本发明涉及mlcc制造,特别是涉及一种利用负压改善mlcc封端针孔的方法。
背景技术:
1、随着电子元器件与电力电子科学技术不断革新,各类型电子器件高可靠性要求的趋势不断加强,电子元件高质量要求变得重要起来。近年来,具有高可靠性要求的mlcc逐渐受到人们的重视,并被广泛应用于航空、航天、电子、交通运输和电信领域元器件等领域中。
2、在传统的mlcc封端及烧端制程工艺中,针孔一直是难以消除及改善的不良之一。针孔不良的存在常导致后续电镀镀液的渗入侵蚀,成品的可靠性下降,贴装过程中的“立碑”等问题。
3、目前,对于电子元件针孔问题主要通过过程控制手段进行改善。国家知识产权局于2021年8.13公布的一篇专利申请号为cn202110382030.3,名称:一种改善大直径半导体硅片背封针孔不良的方法的发明专利,此发明专利公布了一种以通过平衡设备腔体压力、改进设备保养方法、降低来料表面杂质的技术手段,提高了背封工序的一次良率。此专利对于设备及6s控制过分依赖,对于机、法、料三个阶段的改善要求较高,从而极大的增加了针孔的改善难度和成本。
4、因此,市场上急需一种利用负压改善mlcc封端针孔的方法,用于解决上述问题。
技术实现思路
1、本发明的目的是提供一种利用负压改善mlcc封端针孔的方法,用于解决上述现有技术中存在的技术问题,利用负压原理来去除针孔,方法简单。
2、为实现上述目的,本发明提供了如下方案:
3、本发明公开了一种利用负压改善mlcc封端针孔的方法,包括以下步骤:
4、s1、对倒角后的mlcc进行预封端;
5、s2、对预封端后的mlcc放置在密封容器中,并对密封容器进行抽压,使其呈负压状态,并进行保压;
6、s3、对保压后的mlcc进行破真空;
7、s4、对破真空处理后的mlcc进行烘干处理;
8、s5、对烘干后的mlcc进行烧端处理。
9、优选的,步骤s2中的负压压力为0-0.1013mpa。
10、优选的,步骤s2中的抽压时间和保压时间均为0-60s。
11、优选的,步骤s3中的破真空时间为0-60s。
12、优选的,步骤s4中的烘干温度为100-150℃,烘干时间为5-60min。
13、优选的,步骤s5中的烧端温度为500-900℃,烧端时间为30-150min。
14、优选的,步骤s2和步骤s3至少进行一次。
15、优选的,步骤s2和步骤s3连续进行两次。
16、本发明相对于现有技术取得了以下技术效果:
17、本发明利用负压的技术手段解决改善mlcc封端针孔不良问题,并且整个制程工艺过程简单、操作简易,易于实现规模化制造。此外,制程工艺成本低,适合推广使用。
18、进一步的,对于封端后湿膜状态的mlcc可进行一次、两次或多次的负压处理,使得制得的mlcc封端针孔得到有效改善,避免了后续镀液侵蚀渗入,可靠性下降及贴装后“立碑”等问题。
1.一种利用负压改善mlcc封端针孔的方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的利用负压改善mlcc封端针孔的方法,其特征在于:步骤s2中的负压压力为0-0.1013mpa。
3.根据权利要求1所述的利用负压改善mlcc封端针孔的方法,其特征在于:步骤s2中的抽压时间和保压时间均为0-60s。
4.根据权利要求1所述的利用负压改善mlcc封端针孔的方法,其特征在于:步骤s3中的破真空时间为0-60s。
5.根据权利要求1所述的利用负压改善mlcc封端针孔的方法,其特征在于:步骤s4中的烘干温度为100-150℃,烘干时间为5-60min。
6.根据权利要求1所述的利用负压改善mlcc封端针孔的方法,其特征在于:步骤s5中的烧端温度为500-900℃,烧端时间为30-150min。
7.根据权利要求1所述的利用负压改善mlcc封端针孔的方法,其特征在于:步骤s2和步骤s3至少进行一次。
8.根据权利要求7所述的利用负压改善mlcc封端针孔的方法,其特征在于:步骤s2和步骤s3连续进行两次。