发光二极管的转移方法、装置以及阵列基板与流程

本公开涉及发光二极管的转移，特别涉及一种发光二极管的转移方法、装置以及阵列基板。

背景技术：

1、微型发光二极管（micro-light emitting diode，micro-led）显示技术自出现以来，因其响应速度快、功耗低、寿命长以及发光效率高等优点引起了广泛关注，被认为是继液晶显示器（liquid crystal display，lcd）之后的下一代显示技术。micro-led全彩显示器是由数百万个三色rgb发光二极管组成的。受限于外延生长技术，在大面积外延基板上同时生长高质量的三色rgb发光二极管极为困难，因此需要将生长在外延基板上数百万甚至数千万颗微米级的三色rgb发光二极管依次转移到驱动电路基板上，实现三色rgb发光二极管排布。

2、现有发光二极管转移技术中，可采用流体自组装技术，流体自组装技术利用流体的驱动力来达到发光二极管自组装的效果。其中，流体自组装技术包括利用机械力进行组装，焊接组装，疏水性组装，以及电泳组装等等。采用流体自组装技术虽然具有一些优点，但目前还有一些难点需要克服，例如自组装时发光二极管的颜色选择性较低，难以实现三色发光二极管的转移，而且自组装的效率有待提高。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题或者至少部分地解决上述技术问题，本公开提供了一种发光二极管的转移方法、装置以及阵列基板，可实现三色发光二极管的自组装过程，以及有利于提高自组装速率。

2、第一方面，本公开提供了一种发光二极管的转移方法，包括：

3、制备分散有发光二极管的流体；

4、制备形成有阵列排布的接收结构的接收基板，所述接收结构与发光二极管的形状匹配；

5、将多个所述接收基板以竖直方向放置于第一液体中，两个所述接收基板形成一组；每组所述接收基板中具有接收结构的一面相对，以在所述接收基板之间对应所述接收结构顺次形成多个流体通道；

