备方法、镀膜装置及太阳电池生产系统与流程

本发明涉及太阳电池，特别是涉及一种太阳电池及其制备方法、镀膜装置及太阳电池生产系统。

背景技术：

1、在太阳电池制备时，通常需要在待镀膜件上制备透明导电(tco)薄膜。目前，透明导电薄膜的材料通常采用氧化铟锡(ito)。其中，随着太阳电池产能的增加，对铟的需求也越来越大。然而，目前全球铟的产能和储量都无法支撑太阳电池大规模的制备，且铟的成本较高，这导致太阳电池的成本较高，从而严重限制了太阳电池的应用和普及。

技术实现思路

1、基于此，有必要提供一种减少铟使用量的太阳电池。

2、另，还有必要提供一种上述太阳电池的制备方法。

3、另，还有必要提供一个镀膜装置以及包括该镀膜装置的太阳电池生产系统。

4、本发明至少一实施例提供一种太阳电池，包括：

5、太阳电池前驱体；以及

6、第一透明导电薄膜，设置于所述太阳电池前驱体上；

7、其中，所述第一透明导电薄膜包括依次层叠设置于所述太阳电池前驱体上的第一透明导电层、第一夹心薄膜以及第二透明导电层，所述第一透明导电层的材料包括氧化铟锡，所述第一夹心薄膜与所述第一透明导电层的材料不同，所述第二透明导电层的材料包括氧化铟锡。

8、在其中一些实施例中，所述第一夹心薄膜具有两层或两层以上的结构。

9、在其中一些实施例中，所述第一夹心薄膜包括设置于所述第一透明导电层上的第一夹心层以及设置于所述第一夹心层上的第二夹心层，所述第一夹心层和所述第二夹心层的材料选自氧化锌铝和氧化锡氟中的其中一种，且所述第一夹心层和所述第二夹心层的材料不同。

10、在其中一些实施例中，所述太阳电池还包括：

11、第二透明导电薄膜，所述第二透明导电薄膜和所述第一透明导电薄膜分别设置于所述太阳电池前驱体相对的两表面上；

12、其中，所述第二透明导电薄膜包括依次层叠设置于所述太阳电池前驱体上的第三透明导电层、第二夹心薄膜以及第四透明导电层，所述第三透明导电层的材料包括氧化铟锡，所述第二夹心薄膜与所述第三透明导电层的材料不同，所述第四透明导电层的材料包括氧化铟锡。

13、本发明至少一实施例提供一种上述太阳电池的制备方法，包括以下步骤：

14、在所述太阳电池前驱体上制备所述第一透明导电层；

15、在所述第一透明导电层上制备所述第一夹心薄膜；以及

16、在所述第一夹心薄膜上制备所述第二透明导电层，从而得到所述第一透明导电薄膜。

17、在其中一些实施例中，采用物理气相沉积工艺制备所述第一透明导电层和所述第二透明导电层，采用化学气相沉积工艺制备所述第一夹心薄膜。

18、本发明至少一实施例提供一种镀膜装置，包括：

19、第一物理气相沉积腔室，所述第一物理气相沉积腔室用于制备上述的第一透明导电层；

20、化学气相沉积腔室，所述化学气相沉积腔室和第一物理气相沉积腔室连通，所述化学气相沉积腔室用于制备上述的第一夹心薄膜；以及

21、第二物理气相沉积腔室，所述第二物理气相沉积腔室和所述化学气相沉积腔室连通，所述第二物理气相沉积腔室用于制备上述的第二透明导电层。

22、在其中一些实施例中，所述化学气相沉积腔室包括相互连通的第一化学气相沉积分腔和第二化学气相沉积分腔，所述第一化学气相沉积分腔和所述第一物理气相沉积腔室连通，所述第二化学气相沉积分腔和所述第二物理气相沉积腔室连通。

23、在其中一些实施例中，所述第一物理气相沉积腔室包括相互连通的第一物理气相沉积分腔、第一隔离分腔以及第二物理气相沉积分腔，且所述第一隔离分腔设置于所述第一物理气相沉积分腔和所述第二物理气相沉积分腔之间；和/或

