一种可调长度的射频电缆网络阵列的制作方法

本发明属于电感耦合等离子，尤其涉及一种可调长度的射频电缆网络阵列。

背景技术：

1、icp(inductive coupled plasma，电感耦合等离子)装置常用于产生等离子体。icp装置通常包括射频电源、射频电缆、射频匹配器、射频线圈和机台腔室等部分。在使用icp装置产生等离子体的过程中，一般使用射频电缆连接射频电源和射频匹配器，将射频电源产生的射频能量通过射频电缆传输和射频匹配器匹配后传输到射频线圈上，通过电磁感应在机台腔室的气体中产生等离子体。

2、其中，在脉冲模式下，射频匹配器的匹配能力和射频电缆的长度有密切联系，因此，在使用脉冲模式匹配的情况下，通常采用改变射频电缆长度的方式，来提高射频匹配器的匹配能力使反射功率最小。但是在实际工艺过程中，发现每个不同品牌的射频电源其最佳射频电缆长度不同，且同一品牌射频电源每台之间对应的射频电缆长度也有差别，想实时改变射频电缆长度是不现实的，这需要准备很多长度不同的射频电缆。此外，现有射频电缆长度是固定的，包括射频电缆接头1和射频电缆2，如图1所示，在使用icp装置做等离子体加工晶片的工艺时，当射频电源输出脉冲功率时，由于射频电缆长度是固定，自动射频匹配器往往无法匹配到最小的反射功率，从而影响工艺效果。

技术实现思路

1、基于现有技术存在的问题，本发明提供了一种可调长度的射频电缆网络阵列，以解决无法实时改变射频电缆长度，快速匹配到最小反射功率的技术问题。

2、为了实现上述目的，本发明提出一种可调长度的射频电缆网络阵列，其连接于射频电源和射频匹配器之间，可调长度的射频电缆网络阵列包括栅格单元，栅格单元包括至少三个射频电缆；栅格单元中任意相邻的两个射频电缆相互连接；射频电缆包括电缆本体以及设置于电缆本体上的多个公接头、多个母接头和控制器，控制器用于控制电缆本体的连通或断开；通过断开或闭合控制器以调节连接于射频电源和射频匹配器之间的射频电缆长度。

3、优选地，射频电缆上的公接头和母接头的数量相同。

4、优选地，射频电缆上的公接头和母接头分别为两个，电缆本体具有相间隔设置的一端和另一端，电缆本体的一端和另一端分别设置一公接头和一母接头，电缆本体的一端和另一端之间设置另一个公接头和另一母接头。

5、优选地，控制器为继电器开关。

6、优选地，射频电缆的长度≤λ/8，其中，λ为射频电源发射的射频信号的波长。

7、优选地，可调长度的射频电缆网络阵列中，各射频电缆的长度相同。

8、优选地，栅格单元的数量为多个，多个栅格单元呈阵列排布以形成可调长度的射频电缆网络阵列，其中，相邻的两个栅格单元相互连接，各栅格单元的形状相同。

9、优选地，多个栅格单元沿同一方向延伸设置以形成行或列。

10、优选地，多个栅格单元形成的行或列中，位于行或列的其中一个端部的射频电缆连接于射频电源和射频匹配器之间。

11、优选地，栅格单元的形状为三角形、矩形、平行四边形或者五边形。

12、与现有技术相比较，本发明提供的一种可调长度的射频电缆网络阵列，具有以下技术效果：

13、1、通过在电缆本体上设置多个公接头和多个母接头，使得多个射频电缆连接形成栅格单元以构成可调长度的射频电缆网络阵列。

14、2、通过在电缆本体上设置控制电缆本体的连通或断开的控制器，来调节连接于射频电源和射频匹配器之间射频电缆长度，从而实现了无需重新更换不同长度的射频电缆即可更改总长度的效果。

15、3、本发明可调长度的射频电缆网络阵列具有调节简单且快捷的优点。

技术特征：

1.一种可调长度的射频电缆网络阵列，其特征在于，其连接于射频电源和射频匹配器之间，所述可调长度的射频电缆网络阵列包括栅格单元，所述栅格单元包括至少三个射频电缆；

2.根据权利要求1所述的可调长度的射频电缆网络阵列，其特征在于，所述射频电缆上的所述公接头和所述母接头的数量相同。

3.根据权利要求2所述的可调长度的射频电缆网络阵列，其特征在于，所述射频电缆上的所述公接头和所述母接头的数量分别为两个，所述电缆本体具有相间隔设置的一端和另一端，所述电缆本体的一端和另一端分别设置一所述公接头和一所述母接头，所述电缆本体的一端和另一端之间设置另一个所述公接头和另一所述母接头。

4.根据权利要求1所述的可调长度的射频电缆网络阵列，其特征在于，所述控制器为继电器开关。

5.根据权利要求1所述的可调长度的射频电缆网络阵列，其特征在于，所述射频电缆的长度≤λ/8，其中，λ为所述射频电源发射的射频信号的波长。

6.根据权利要求1所述的可调长度的射频电缆网络阵列，其特征在于，所述可调长度的射频电缆网络阵列中，各所述射频电缆的长度相同。

7.根据权利要求6所述的可调长度的射频电缆网络阵列，其特征在于，所述栅格单元的数量为多个，多个栅格单元呈阵列排布，以形成可调长度的射频电缆网络阵列，其中相邻的两个所述栅格单元相互连接，各所述栅格单元的形状相同。

8.根据权利要求7所述的可调长度的射频电缆网络阵列，其特征在于，多个所述栅格单元沿同一方向延伸设置以形成行或列。

9.根据权利要求8所述的可调长度的射频电缆网络阵列，其特征在于，多个所述栅格单元形成的所述行或所述列中，位于所述行或所述列的其中一个端部的所述射频电缆连接于所述射频电源和所述射频匹配器之间。

10.根据权利要求7所述的可调长度的射频电缆网络阵列，其特征在于，所述栅格单元的形状为三角形、矩形、平行四边形或者五边形。

技术总结
本技术提供了一种可调长度的射频电缆网络阵列，其连接于射频电源和射频匹配器之间，其包括栅格单元，栅格单元包括至少三个射频电缆；栅格单元中任意相邻的两个射频电缆相互连接；射频电缆包括电缆本体以及设置于电缆本体上的多个公接头、多个母接头和控制器，控制器用于控制电缆本体的连通或断开；通过断开或闭合控制器以调节连接于射频电源和射频匹配器之间的射频电缆长度。本技术通过在电缆本体上设置多个公接头、多个母接头以及控制器，并通过控制器的断开或闭合来调节多个射频电缆构成的可调长度的射频电缆网络阵列在射频电源和射频匹配器之间射频电缆长度，从而实现了无需重新更换不同长度的射频电缆即可更改总长度的效果。

技术研发人员：王雄
受保护的技术使用者：盛吉盛半导体科技（北京）有限公司
技术研发日：20230117
技术公布日：2024/1/14