一种显示基板以及显示装置的制作方法

本申请涉及显示，尤其涉及一种显示基板以及显示装置。

背景技术：

1、低温多晶硅-液晶显示器（ltps-lcd）显示技术发展逐渐成熟，降低技术开发成本成为技术发展的必经之路，通过减少遮光罩达到降低成本目的成为本领域技术人员的研究方向之一。

2、现有技术中，对绝缘钝化层的同层刻蚀可以有效减少遮光罩的使用，例如：对贯穿于第二绝缘钝化层的第一过孔以及贯穿第一绝缘层与第二绝缘层的第二过孔进行同层刻蚀，然而在实际应用中发现，同层刻蚀的方案容易在刻蚀过程中出现过孔的底切（undercut）问题以及过孔过刻导致的导电层断裂的问题，进而使得器件的性能下降、可靠性变差、甚至会导致器件失效。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请提供了一种显示基板以及显示装置，提高显示基板在同层刻蚀场景下的良品率和可靠性。

2、其技术方案如下：

3、第一方面，本申请实施例提供了一种显示基板，包括：

4、衬底；

5、设置在所述衬底上的金属走线，以及沿远离所述衬底的方向依次设置在所述衬底上的第一导电层、第一绝缘钝化层以及第二导电层；其中，

6、所述第二导电层通过贯穿在所述第一绝缘钝化层上的第一过孔与所述第一导电层电连接；

7、所述第一过孔的孔径大于或等于第一孔径值，所述第一过孔在所述衬底上的正投影的边缘与所述金属走线在所述衬底上的正投影的边缘之间的最小距离大于或等于第一安全距离。

8、第二方面，本申请实施例提供了一种显示装置，包括如第一方面实施例所述的显示基板。

9、本申请实施例提供的一种显示基板以及显示装置，该显示基板包括：衬底；设置在衬底上的金属走线，以及沿远离衬底的方向依次设置在衬底上的第一导电层、第一绝缘钝化层以及第二导电层；其中，第二导电层通过贯穿在第一绝缘钝化层上的第一过孔与第一导电层电连接；第一过孔的孔径大于或等于第一孔径值，第一过孔在衬底上的正投影的边缘与金属走线在衬底上的正投影的边缘之间的最小距离大于或等于第一安全距离。通过对过孔孔径以及过孔位置进行设置，避免过孔设置在金属走线的下方或在金属走线的爬坡位置，进而可以避免干法刻蚀（dry etching，det）加工过程中形成undercut问题，提高显示基板在同层刻蚀场景下的良品率和可靠性。

技术特征：

1.一种显示基板，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述第一孔径值为2.5微米，所述第一安全距离为1.3微米。

3.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述第一孔径值为2.5微米，所述第一过孔在所述衬底上的正投影的边缘与所述金属走线在所述衬底上的正投影的边缘之间的最小距离等于第二安全距离，其中，所述第二安全距离大于所述第一安全距离。

4.根据权利要求3所述的显示基板，其特征在于，所述第二安全距离为2微米。

5.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述第一孔径值为2.5微米，所述第一安全距离为10微米。

6.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述金属走线包括数据金属走线；

7.根据权利要求6所述的显示基板，其特征在于，所述第一安全距离为3微米。

8.根据权利要求6所述的显示基板，其特征在于，所述衬底与所述第一导电层之间还包括第二绝缘层，所述金属走线包括触控金属走线；所述第二导电层通过贯穿在所述第一绝缘层与所述第二绝缘层的第二过孔与所述触控金属走线连接。

9.根据权利要求8所述的显示基板，其特征在于，所述显示基板还包括：第一扩展导电层；

10.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述显示基板还包括：金属垫高层；所述金属垫高层设置于所述衬底上方；

11.根据权利要求10所述的显示基板，其特征在于，所述显示基板还包括：第二扩展导电层；

12.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求1至11中的任一项所述的显示基板。

技术总结
本申请提供了一种显示基板以及显示装置，该显示基板包括：衬底；设置在衬底上的金属走线，以及沿远离衬底的方向依次设置在衬底上的第一导电层、第一绝缘钝化层以及第二导电层；其中，第二导电层通过贯穿在第一绝缘钝化层上的第一过孔与第一导电层电连接；第一过孔的孔径大于或等于第一孔径值，第一过孔在衬底上的正投影的边缘与金属走线在衬底上的正投影的边缘之间的最小距离大于或等于第一安全距离。通过对过孔孔径以及过孔位置进行设置，避免过孔设置在金属走线的下方或在金属走线的爬坡位置，进而可以避免干法刻蚀加工过程中形成undercut问题，提高显示基板在同层刻蚀场景下的良品率和可靠性。

技术研发人员：闫丹丹,吴晓晓,林春荣,蓝学新
受保护的技术使用者：厦门天马微电子有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/11