晶圆装卸机的制作方法

本技术涉及一种晶圆盒的装载装置，尤指一种晶圆装卸机。

背景技术：

1、现今半导体制程中，晶圆需经过数个工作站进行加工处理，而在站与站之间等待的过程中，一般会先将晶圆放置于晶圆传送盒(foup)中，并且将晶圆传送盒置于一装卸机(load port)上，其目的是为了使晶圆保持在一高度无尘的环境中，且可利用装卸机对晶圆传送盒的盖体进行开闭动作，并通过气体的输送使得在开闭过程中可保持晶圆传送盒内部的无尘状态，如中国台湾新型公告号tw i379374b的处理容器中的物件的方法及使用于该方法的盖开启/关闭系统，利用清洁气体供应喷嘴配置于前开式介面机械标准系统的开口部的两个垂直侧的外侧，幕状喷嘴安装在开口部的顶侧上方，当启闭晶圆盒的盖时，各清洁气体供应喷嘴及幕状喷嘴可喷出气体以维持晶圆盒内部的清洁。

2、然而，目前市面上的装卸机如同前述，其主要功能是用以承载晶圆传送盒并对盖进行开闭的动作，且对盖进行开闭的动作需花费一定的等待时间，如此在制程中无形的增加了不少时间上的浪费，进而也会增加成本；因此，如何增进现有技术装卸机的功能，增进其功能是有待加以思考并予以改良的必要。

技术实现思路

1、有鉴于现有技术的不足，本实用新型提供一种晶圆装卸机，其借由将检测装置设置于开闭门，达到开闭门开启时同步进行检测动作的目的。

2、为达上述的目的，本实用新型所采用的技术手段为设计一种晶圆装卸机，其包含：-

3、一安装座，其具有一顶面，该顶面上设置有一载置台，该载置台设置有一扣件，该载置台可相对于该安装座移动；

4、一开口部，其包含一板体及一驱动组件，该板体贯穿有一开口及一导口，该驱动组件设置于该板体位于该导口的位置，该开口部以该板体设置于该安装座的一侧面，该开口相邻于该载置台；

5、一开闭门，其包含一门板、一取盖装置及一检测装置，该门板的一端设置有一连接杆，该取盖装置及该检测装置设置于该门板的一侧面，该开闭门以该连接杆连接于该驱动组件，该门板可相对于该板体移动，该取盖装置封闭该开口。

6、进一步而言，所述的晶圆装卸机，其中该检测装置包含一承载架、一滑轨组件、二旋转臂及多个侦测器，该承载架固设于该门板，该滑轨组件可移动地设置于该承载架上，各该旋转臂的一端间隔地枢设于该滑轨组件，各该侦测器设置于各该旋转臂的另一端。

7、进一步而言，所述的晶圆装卸机，其中该取盖装置包含一片体及多个卡固件，该片体固设于该门板，各该卡固件设置于该片体，该片体位于该开口位置。

8、进一步而言，所述的晶圆装卸机，其中该载置台进一步形成有多个导气连接头及多个导气通道，各该导气连接头呈间隔排列，各该导气通道成形于该载置台内且分别与各该导气连接头相连通。

9、进一步而言，所述的晶圆装卸机，其中各该侦测器为光纤感测头。

10、本实用新型的优点在于，借由在开闭门开启的过程中，即可利用检测装置同时完成对各晶圆的检测动作，达到可减少制程步骤增进生产效率的功效，且可利用滑轨组件调整二旋转臂的位置，并针对不同尺寸的晶圆进行检测，具有高度通用性。

技术特征：

1.一种晶圆装卸机，其特征在于，包含：

2.如权利要求1所述的晶圆装卸机，其特征在于，该检测装置包含一承载架、一滑轨组件、二旋转臂及多个侦测器，该承载架固设于该门板，该滑轨组件可移动地设置于该承载架上，各该旋转臂的一端间隔地枢设于该滑轨组件，各该侦测器设置于各该旋转臂的另一端。

3.如权利要求1或2所述的晶圆装卸机，其特征在于，该取盖装置包含一片体及多个卡固件，该片体固设于该门板，各该卡固件设置于该片体，该片体位于该开口位置。

4.如权利要求3所述的晶圆装卸机，其特征在于，该载置台进一步形成有多个导气连接头及多个导气通道，各该导气连接头呈间隔排列，各该导气通道成形于该载置台内且分别与各该导气连接头相连通。

5.如权利要求2所述的晶圆装卸机，其特征在于，各该侦测器为光纤感测头。

技术总结
本技术为一种晶圆装卸机，其包含一安装座，安装座上设置有一载置台；一开口部，其包含一板体及一驱动组件，驱动组件设置于板体，开口部以板体设置于安装座的一侧面；一开闭门，其包含一门板、一取盖装置及一检测装置，取盖装置及检测装置设置于门板的一侧面，门板连接于驱动组件且可相对于板体移动，取盖装置封闭开口；当设置有晶圆传送盒时，借由在开闭门开启的过程中，即可同时完成对各晶圆的检测动作，检测各晶圆是否有凸片、斜置或相互贴靠重叠的情形产生，以及晶圆的变形量，达到可减少制程步骤增进生产效率的功效。

技术研发人员：游宗哲
受保护的技术使用者：盛诠科技股份有限公司
技术研发日：20230301
技术公布日：2024/1/13