一种晶圆定位搬运装置的制作方法

本发明涉及半导体设备，具体地为一种晶圆定位搬运装置。

背景技术：

1、在现代半导体晶圆加工设备领域，为了确保异片晶圆加工的一致性，需要在加工之前进行晶圆的中心定位。

2、现有的中心定位技术采用周向确定中心的方法，即通过电机或者气压驱动相应的抵触手指运动，从而迫使晶圆移动至目标位置完成中心定位。当前技术缺陷在于所有的中心定位装置均装配有驱动器(驱动电机、气缸等)、从定位装置台上将晶圆转运至加工面上的晶圆搬运装置也具有主动驱动装置，造成整机驱动较多，成本较高。

技术实现思路

1、本发明所要解决的技术问题是，提供一种晶圆定位搬运装置。

2、本发明所要解决其技术问题所采用的技术方案是：

3、一种晶圆定位搬运装置，包括定位机构、抵触机构、搬运机构，所述定位机构包括凹型压盖、设置在所述凹型压盖上的定位盘、设置在所述凹型压盖内的固定轴、设置在所述固定轴上的浮动轴，所述固定轴上端与所述浮动轴之间设有承载弹簧，所述固定轴内部螺纹连接有调整螺杆，所述调整螺杆上端延伸出所述固定轴并与所述承载弹簧下端相抵，所述浮动轴上方设有载台；

4、所述抵触机构包括开设在所述定位盘上的复数个抵触通道，所述抵触通道内设有抵触杆，所述抵触杆的一端连接有抵触头、另一端连接有第一压簧，所述抵触头一端与所述浮动轴相抵触，所述第一压簧通过螺盖限制在所述抵触通道内；

5、所述搬运机构包括盘主体、通过锁紧螺母设置在所述盘主体边缘的触头，所述触头与所述盘主体之间设有第二压簧。

6、在一个实施方式中，所述抵触通道上方设有竖杆，所述竖杆下端螺纹连接有偏心柱，所述偏心柱下端与所述抵触杆固定连接。

7、在一个实施方式中，所述载台四周延伸有突出部，所述突出部的高度低于所述载台的高度。

8、在一个实施方式中，所述浮动轴表面具有锥面，所述抵触头与所述浮动轴的锥面抵触。

9、在一个实施方式中，所述定位盘的下表面设有复数个装配台阶。

10、与现有技术相比，本发明的有益效果如下：

11、本发明通过定位机构、抵触机构、搬运机构，所述定位机构包括凹型压盖、设置在所述凹型压盖上的定位盘、设置在所述凹型压盖内的固定轴、设置在所述固定轴上的浮动轴，所述固定轴上端与所述浮动轴之间设有承载弹簧，所述固定轴内部螺纹连接有调整螺杆，所述调整螺杆上端延伸出所述固定轴并与所述承载弹簧下端相抵，所述浮动轴上方设有载台；所述抵触机构包括开设在所述定位盘上的复数个抵触通道，所述抵触通道内设有抵触杆，所述抵触杆的一端连接有抵触头、另一端连接有第一压簧，所述抵触头一端与所述浮动轴相抵触，所述第一压簧通过螺盖限制在所述抵触通道内；所述搬运机构包括盘主体、通过锁紧螺母设置在所述盘主体边缘的触头，所述触头与所述盘主体之间设有第二压簧的设置，从而取消定位台的主动驱动结构，并通过装配有特殊结构的搬运装置完成晶圆的中心定位，从而达到节省一套定位装置驱动机构的目的，进而降低设备成本。

技术特征：

1.一种晶圆定位搬运装置，其特征在于：包括定位机构(1)、抵触机构(2)、搬运机构，所述定位机构(1)包括凹型压盖(16)、设置在所述凹型压盖(16)上的定位盘(11)、设置在所述凹型压盖(16)内的固定轴(13)、设置在所述固定轴(13)上的浮动轴(12)，所述固定轴(13)上端与所述浮动轴(12)之间设有承载弹簧(14)，所述固定轴(13)内部螺纹连接有调整螺杆(15)，所述调整螺杆(15)上端延伸出所述固定轴(13)并与所述承载弹簧(14)下端相抵，所述浮动轴(12)上方设有载台(17)；

2.根据权利要求1所述的晶圆定位搬运装置，其特征在于：所述抵触通道(11a)上方设有竖杆(25)，所述竖杆(25)下端螺纹连接有偏心柱(26)，所述偏心柱(26)下端与所述抵触杆(21)固定连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆定位搬运装置，其特征在于：所述载台(17)四周延伸有突出部(17a)，所述突出部(17a)的高度低于所述载台(17)的高度。

4.根据权利要求3所述的晶圆定位搬运装置，其特征在于：所述浮动轴(12)表面具有锥面，所述抵触头(21)与所述浮动轴(12)的锥面抵触。

5.根据权利要求4所述的晶圆定位搬运装置，其特征在于：所述定位盘(11)的下表面设有复数个装配台阶(11b)。

技术总结
一种晶圆定位搬运装置，包括定位机构、抵触机构、搬运机构，定位机构包括凹型压盖、设置在凹型压盖上的定位盘、设置在凹型压盖内的固定轴、设置在固定轴上的浮动轴，固定轴上端与浮动轴之间设有承载弹簧，固定轴内部螺纹连接有调整螺杆，调整螺杆上端延伸出固定轴并与承载弹簧下端相抵，浮动轴上方设有载台；抵触机构包括开设在定位盘上的复数个抵触通道，抵触通道内设有抵触杆，抵触杆的一端连接有抵触头、另一端连接有第一压簧，抵触头一端与浮动轴相抵触，第一压簧通过螺盖限制在抵触通道内；搬运机构包括盘主体、通过锁紧螺母设置在盘主体边缘的触头；本发明通过搬运装置完成晶圆的中心定位，从而达到节省一套定位装置驱动机构的目的。

技术研发人员：杨佳葳,方磊,龚涛,尹双,文世冬
受保护的技术使用者：湖南宇晶机器股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/31