一种引线框架生产的激光曝光设备的制作方法

本发明涉及曝光设备，具体涉及一种引线框架生产的激光曝光设备。

背景技术：

1、引线框架是半导体封装的基础材料，是集成线路芯片的载体，生产引线框架的主要材料是铜合金，主要通过冲压的方式生产，冲压完成后需要对引线框架进行蚀刻，以实现高密度和多脚数引线框架的生产；蚀刻工艺的基本原理是利用化学感光材料的光敏特性，在铜带上形成抗蚀刻掩膜，通过腐蚀溶液蚀刻掉部分金属，得到所需的产品。掩膜分为干膜和湿膜，干膜在使用时通常是通过压膜机压在铜带上。在对铜带进行蚀刻前，需要在引线框架的干膜上进行曝光，以方便腐蚀液在引线框架上腐蚀出所需要的线路。

2、公开号为cn212588602u的专利文件公开了一种引线框架的激光曝光设备，该设备输入辊和收卷辊均与张力辊相配合，对引线框架进行张紧，使引线框架不需要承托即可保持水平，避免托板上的杂物对引线框架下侧的曝光造成妨碍，保证引线框架的两侧曝光准确度高，进而提高了引线框架的合格率。

3、但是，上述设备虽然可以对引线框架在曝光时保持张力以水平通过激光曝光机构，但是，收卷辊在对引线框架进行收卷时，往往会出现收卷偏移导致引线框架收卷不整齐的情况，这是由于在收卷辊转动过程中，由于驱动机构的带动，会不可避免的产生震动，导致收卷辊不稳定，使得引线框架在传送运动过程中的张力改变，从而影响了对于引线框架的收卷；同时也导致引线框架经过曝光机构时的张力是易变的，也就是说，引线框架经过曝光机构时，时而松散时而紧绷，造成引线框架接受的曝光不够均匀，进而影响曝光效果。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种引线框架生产的激光曝光设备，解决以下技术问题：

2、(1)如何防止引线框架收卷不整齐；

3、(2)如何提高引线框架的曝光效果。

4、本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

5、一种引线框架生产的激光曝光设备，包括曝光机构，所述曝光机构的进入端外部设有放卷辊、且输出端外部设有收卷辊；

6、所述放卷辊与曝光机构之间设有导向辊一与导向辊二，所述收卷辊与曝光机构之间设有导向辊三与导向辊四，导向辊一与导向辊二之间、以及导向辊三与导向辊四之间均设有自动调节机构，用以对引线框架在传送过程中的张力进行自动调节；

7、所述自动调节机构包括压辊机构和重力机构，其中，压辊机构包括支板一和支板二，所述支板一与支板二之间滑动设置有压辊；重力机构与压辊两端的中心轴相连，用以对压辊进行下拉。

8、在本发明更进一步的方案中：所述重力机构包括两个分别连接于压辊两端的中心轴下侧的竖杆，两个竖杆下端均连接有连接块，两个连接块之间设有方杆，所述方杆上设有多个砝码块。

9、在本发明更进一步的方案中：两个连接块之间连接有设于方杆下方的滑杆，多个砝码块的两侧分别设有滑动套设于方杆和滑杆的挡板，所述挡板与连接块之间设有套设于滑杆的弹簧。

10、在本发明更进一步的方案中：两个所述支板一上均设有竖向的滑轨，所述压辊两端的中心轴上分别连接有滑动嵌设于滑轨中的滑块。

11、在本发明更进一步的方案中：两个所述滑块外侧连接有检测机构，用以对压辊在传送引线框架过程中的稳定性进行检测。

12、在本发明更进一步的方案中：所述检测机构包括激光刻蚀笔和平衡球，所述激光刻蚀笔和平衡球分别通过安装块连接于两个滑块外侧；所述激光刻蚀笔外侧设有纸张传送机构，用以接收激光刻蚀笔发出的激光刻蚀记号。

13、在本发明更进一步的方案中：所述纸张传送机构包括可转动且并列设置的卷辊一和卷辊二，所述卷辊一用以放卷纸张，所述卷辊二用以收卷纸张，且纸张传送方向与激光刻蚀笔的激光发射方向垂直。

14、在本发明更进一步的方案中：所述卷辊一与卷辊二通过支架安装于激光刻蚀笔外侧，所述支架上设有驱动机构，用以带动卷辊一与卷辊二同步转动。

15、在本发明更进一步的方案中：所述驱动机构包括微型电机，所述微型电机的输出轴与卷辊一或卷辊二连接，所述卷辊一与卷辊二之间通过皮带传送机构传动连接。

16、在本发明更进一步的方案中：所述皮带传送机构包括两个传动轮，两个所述传动轮分别与卷辊一和卷辊二的中心旋转轴相连，且两个传送轮之间通过皮带连接。

17、本发明的有益效果：

18、(1)本发明实施例通过在压辊机构下侧设置悬空的重力机构，使压辊受到一个趋于恒定的向下的拉力，从而可以保证经过压辊的引线框架受到压辊的压力而趋向恒定，即使引线框架因收卷辊震动而导致张力发生改变，也可以通过压辊给予的压力进行自动调节，即当引线框架的张力加大时，压辊自动向上运动，引线框架的张力减小时，压辊自动向下运动，从而对引线框架的张力进行自动调节，使引线框架的张力始终保持稳定，因此引线框架在收卷时始终保持稳定的张力，因此不会产生收卷偏移导致收卷不整齐的情况，还可以保证引线框架在经过曝光机构中时更加平稳，受到曝光的程度更加均匀，提高曝光效果。

