一种半导体AMHS系统中晶圆载盒的自动引导小车设备的制作方法

本发明涉及半导体，具体为一种半导体amhs系统中晶圆载盒的自动引导小车设备。

背景技术：

1、半导体运输晶圆载盒存在问题：人工晶圆载盒运输装置，需要大量的人工劳动力、物料信息完全靠人工记录或随物料单导致物料易丢失、寻物料困难等缺点；传统物料电子货架为固定式，虽解决了物料易丢失、寻找物料困难等问题，但跨区域移动需人工跨区域走动结合人工晶圆运输装置进行物料运输，自动化性低、未完全解决物料自动化运输问题。

2、因此，我们提出一种半导体amhs系统中晶圆载盒的自动引导小车设备，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种半导体amhs系统中晶圆载盒的自动引导小车设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体amhs系统中晶圆载盒的自动引导小车设备，包括：自主移动式引导小车，所述自主移动式引导小车上安装机箱；

3、所述机箱内设有晶圆盒载位；

4、所述晶圆盒载位上表面均设有rfid天线读取器和按压传感器以及晶圆载盒盘面定位销；

5、所述机箱顶部设有电控箱，电控箱内设有rfid物料信息读取系统、主控制系统和操作控制屏幕。

6、优选的，所述机箱顶部设有封盖，操作控制屏幕位于封盖上。

7、优选的，所述封盖上还设有两个wifi无线天线以及两个三色灯。

8、优选的，所述封盖一侧面设有警示灯和紧急停止按钮。

9、优选的，所述机箱内通过隔板分成上下两层。

10、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

11、选用市场主流自主移动式引导小车作为运输载体，解决了固定式物料货架无法跨区域自主运输功能以及解决了人工劳动力问题，满足物料电子货架上传物料信息，通过解决两种传统运输晶圆载盒装置问题把其兼容在一起，更好的使工厂提升自动化、效率提升性能。

技术特征：

1.一种半导体amhs系统中晶圆载盒的自动引导小车设备，其特征在于：包括：自主移动式引导小车（1），所述自主移动式引导小车（1）上安装机箱（2）；

2.根据权利要求1所述的一种半导体amhs系统中晶圆载盒的自动引导小车设备，其特征在于，所述机箱（2）顶部设有封盖（6），操作控制屏幕（5）位于封盖（6）上。

3.根据权利要求2所述的一种半导体amhs系统中晶圆载盒的自动引导小车设备，其特征在于，所述封盖（6）上还设有两个wifi无线天线（9）以及两个三色灯（8）。

4.根据权利要求3所述的一种半导体amhs系统中晶圆载盒的自动引导小车设备，其特征在于，所述封盖（6）一侧面设有警示灯（10）和紧急停止按钮（7）。

5.根据权利要求1所述的一种半导体amhs系统中晶圆载盒的自动引导小车设备，其特征在于，所述机箱（2）内通过隔板分成上下两层。

技术总结
本发明公开了一种半导体AMHS系统中晶圆载盒的自动引导小车设备，包括：自主移动式引导小车，所述自主移动式引导小车上安装机箱，所述机箱内设有晶圆盒载位，所述晶圆盒载位上表面均设有RFID天线读取器和按压传感器以及晶圆载盒盘面定位销，所述机箱顶部设有电控箱，电控箱内设有RFID物料信息读取系统、主控制系统和操作控制屏幕。本发明选用市场主流自主移动式引导小车作为运输载体，解决了固定式物料货架无法跨区域自主运输功能以及解决了人工劳动力问题，满足物料电子货架上传物料信息，通过解决两种传统运输晶圆载盒装置问题把其兼容在一起，更好的使工厂提升自动化、效率提升性能。

技术研发人员：葛海骏,时交警
受保护的技术使用者：芯博佳信息科技（苏州）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15