6、使用提拉设备从所述第一液体中提拉所述接收基板至所述流体通道位于第一液体之上，向所述流体通道中注入所述流体，所述流体中的发光二极管填充至所述接收结构中；

7、其中，顺次相邻的三个流体通道中依次注入分散有不同颜色的发光二极管的流体。

8、在一些实施例中，制备分散有发光二极管的流体，包括：

9、提供形成有发光二极管的生长基板；

10、剥离所述生长基板上的所述发光二极管；

11、将所述发光二极管放入第二液体中进行分散处理。

12、在一些实施例中，所述第一液体的表面张力大于所述第二液体的表面张力，且所述第一液体和所述第二液体不互溶。

13、在一些实施例中，所述第一液体包括蒸馏水，所述第二液体包括氯仿。

14、在一些实施例中，制备形成有阵列排布的接收结构的接收基板，包括：

15、提供接收基板；

16、在所述接收基板的接收面刻蚀阵列排布的所述接收结构。

17、在一些实施例中，在所述接收基板的接收面刻蚀阵列排布的所述接收结构之后，发光二极管的转移方法还包括：

18、在所述接收基板的表面形成钝化层。

19、在一些实施例中，每组所述接收基板中位于同一高度的一对接收结构沿垂直于所述竖直方向，在所述接收基板之间形成一所述流体通道。

20、第二方面，本公开还提供了一种发光二极管的转移装置，应用于如第一方面所述的发光二极管的转移方法，包括：

21、微量进液器，用于向所述流体通道中注入所述流体；

22、容纳设备，用于存储所述第一液体；

23、提拉设备，用于从下往上提拉放置于所述第一液体中的所述接收基板。

24、在一些实施例中，发光二极管的转移装置还包括：

25、夹具，所述夹具的固定端与所述提拉设备连接，所述夹具的抓取端用于抓取所述接收基板；

26、所述提拉设备通过所述夹具从下往上提拉所述接收基板。

27、第三方面，本公开还提供了一种阵列基板，采用如第一方面所述的发光二极管的转移方法制备形成。

28、本公开实施例提供的发光二极管的转移方法包括：制备分散有发光二极管的流体；制备形成有阵列排布的接收结构的接收基板，接收结构与发光二极管的形状匹配；将多个接收基板以竖直方向放置于第一液体中，两个接收基板形成一组；每组接收基板中具有接收结构的一面相对，以在接收基板之间对应接收结构形成多个流体通道；使用提拉设备从第一液体中提拉接收基板至流体通道位于第一液体之上，向流体通道中注入流体，流体中的发光二极管填充至接收结构中；其中，顺次相邻的三个流体通道中依次注入分散有不同颜色的发光二极管的流体。由此，通过在接收基板制备阵列排布的接收结构，接收结构与发光二极管的形状匹配，以及将发光二极管分散在液体中制备成流体。将多个接收基板以竖直方向放置于第一液体中，两个接收基板形成一组，可形成多组接收基板，且每组接收基板中具有接收结构的一面相对，以在接收基板之间对应接收结构顺次形成多个流体通道。当使用提拉设备将接收基板从下往上提拉时，当提拉至一流体通道位于第一液体之上时，往两个接收基板之间形成的流体通道中注入流体，向顺次相邻的三个流体通道中间隔切换注入分散有不同颜色的发光二极管的流体，从而实现三色发光二极管的自组装过程。另外，将多个接收基板以竖直方向放置于第一液体中，两个接收基板形成一组，可形成多组接收基板，使用提拉设备可同时提拉多组接收基板，有利于提高自组装速率。由此，本公开实施例提供的发光二极管的转移方法，可实现三色发光二极管的自组装过程，以及有利于提高自组装速率。

技术特征：

1.一种发光二极管的转移方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的发光二极管的转移方法，其特征在于，制备分散有发光二极管的流体，包括：

3.根据权利要求2所述的发光二极管的转移方法，其特征在于，所述第一液体的表面张力大于所述第二液体的表面张力，且所述第一液体和所述第二液体不互溶。

4.根据权利要求2所述的发光二极管的转移方法，其特征在于，所述第一液体包括蒸馏水，所述第二液体包括氯仿。

5.根据权利要求1所述的发光二极管的转移方法，其特征在于，制备形成有阵列排布的接收结构的接收基板，包括：

6.根据权利要求5所述的发光二极管的转移方法，其特征在于，在所述接收基板的接收面刻蚀阵列排布的所述接收结构之后，还包括：

7.根据权利要求1所述的发光二极管的转移方法，其特征在于，每组所述接收基板中位于同一高度的一对接收结构沿垂直于所述竖直方向，在所述接收基板之间形成一所述流体通道。

8.一种发光二极管的转移装置，其特征在于，应用于如权利要求1-7任一项所述的发光二极管的转移方法，包括：

9.根据权利要求8所述的发光二极管的转移装置，其特征在于，还包括：

10.一种阵列基板，其特征在于，采用如权利要求1-7任一项所述的发光二极管的转移方法制备形成。

技术总结
本公开涉及发光二极管的转移技术领域，特别涉及一种发光二极管的转移方法、装置以及阵列基板。发光二极管的转移方法包括制备分散有发光二极管的流体；制备形成有阵列排布的接收结构的接收基板，接收结构与发光二极管的形状匹配；将多个接收基板以竖直方向放置于第一液体中，两个接收基板形成一组，每组接收基板之间对应接收结构顺次形成多个流体通道；使用提拉设备从第一液体中提拉接收基板至流体通道位于第一液体之上，向流体通道中注入流体，流体中的发光二极管填充至接收结构中；顺次相邻的三个流体通道中依次注入分散有不同颜色的发光二极管的流体。本公开的技术方案，可实现三色发光二极管的自组装过程，以及有利于提高自组装速率。

技术研发人员：温海键,黄铭康,岳大川,蔡世星,李小磊,伍德民
受保护的技术使用者：季华实验室
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15