19、(2)在压辊机构对引线框架进行自动调节的过程中，压辊会产生上下方向上的运动，压辊带动滑块随之运动，滑块带动激光刻蚀笔随之运动，此时，纸张传送机构在激光刻蚀笔的外侧进行匀速传送，则激光刻蚀笔将发出的激光刻蚀在纸张上，引线框架的稳定性越差，压辊机构的自动调节功能运动的越多，激光刻蚀笔的高度变化量越大，连续性线段的起伏度越大，因此，最终可以通过观察纸张上留下的激光刻蚀印记，判断引线框架在曝光过程中的稳定性情况，进而对于起伏度大的线段部位所对应的引线框架部位进行检查，判断该部位是否存在质量问题，防止质量不良的引线框架进入下一生产线。

技术特征：

1.一种引线框架生产的激光曝光设备，包括曝光机构(500)，所述曝光机构(500)的进入端外部设有放卷辊(100)、且输出端外部设有收卷辊(600)，其特征在于：

2.根据权利要求1所述的引线框架生产的激光曝光设备，其特征在于，所述重力机构(700)包括两个分别连接于压辊(303)两端的中心轴下侧的竖杆(701)，两个竖杆(701)下端均连接有连接块(702)，两个连接块(702)之间设有方杆(703)，所述方杆(703)上设有多个砝码块(707)。

3.根据权利要求2所述的引线框架生产的激光曝光设备，其特征在于，两个连接块(702)之间连接有设于方杆(703)下方的滑杆(704)，多个砝码块(707)的两侧分别设有滑动套设于方杆(703)和滑杆(704)的挡板(705)，所述挡板(705)与连接块(702)之间设有套设于滑杆(704)的弹簧(706)。

4.根据权利要求1所述的引线框架生产的激光曝光设备，其特征在于，两个所述支板一(301)上均设有竖向的滑轨，所述压辊(303)两端的中心轴上分别连接有滑动嵌设于滑轨中的滑块(304)。

5.根据权利要求4所述的引线框架生产的激光曝光设备，其特征在于，两个所述滑块(304)外侧连接有检测机构(800)，用以对压辊(303)在传送引线框架过程中的稳定性进行检测。

6.根据权利要求5所述的引线框架生产的激光曝光设备，其特征在于，所述检测机构(800)包括激光刻蚀笔(801)和平衡球(802)，所述激光刻蚀笔(801)和平衡球(802)分别通过安装块连接于两个滑块(304)外侧；所述激光刻蚀笔(801)外侧设有纸张传送机构，用以接收激光刻蚀笔(801)发出的激光刻蚀记号。

7.根据权利要求6所述的引线框架生产的激光曝光设备，其特征在于，所述纸张传送机构包括可转动且并列设置的卷辊一(804)和卷辊二(805)，所述卷辊一(804)用以放卷纸张，所述卷辊二(805)用以收卷纸张，且纸张传送方向与激光刻蚀笔(801)的激光发射方向垂直。

8.根据权利要求7所述的引线框架生产的激光曝光设备，其特征在于，所述卷辊一(804)与卷辊二(805)通过支架(803)安装于激光刻蚀笔(801)外侧，所述支架(803)上设有驱动机构，用以带动卷辊一(804)与卷辊二(805)同步转动。

9.根据权利要求8所述的引线框架生产的激光曝光设备，其特征在于，所述驱动机构包括微型电机(806)，所述微型电机(806)的输出轴与卷辊一(804)或卷辊二(805)连接，所述卷辊一(804)与卷辊二(805)之间通过皮带传送机构(807)传动连接。

10.根据权利要求9所述的引线框架生产的激光曝光设备，其特征在于，所述皮带传送机构(807)包括两个传动轮，两个所述传动轮分别与卷辊一(804)和卷辊二(805)的中心旋转轴相连，且两个传送轮之间通过皮带连接。

技术总结
本发明公开了一种引线框架生产的激光曝光设备，涉及曝光设备技术领域，包括曝光机构，曝光机构的进入端外部设有放卷辊、且输出端外部设有收卷辊；放卷辊与曝光机构之间设有导向辊一与导向辊二，收卷辊与曝光机构之间设有导向辊三与导向辊四，导向辊一与导向辊二之间、以及导向辊三与导向辊四之间均设有自动调节机构；自动调节机构包括压辊机构和重力机构，压辊机构包括支板一和支板二，支板一与支板二之间滑动设置有压辊；重力机构与压辊两端的中心轴相连；本发明通过压辊机构和重力机构对引线框架的张力进行自动调节，使引线框架的张力始终保持稳定，保证引线框架在经过曝光机构中时更加平稳，受到曝光的程度更加均匀，提高曝光效果。

技术研发人员：高小平,孙煜,雷诚
受保护的技术使用者：安徽立德半导体材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15