PET膜框组件的驱动装置及PET膜固定装置的制作方法

本发明属于pet膜固定，具体涉及一种pet膜框组件的驱动装置及pet膜固定装置。

背景技术：

1、在纳米压印技术领域，pet膜固定在机台上，与晶圆片进行对准使用。传统的固定方式为：采用两端固定结构的夹具对pet膜的相对两侧进行固定，直接安装在机台上应用。但是由于两侧固定方式较为简单，造成pet膜变形、抖动、固定不稳定。

2、申请号cn202223570713.0公开了一种pet膜固定装置。该pet膜固定装置包括固定座；固定座顶部中端处固定连接有抽正空垫板；固定座顶部连接有定位组件；固定座顶部贴合接触有pet膜框组件，定位组件用于pet膜框组件定位安装，pet膜框组件包括框架、固定压紧组件和活动压紧组件，压紧组件压紧端与框架外端四角处接触，实现pet膜框组件固定压紧；框架两端分别连接有固定压紧组件和活动压紧组件，固定压紧组件和活动压紧组件底部与pet膜贴合接触，且抽正空垫板顶部与pet膜底部贴合接触，实现pet膜固定平整、拉紧。

3、上述活动压紧组件包括活动压条、第一安装杆、弹簧、第二安装杆、底部板和横活动槽，框架另一端固定连接有第二安装杆，第二安装杆连接有弹簧，弹簧连接有第一安装杆，第一安装杆安装于底部板，底部板顶部通过螺栓连接有活动压条，框架前后内壁开设有横活动槽，底部板前后端与横活动槽贴合接触滑动连接，pet膜一端设于活动压条和底部板之间。

4、上述活动压紧组件无法精确控制弹簧的形变量。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本发明提出了一种pet膜框组件的驱动装置及pet膜固定装置。

2、为了达到上述目的，本发明的技术方案如下：

3、一方面，本发明公开一种pet膜框组件的驱动装置，包括：位移驱动机构、张力自适应组件以及定位拉板；

4、位移驱动机构与定位拉板传动连接，定位拉板端部的定位直板伸入pet膜框组件的第一安装杆和第二安装杆之间的缝隙，位移驱动机构用于拉动定位拉板，调节弹簧的拉伸形变量，弹簧连接第一安装杆和第二安装杆；

5、张力自适应组件与定位拉板传动连接，用于在位移驱动机构不动作的情况下，在弹簧回弹恢复力的作用下，自适应pet膜本身的张紧力，使定位拉板回到初始位置。

6、本发明公开一种pet膜框组件的驱动装置，具有以下有益效果：

7、第一，结构简单，成本低，安装便捷。

8、第二，采用位移驱动机构提供动力源，位移驱动机构向后拉动定位拉板，可以精确控制弹簧的形变量。

9、第三，增设张力自适应组件能够自适应pet膜本身的张紧力，使得pet膜更平整。

10、在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：

11、作为优选的方案，张力自适应组件包括堆叠设置的上自适应板和下位移板，上自适应板和下位移板之间通过若干滚珠轴承连接，上自适应板能够与下位移板发生相对摆动；

12、位移驱动机构与上自适应板传动连接，且上自适应板与定位拉板固定连接。

13、采用上述优选的方案，位移驱动机构拉动上自适应板、下位移板、定位拉板向后移动，弹簧发生拉伸。当位移驱动机构不动作的情况下，弹簧复位，在弹簧回弹恢复力的作用下，自适应pet膜本身的张紧力，上自适应板、下位移板和定位拉板向前移动，回到初始位置。

14、作为优选的方案，下位移板通过若干滑动组件与固定座滑动连接。

15、采用上述优选的方案，使得下位移板的移动更平稳。

16、作为优选的方案，滑动组件包括：安装于固定座上的轨道以及安装于下位移板的底面的滑块，滑块上的滑槽与轨道滑动连接。

17、采用上述优选的方案，滑动组件结构简单，成本低。

18、作为优选的方案，在上自适应板和下位移板的相对两端分别安装有凸轮随动器。

19、采用上述优选的方案，上自适应板和下位移板运动更稳定。

20、作为优选的方案，凸轮随动器包括：板体以及安装于板体上的滚动子，板体的一端固定于上自适应板上，滚动子能够与下位移板的底面滚动接触。

21、采用上述优选的方案，下位移板运动更稳定。

22、作为优选的方案，位移驱动机构的动力输出端通过压力传感器与上自适应板传动连接。

23、采用上述优选的方案，能够精确控制弹簧的形变量。

24、作为优选的方案，压力传感器与显示屏电连接，显示屏用于显示实时压力值。

25、采用上述优选的方案，显示屏能够对压力值进行直观的实时展示。

26、另一方面，本发明还公开一种pet膜固定装置，包括：上述任一种驱动装置以及pet膜框组件。

技术特征：

1.pet膜框组件的驱动装置，其特征在于，包括：位移驱动机构、张力自适应组件以及定位拉板；

2.根据权利要求1所述的驱动装置，其特征在于，所述张力自适应组件包括堆叠设置的上自适应板和下位移板，所述上自适应板和下位移板之间通过若干滚珠轴承连接，所述上自适应板能够与下位移板发生相对摆动；

3.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，所述下位移板通过若干滑动组件与固定座滑动连接。

4.根据权利要求3所述的驱动装置，其特征在于，所述滑动组件包括：安装于固定座上的轨道以及安装于下位移板的底面的滑块，所述滑块上的滑槽与轨道滑动连接。

5.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，在所述上自适应板和下位移板的相对两端分别安装有凸轮随动器。

6.根据权利要求5所述的驱动装置，其特征在于，所述凸轮随动器包括：板体以及安装于板体上的滚动子，所述板体的一端固定于上自适应板上，所述滚动子能够与下位移板的底面滚动接触。

7.根据权利要求2所述的驱动装置，其特征在于，所述位移驱动机构的动力输出端通过压力传感器与上自适应板传动连接。

8.根据权利要求7所述的驱动装置，其特征在于，所述压力传感器与显示屏电连接，所述显示屏用于显示实时压力值。

9.pet膜固定装置，其特征在于，包括：如权利要求1-8任一项所述的驱动装置以及pet膜框组件。

技术总结
本发明公开一种PET膜框组件的驱动装置及PET膜固定装置，驱动装置包括：位移驱动机构、张力自适应组件以及定位拉板；位移驱动机构与定位拉板传动连接，定位拉板端部的定位直板伸入PET膜框组件的第一安装杆和第二安装杆之间的缝隙，位移驱动机构用于拉动定位拉板，调节弹簧的拉伸形变量，弹簧连接第一安装杆和第二安装杆；张力自适应组件与定位拉板传动连接，用于在位移驱动机构不动作的情况下，在弹簧回弹恢复力的作用下，自适应PET膜本身的张紧力，使定位拉板回到初始位置。本发明采用位移驱动机构提供动力源，可以精确控制弹簧的形变量。增设张力自适应组件能够自适应PET膜本身的张紧力，使得PET膜更平整。

技术研发人员：刘晓成,史晓华
受保护的技术使用者：苏州光越微纳科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/19