一种运输载具的制作方法

本技术涉及半导体装载治具，尤其涉及一种运输载具。

背景技术：

1、在半导体或光伏材料的加工领域，通常是将片状材料送入扩散炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，因此，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，需要采用一些装置来装载或移动待加工的、加工过程中的或者加工完成后的材料，例如，在硅片加工过程中通常会涉及到高温、高腐蚀的反应环境，因此制作硅片的装载治具的原材料通常为石英或碳化硅等耐高温、耐腐蚀的材料，行业内通常把这种装载治具称为运输载具。

2、一般来说，运输载具由小舟和运输载具托组成，小舟放置在运输载具托上，在硅片需要放入扩散炉内进行反应时，通过舟桨来搬运放置有小舟的运输载具托，但是在小舟搬运至运输载具托上时，需要通过定位机构来对各个小舟进行定位，且需要对小舟进行多次取放，动作流程复杂，耗时较长，搬运效率低。

3、因此，亟需一种运输载具，来解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种运输载具，其包括多个小舟，相邻的两个小舟之间能够精准定位间距并排列在同一直线上，待各个小舟排列好后，通过舟桨直接搬运运输载具，从而简化动作流程，无须额外的定位机构进行定位，提高了搬运效率。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、本实用新型提供一种运输载具，该运输载具包括：

4、至少两个小舟，所述小舟用于承载基体，其中一个所述小舟设有至少一个连接部，另一个所述小舟设有至少一个与所述连接部配合的连接配合部。

5、可选地，所述小舟包括两个端板和多根槽棒，每根所述槽棒的两端分别与两个所述端板连接，至少一个端板设置有所述连接部或所述连接配合部。

6、可选地，至少一个所述端板的相对两侧分别设有所述连接部和所述连接配合部。

7、可选地，至少一个所述端板的相对两侧均设有所述连接部；或

8、至少一个所述端板的相对两侧均设有所述连接配合部。

9、可选地，所述连接部设置为定位凸起，所述连接配合部设置为卡槽，所述定位凸起卡设在所述卡槽内。

10、可选地，所述定位凸起的长度大于所述卡槽的长度，相邻的两个所述小舟之间具有间隙a，所述间隙a的取值范围为5mm～15mm。

11、可选地，每根所述槽棒的内侧均设有一排槽齿，所述槽棒上的所述槽齿均位于同一高度，每两根所述槽棒为一组，每组所述槽棒上的所述槽齿朝向相互靠近的一侧延伸，相邻的两个所述槽齿之间形成槽口，多根所述槽棒上位于同一高度的槽口共同形成插设所述基体的容置空间。

12、可选地，所述槽棒的外侧设有桨托耳，所述桨托耳用于将各个所述小舟悬挂在舟桨上。

13、可选地，至少一个所述端板上设有抓取部，每个所述抓取部均包括固定端和延伸端，所述抓取部用于搬运所述小舟。

14、可选地，所述连接部为链接销，所述连接配合部为插销孔，所述链接销插设在所述插销孔内。

15、本实用新型的有益效果为：

16、本实用新型提供一种运输载具，该运输载具包括至少两个小舟，小舟用于承载基体，其中一个小舟上设有连接部，与之相邻的小舟上设有与连接部配合的连接配合部，从而保证相邻的两个小舟之间的位置度。使用时，至少两个小舟沿第一方向依次排列，并将后一个小舟的连接部卡设在前一个小舟的连接配合部内，从而使相邻的小舟之间的距离相同，定位精准，然后直接通过舟桨搬运即可，简化了搬运运输载具动作流程，且无需借助额外的定位机构，有利于提高搬运效率。此外，通过连接部和连接配合部的设置，使得相邻的两个小舟之间维持有一定间隙，气流和热辐射能够穿过间隙从而在炉体内均匀流动，提高了基体镀膜的均匀性。

技术特征：

1.一种运输载具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的运输载具，其特征在于，所述小舟(100)包括两个端板(110)和多根槽棒(130)，每根所述槽棒(130)的两端分别与两个所述端板(110)连接，至少一个端板(110)设置有所述连接部或所述连接配合部。

3.根据权利要求2所述的运输载具，其特征在于，至少一个所述端板(110)的相对两侧分别设有所述连接部和所述连接配合部。

4.根据权利要求2所述的运输载具，其特征在于，至少一个所述端板(110)的相对两侧均设有所述连接部；或

5.根据权利要求1-4中任一项所述的运输载具，其特征在于，所述连接部设置为定位凸起，所述连接配合部设置为卡槽，所述定位凸起卡设在所述卡槽内。

6.根据权利要求5所述的运输载具，其特征在于，所述定位凸起的长度大于所述卡槽的长度，相邻的两个所述小舟(100)之间具有间隙a，所述间隙a的取值范围为5mm～15mm。

7.根据权利要求2-4中任一项所述的运输载具，其特征在于，每根所述槽棒(130)的内侧均设有一排槽齿(131)，所述槽棒(130)上的所述槽齿(131)均位于同一高度，每两根所述槽棒(130)为一组，每组所述槽棒(130)上的所述槽齿(131)朝向相互靠近的一侧延伸，相邻的两个所述槽齿(131)之间形成槽口，多根所述槽棒(130)上位于同一高度的槽口共同形成插设所述基体的容置空间(1311)。

8.根据权利要求2-4中任一项所述的运输载具，其特征在于，所述槽棒(130)的外侧设有桨托耳(132)，所述桨托耳(132)用于将各个所述小舟(100)悬挂在舟桨(200)上。

9.根据权利要求2-4中任一项所述的运输载具，其特征在于，至少一个所述端板(110)上设有抓取部(113)，所述抓取部(113)用于搬运所述小舟(100)。

10.根据权利要求1-4中任一项所述的运输载具，其特征在于，所述连接部为链接销，所述连接配合部为插销孔，所述链接销插设在所述插销孔内。

技术总结
本技术属于半导体装载治具技术领域，具体公开了一种运输载具，该运输载具包括至少两个小舟，小舟用于承载基体，其中一个小舟上设有连接部，与之相邻的小舟上设有与连接部配合的连接配合部，从而保证相邻的两个小舟之间的位置度。使用时，至少两个小舟之间依次卡合，然后直接通过舟桨搬运，简化了搬运运输载具的动作流程，且无需借助额外的定位机构，搬运效率高。此外，通过连接部和连接配合部的设置，使得相邻的两个小舟之间维持有一定间隙，气流和热辐射能够穿过间隙从而在炉体内均匀流动，提高了基体镀膜的均匀性。

技术研发人员：朱太荣,肖阳,林佳继,刘群,张武
受保护的技术使用者：拉普拉斯新能源科技股份有限公司
技术研发日：20230302
技术公布日：2024/1/15