24、所述第二物理气相沉积腔室包括相互连通的第三物理气相沉积分腔、第二隔离分腔以及第四物理气相沉积分腔，且所述第二隔离分腔设置于所述第三物理气相沉积分腔和所述第四物理气相沉积分腔之间；和/或

25、所述镀膜装置还包括第一连接腔室，所述第一连接腔室设置于所述第一物理气相沉积腔室与所述化学气相沉积腔室之间，所述第一连接腔室连通于所述第一物理气相沉积腔室以及所述化学气相沉积腔室；和/或

26、所述镀膜装置还包括第一缓存腔室，所述第一缓存腔室设置于所述第一物理气相沉积腔室远离所述化学气相沉积腔室的一侧，所述第一缓存腔室和所述第一物理气相沉积腔室连通；和/或

27、所述镀膜装置还包括第一真空腔室，所述第一真空腔室设置于所述化学气相沉积腔室和所述第二物理气相沉积腔室之间，所述第一真空腔室连通于所述化学气相沉积腔室和所述第二物理气相沉积腔室。

28、本发明至少一实施例提供一种太阳电池生产系统，包括上述的镀膜装置。

29、本发明将传统单层的透明导电薄膜改为多叠层结构，即将所述第一透明导电薄膜设置为包括第一透明导电层、第一夹心薄膜以及第二透明导电层的多叠层结构，由于所述第一透明导电层的材料包括氧化铟锡，且所述第一夹心薄膜与所述第一透明导电层的材料不同，因此在透明导电薄膜相同厚度的条件下，本发明能够减少铟的使用量，从而能够有效降低太阳电池的生产成本，促进了太阳电池的应用和普及。

技术特征：

1.一种太阳电池，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的太阳电池，其特征在于，所述第一夹心薄膜具有两层或两层以上的结构。

3.如权利要求1所述的太阳电池，其特征在于，所述第一夹心薄膜包括设置于所述第一透明导电层上的第一夹心层以及设置于所述第一夹心层上的第二夹心层，所述第一夹心层和所述第二夹心层的材料选自氧化锌铝和氧化锡氟中的其中一种，且所述第一夹心层和所述第二夹心层的材料不同。

4.如权利要求1至3中任一项所述的太阳电池，其特征在于，还包括：

5.一种如权利要求1至4中任一项所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

6.如权利要求5所述的太阳电池的制备方法，其特征在于，采用物理气相沉积工艺制备所述第一透明导电层和所述第二透明导电层，采用化学气相沉积工艺制备所述第一夹心薄膜。

7.一种镀膜装置，其特征在于，包括：

8.如权利要求7所述的镀膜装置，其特征在于，所述化学气相沉积腔室包括相互连通的第一化学气相沉积分腔和第二化学气相沉积分腔，所述第一化学气相沉积分腔和所述第一物理气相沉积腔室连通，所述第二化学气相沉积分腔和所述第二物理气相沉积腔室连通。

9.如权利要求7或8所述的镀膜装置，其特征在于，所述第一物理气相沉积腔室包括相互连通的第一物理气相沉积分腔、第一隔离分腔以及第二物理气相沉积分腔，且所述第一隔离分腔设置于所述第一物理气相沉积分腔和所述第二物理气相沉积分腔之间；和/或

10.一种太阳电池生产系统，其特征在于，包括如权利要求7至9中任一项所述的镀膜装置。

技术总结
本发明提供了一种太阳电池及其制备方法、镀膜装置及太阳电池生产系统。所述太阳电池包括太阳电池前驱体以及第一透明导电薄膜。其中，所述第一透明导电薄膜设置于所述太阳电池前驱体上，所述第一透明导电薄膜包括依次层叠设置于所述太阳电池前驱体上的第一透明导电层、第一夹心薄膜以及第二透明导电层，所述第一透明导电层的材料包括氧化铟锡，所述第一夹心薄膜与所述第一透明导电层的材料不同，所述第二透明导电层的材料包括氧化铟锡。本发明能够减少铟的使用量。

技术研发人员：王陈,顾峰,龙倩
受保护的技术使用者：通威太阳能（安徽）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15