兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构的制作方法

本技术涉及晶圆吸盘结构领域，具体地，涉及兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构。

背景技术：

1、碳化硅晶圆厂会同时使用碳化硅和硅两种材质晶圆，由于材质不同，同尺寸晶圆重量不一致，在晶圆吸盘吸附晶圆后在进行破除空吸附时，由于破空cda(压缩空气)气量一定，重量小的晶圆破空时会出现较大偏移量(碳化硅晶圆同尺寸比硅晶圆重量轻)，使得机械手取片时晶圆偏移碰撞晶圆盒产生碎片风险。

技术实现思路

1、针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构。

2、根据本实用新型提供的一种兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构，包括：晶圆吸盘和定位块；

3、所述晶圆吸盘上设置多个所述定位块，多个所述定位块沿同一圆形周侧排布。

4、优选地，所述定位块由圆柱和两个斜圆锥构成，所述圆柱一侧端面安装在所述晶圆吸盘上，另一侧端面连接两个斜圆锥。

5、优选地，两个斜圆锥的底面连接所述圆柱的端面，两个斜圆锥的顶端之间设置间隙。

6、优选地，所述斜圆锥背向另一个斜圆锥的外侧设置为光滑的圆锥曲面。

7、优选地，晶圆放置在多个所述定位块围成的圆形区域内，所述晶圆的外侧与所述定位块相切。

8、优选地，所述定位块沿所述晶圆周侧均匀排布，所述定位块任一斜圆锥的圆锥曲面朝向所述晶圆方向。

9、优选地，所述晶圆吸盘上设置多个沿不同直径圆形排布的安装孔，所述定位块根据晶圆直径选择对应圆形直径位置的安装孔安装在所述晶圆吸盘上。

10、与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：

11、本申请给晶圆放置边缘增加一个特殊的定位块结构，解决了使用多类型晶圆材料片时，晶圆吸盘为压缩空气破空时，材料片晶圆因为重量不一致被吹飞偏移的问题。

技术特征：

1.一种兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构，其特征在于，包括：晶圆吸盘(2)和定位块(3)；

2.根据权利要求1所述兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构，其特征在于：所述定位块(3)由圆柱和两个斜圆锥构成，所述圆柱一侧端面安装在所述晶圆吸盘(2)上，另一侧端面连接两个斜圆锥。

3.根据权利要求2所述兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构，其特征在于：两个斜圆锥的底面连接所述圆柱的端面，两个斜圆锥的顶端之间设置间隙。

4.根据权利要求2所述兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构，其特征在于：所述斜圆锥背向另一个斜圆锥的外侧设置为光滑的圆锥曲面。

5.根据权利要求4所述兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构，其特征在于：晶圆(1)放置在多个所述定位块(3)围成的圆形区域内，所述晶圆(1)的外侧与所述定位块(3)相切。

6.根据权利要求5所述兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构，其特征在于：所述定位块(3)沿所述晶圆(1)周侧均匀排布。

7.根据权利要求5所述兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构，其特征在于：所述晶圆吸盘(2)上设置多个沿不同直径圆形排布的安装孔，所述定位块(3)根据晶圆(1)直径选择对应圆形直径位置的安装孔安装在所述晶圆吸盘(2)上。

8.根据权利要求5所述兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构，其特征在于：所述定位块(3)任一斜圆锥的圆锥曲面朝向所述晶圆(1)方向。

技术总结
本技术提供了一种兼容多种晶圆破空时偏移的晶圆吸盘结构，包括：晶圆吸盘和定位块；所述晶圆吸盘上设置多个所述定位块，多个所述定位块沿同一圆形周侧排布。本申请给晶圆放置边缘增加一个特殊的定位块结构，解决了使用多类型晶圆材料片时，晶圆吸盘为压缩空气破空时，材料片晶圆因为重量不一致被吹飞偏移的问题。

技术研发人员：王旭东
受保护的技术使用者：淄博绿能芯创电子科技有限公司
技术研发日：20230201
技术公布日：2024/1/12