一种提高激光SE刻膜精度的电池板制作方法与流程

本发明属于太阳能电池制备，具体涉及一种提高激光se刻膜精度的电池板制作方法。

背景技术：

1、随着太阳能电池产线的不断更新，选择性发射电极（se）因其在接受光照的区域低浓度掺杂，在金属栅线下高掺杂，形成横向高低结结构增加p-n结间电势差，减少扩散层复合并降低金属接触区电阻，目前se激光掺杂技术已被广泛应用到perl产品的产线生产中，而选择发射电极技术提效，其中关键的一个步骤是能精准的将金属栅线印刷到激光掺杂区域，从而选择性发射电极的提效优势；在产线常规生产中，硅片上激光移动路线如图1所示，为多条互相平行的线段组成，激光制样过程s形运行路线，每个线段的光斑起始点均为上个线段的末点平移而来，这个过程中激光能量为0，在边缘处更换调整路径时，容易由于在切换印刷路线时间隔距离过短、切换速度过快，该速度为20-50m/s，每当移动到下个线段的起点运行时，均会存在上个线段末点到该线段起点方向的分速度，这样使得每个线段的起始运行的一端距离容易出现便宜，激光空运行速度越大，线段的起始偏移量越大，运行路径的边缘处无法快速将激光准确定位到印刷路线上，因此，每个线段起始端的2-3cm的细微偏移无法消除，为了减少偏移误差，需要降低激光器的运行速度，随着生产中精度要求的不断提高，需要改变相邻栅线之间的切换方式以提高生产精度。

技术实现思路

1、本发明的目的是针对现有栅线边缘处容易出现偏移的问题，提供了一种提高激光se刻膜精度的电池板制作方法。

2、本发明是通过以下技术方案实现的：一种提高激光se刻膜精度的电池板制作方法，预先在制样硅片表面设定制作激光se刻膜图案的激光制样路线，激光器在激光制样路线之间转移时空运行，所述激光se刻膜图案为需要在制样硅片上设置细栅线的位置图案，激光器在所述激光制样路线的进入端设为制样起始端，沿所述激光制样路线向外延伸至距离该激光制样路线的制样起始端2-4cm处设有引导标记，激光器在引导标记处时为空运行，空运行是指激光器的激光能量为0。

3、具体的，所述引导标记为与激光制样路线平行的引导线或光斑点，所述引导线的长度为20μm-800μm；所述光斑点的直径为20-80μm。

4、具体的，激光器在激光制样路线之间转移时空运行的速度为40-80m/s。

5、所述引导标记非实体标记，是通过预设程序设置于激光器内的激光移动路线的一部分。

6、工作原理为，在激光se刻膜制样时，激光器在相邻激光制样路线之间转移时空运行，由于引导标记位于制样起始端外2-4cm，能使前次激光制样时产生的分速度偏移量在进入下一条激光制样路线前得到矫正。

7、本发明相比现有技术具有以下优点：通过在激光制样路线外延长线上设置引导标记，能够有效消除任意方向激光制样路线前期的偏移量，有效消除制样误差；通过提高激光器在相邻激光制样路线之间转移时空运行时的速度，缩短激光器空运行的时间，同时提高制样精度。

技术特征：

1.一种提高激光se刻膜精度的电池板制作方法，预先在制样硅片表面设定制作激光se刻膜图案的激光制样路线，激光器在激光制样路线之间转移时空运行，所述激光se刻膜图案为需要在制样硅片上设置细栅线的位置图案，其特征在于，激光器在所述激光制样路线的进入端设为制样起始端，沿所述激光制样路线向外延伸至距离该激光制样路线的制样起始端2-4cm处设有引导标记，激光器在引导标记处时为空运行。

2.如权利要求1所述一种提高激光se刻膜精度的电池板制作方法，其特征在于，所述引导标记为与激光制样路线平行的引导线或光斑点。

3.如权利要求2所述一种提高激光se刻膜精度的电池板制作方法，其特征在于，所述引导线的长度为20μm-800μm；所述光斑点的直径为20-80μm。

4.如权利要求1所述一种提高激光se刻膜精度的电池板制作方法，其特征在于，激光器在激光制样路线之间转移时空运行的速度为40-80m/s。

技术总结
本发明属于太阳能电池制备技术领域，具体涉及一种提高激光SE刻膜精度的电池板制作方法，预先在制样硅片表面设定制作激光SE刻膜图案的激光制样路线，激光器在激光制样路线之间转移时空运行，激光器在所述激光制样路线的进入端设为制样起始端，沿所述激光制样路线向外延伸至距离该激光制样路线的制样起始端2‑4cm处设有引导标记，激光器在引导标记处时为空运行。本发明相比现有技术具有以下优点：通过在激光制样路线外延长线上设置引导标记，能够有效消除任意方向激光制样路线前期的偏移量，有效消除制样误差；通过提高激光器在相邻激光制样路线之间转移时空运行时的速度，缩短激光器空运行的时间，同时提高制样精度。

技术研发人员：郭世成,张明明,付少剑,丁田力,王方圆,许德祥
受保护的技术使用者：滁州捷泰新能源科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15