一种功率管批量动态老化测试系统的制作方法

本发明涉及功率管老化测试，尤其是涉及一种功率管批量动态老化测试系统。

背景技术：

1、随着国家不断加大半导体器件自主生产的投入，用于半导体生产过程中的各种测试设备的需求也不断增加，特别是功率管生产厂家，其需要一种可以同时实现大批量功率管动态老化以及测试的系统，在老化测试过程中对功率管的各个重要参数进行监控，帅选出残次品，大大增加生产效率，传统功率管老化系统使用较为不方便，需要手动设置每路的电源参数，输入功率参数，而且无法同时对所有路的功率管老化状态(如输入功率，输出功率，动态电流，以及工作温度)进行实时监测，同时需要耗费大量人力进行巡查，查找残次品。

技术实现思路

1、本发明的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种功率管批量动态老化测试系统，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、一种功率管批量动态老化测试系统，包括：

3、功放单元；

4、温度监测及散热单元，所述功放单元的输出端与温度监测及散热单元的输入端连接；

5、待测功率管偏置供电单元，所述温度监测及散热单元的输出端与待测功率管偏置供电单元的输入端连接；

6、功率检波单元，所述功放单元和温度监测及散热单元的输出端均与功率检波单元的输入端连接；

7、上位机单元，所述功放单元、温度监测及散热单元、待测功率管偏置供电单元和功率检波单元的输出端均与上位机单元的输入端连接。

8、进一步地，所述功放单元包括信号源组件、威尔金森功率分配器和32个功放模块，所述信号源组件通过485通讯总线与上位机单元信号连接，所述威尔金森功率分配器为1：32的功分器，所述威尔金森功率分配器的输出端与32个所述功放模块的输入端连接。

9、进一步地，所述功放模块由数控衰减器、pa、耦合器和隔离器组成，所述数控衰减器的输入端与威尔金森功率分配器的输出端连接，所述pa的输入端与数控衰减器的输出端连接，所述耦合器的输入端与pa的输出端连接，所述隔离器的输入端与耦合器的输出端连接。

10、进一步地，所述功放模块的输出端连接有待测功率管，所述待测功率管的输出端连接有衰减器，所述温度监测及散热单元包括散热器和温度传感器，所述散热器安装在待测功率管的一侧并用于待测功率管的散热，所述温度传感器安装在功率管底座上并用于监测功率管底座温度，所述温度传感器与上位机单元信号连接。

11、进一步地，所述待测功率管偏置供电单元由32个直流稳压电源组成，所述直流稳压电源的两路输出端分别连接待测功率管的栅极和漏极，所述直流稳压电源通过485通讯总线与上位机单元连接。

12、进一步地，所述功率检波单元由双通道功率计、射频开关一和和射频开关二组成，所述射频开关一和射频开关二均为1：32的射频开关，所述射频开关一的输入端与耦合器的输出端连接，所述双通道功率计的其中一个输入端与射频开关一的输出端连接，所述衰减器的输出端与射频开关二的输入端连接，所述双通道功率计的另一个输入端与射频开关二的输出端连接，所述双通道功率计的输出端与上位机单元连接。

13、进一步地，所述上位机单元包括电脑、屏幕、功率异常报警指示灯、温度异常报警指示灯和偏置电压异常报警指示灯。

14、有益效果：该功率管批量动态老化测试系统可以同时对至少32个功率管的输入功率，输出功率，动态电流，以及工作温度进行实时监控，并且可以进行连续至少72小时的老化，同时具有完善的报警功能以及数据采集功能。

技术特征：

1.一种功率管批量动态老化测试系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种功率管批量动态老化测试系统，其特征在于：所述功放单元包括信号源组件、威尔金森功率分配器和32个功放模块，所述信号源组件通过485通讯总线与上位机单元信号连接，所述威尔金森功率分配器为1：32的功分器，所述威尔金森功率分配器的输出端与32个所述功放模块的输入端连接。

3.根据权利要求2所述的一种功率管批量动态老化测试系统，其特征在于：所述功放模块由数控衰减器、pa、耦合器和隔离器组成，所述数控衰减器的输入端与威尔金森功率分配器的输出端连接，所述pa的输入端与数控衰减器的输出端连接，所述耦合器的输入端与pa的输出端连接，所述隔离器的输入端与耦合器的输出端连接。

4.根据权利要求3所述的一种功率管批量动态老化测试系统，其特征在于：所述功放模块的输出端连接有待测功率管，所述待测功率管的输出端连接有衰减器，所述温度监测及散热单元包括散热器和温度传感器，所述散热器安装在待测功率管的一侧并用于待测功率管的散热，所述温度传感器安装在功率管底座上并用于监测功率管底座温度，所述温度传感器与上位机单元信号连接。

5.根据权利要求4所述的一种功率管批量动态老化测试系统，其特征在于：所述待测功率管偏置供电单元由32个直流稳压电源组成，所述直流稳压电源的两路输出端分别连接待测功率管的栅极和漏极，所述直流稳压电源通过485通讯总线与上位机单元连接。

6.根据权利要求5所述的一种功率管批量动态老化测试系统，其特征在于：所述功率检波单元由双通道功率计、射频开关一和和射频开关二组成，所述射频开关一和射频开关二均为1：32的射频开关，所述射频开关一的输入端与耦合器的输出端连接，所述双通道功率计的其中一个输入端与射频开关一的输出端连接，所述衰减器的输出端与射频开关二的输入端连接，所述双通道功率计的另一个输入端与射频开关二的输出端连接，所述双通道功率计的输出端与上位机单元连接。

7.根据权利要求6所述的一种功率管批量动态老化测试系统，其特征在于：所述上位机单元包括电脑、屏幕、功率异常报警指示灯、温度异常报警指示灯和偏置电压异常报警指示灯。

技术总结
本发明提供了一种功率管批量动态老化测试系统，包括：功放单元；温度监测及散热单元，功放单元的输出端与温度监测及散热单元的输入端连接；待测功率管偏置供电单元，温度监测及散热单元的输出端与待测功率管偏置供电单元的输入端连接；功率检波单元，功放单元和温度监测及散热单元的输出端均与功率检波单元的输入端连接。该功率管批量动态老化测试系统可以同时对至少32个功率管的输入功率，输出功率，动态电流，以及工作温度进行实时监控，并且可以进行连续至少72小时的老化，同时具有完善的报警功能以及数据采集功能。

技术研发人员：吴利国,朱宁宁,徐晖,徐晶
受保护的技术使用者：南京华凯电子科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/29