一种用于硅晶片清洗前支撑晶片篮的装置的制作方法

本技术与半导体生产有关，具体涉及一种用于硅晶片清洗前支撑晶片篮的装置。

背景技术：

1、元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素。地壳成分中27.8％是硅元素构成的，仅次于氧元素含量排行第二，硅是自然界中比较富的元素。在石英、玛瑙、燧石和普通的滩石中就可以发现硅元素。硅又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造。硅晶片的加工过程中，需要经历多次清洗，部分制成中晶片在清洗前需放置在水中，可减少晶片表面的污染概率，但是晶片整篮放置在水中时，晶片会靠在晶片篮内的某一边，抛光面表面的不良可经过后站的抛光移除表面不良，如非抛光面长期接触晶片篮，会在晶片表面留下印痕，并且无法通过清洗去除。

技术实现思路

1、为了改善上述问题，本实用新型的目的在于提供一种用于晶片放置在水中的支撑晶片篮的装置，可使晶片篮放置在水中的底板上时，晶片朝预想方向倾靠，可减小非抛光面和晶片篮接触的几率。

2、本实用新型的目的可以通过下列技术方案来实现：一种用于晶片放置在水中的支撑晶片篮的装置，所述装置包括：一个面板；所述面板下方带有支撑装置：所述支撑装置主要为两面三角形支撑装置及一面矩形支撑装置，使得装置整体在放置后，支撑晶片篮的面板和水平面呈一定夹角，所述面板和支撑装置为固定连接；所述面板上有圆形孔洞；所述面板长、宽可依实际放置晶片的水槽的大小而定；所述三角形支撑装置为两个，为对称放置；三角支撑装置的水平边和支撑面板的边所组成的夹角为面板和水平的夹角。

技术特征：

1.一种用于硅晶片清洗前支撑晶片篮的装置，其特征是：所述装置包括一个面板、一个支撑装置及圆形孔洞；面板下方带有支撑装置；面板上开有圆形孔洞，所述支撑装置为两面三角形支撑装置及一面矩形支撑装置，三角形支撑装置为对称放置，使得装置整体在放置后，支撑晶片篮的面板和水平面呈一定夹角，所述面板和支撑装置为固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅晶片清洗前支撑晶片篮的装置，其特征是，所述装置的面板与支撑装置固定连接，方便整体拿起及清理。

技术总结
本技术属于半导体硅晶片制造领域，提供一种用于硅晶片清洗前支撑晶片篮的装置，所述装置包括：一个面板；所述面板下方带有支撑装置：所述支撑装置可使支撑晶片篮的面板和水平面呈一定夹角；所述面板上有圆形孔洞。将晶片篮放置在水中的倾斜的底板上时，晶片篮放置的方向为，非抛光面的一侧放置在倾斜底板相对较高的一侧；抛光面放置在倾斜底板相对较低的一侧。晶片篮正确放置在倾斜底板上后，晶片篮整体相对于水平面为倾斜状态。晶片篮中的晶片受重力作用，会依靠在晶片篮每个卡槽的靠近倾斜底板相对较低的一侧，也就是晶片在晶片篮中支撑的面为抛光面，这样就避免了非抛光面因为长时间贴紧晶片篮所导致的印痕的可能性。

技术研发人员：赵庆升,李汉生,蔡雪良,王尚霖,王帅
受保护的技术使用者：昆山中辰矽晶有限公司
技术研发日：20230113
技术公布日：2024/1/15