一种晶圆盒多功能转运板的制作方法

本技术涉及半导体制造，特别指一种晶圆盒多功能转运板。

背景技术：

1、晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，晶圆盒内部有对称的沟槽，用于支撑晶圆的两边，晶圆盒的底部设有两块相互平行的片状支脚，使用时需将晶圆盒放置于统一的晶圆盒转运板上再进行输送，但是现有的晶圆盒转运板承载的数量少，适用的晶圆盒规格单一，运输中如发生碰撞容易造成晶圆盒和转运板损坏。

2、因此，针对上述不足现有技术还有待改进。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种结构简单，使用方便，可用于放置多种尺寸的晶圆盒的晶圆盒多功能转运板。

2、为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

3、本实用新型所述的一种晶圆盒多功能转运板，包括承载板，所述承载板上端面固定有若干组定位机构，所述定位机构包括上组件和下组件，所述上组件包括定位件a和定位件b，所述下组件包括定位件c和定位件d,所述定位件a和定位件b上分别设有互为配对的型槽，每个所述型槽上均设有第一定位口和第二定位口，所述第一定位口开口与所述下组件相对，所述定位件a的第二定位口与所述定位件b的第二定位口的开口相对；所述定位件c和定位件d上均设有互为配对的凹槽，所述定位件c的凹槽和所述定位件d的凹槽相对一侧均设有第三定位口，所述凹槽上还设有第四定位口，所述第四定位口与所述第一定位口相对应，所述第一定位口与所述第四定位口配套使用，所述第二定位口与所述第三定位口配套使用。

4、所述定位件a和定位件b的型槽互为镜像对称设置，所述定位件c和定位件d的凹槽互为镜像对称设置。

5、所述型槽为l型槽，所述定位件a的l型槽和定位件b上的l型槽相对的一侧敞开设置，所述l型槽与所述下组件相对一侧敞开设置，同一定位件上的所述第一定位口和第二定位口相互贯通。

6、所述定位件c和定位件d的凹槽为方形凹槽，所述方形凹槽相互垂直的两个侧面分别设置有所述第三定位口和第四定位口。

7、所述承载板四周设有若干导向轮。

8、所述承载板为方形板，所述导向轮固定于所述承载板上端面的四个角上。

9、所述承载板四周设有缓冲块。

10、所述定位机构设有四组且排列成一行固定于所述承载板上。

11、本实用新型可根据晶圆盒的大小定制与其相匹配的型槽和凹槽大小，更具体的所述晶圆盒底部是两个左右平行的片状支脚，实际使用时，同一个承载板上可适用两种尺寸的晶圆盒，晶圆盒从上往下放置于定位机构上，当放置第一种尺寸的晶圆盒时，其左边支脚前部通过定位件a的第一定位口限定于定位件a的型槽内，后部通过定位件d的第四定位口限定于定位件d的凹槽内，其右边支脚前部通过定位件b的第一定位口限定于定位件b型槽，后部通过定位件c的第四定位口限定于定位件c的凹槽内；当放置第二种尺寸的晶圆盒时，其左边支脚前部通过定位件d的第三定位口限定于定位件d的凹槽内，后部通过定位件c的第三定位口限定于定位件c的凹槽内,其右边支脚前部通过定位件a的第二定位口限定于定位件a的型槽内，后部通过定位件b的第二定位口限定于定位件b的型槽内。采用这样设置，晶圆盒能稳定的限定于定位机构上，且增加了承载板的适用性，提高了企业的生产效率。

技术特征：

1.一种晶圆盒多功能转运板，包括承载板(1)，其特征在于，所述承载板(1)上端面固定有若干组定位机构，所述定位机构包括上组件和下组件，所述上组件包括定位件a(2)和定位件b(3)，所述下组件包括定位件c(4)和定位件d(5),所述定位件a(2)和定位件b(3)上分别设有互为配对的型槽，每个所述型槽上均设有第一定位口和第二定位口，所述第一定位口开口与所述下组件相对，所述定位件a(2)的第二定位口与所述定位件b(3)的第二定位口的开口相对；所述定位件c(4)和定位件d(5)上均设有互为配对的凹槽，所述定位件c(4)的凹槽和所述定位件d(5)的凹槽相对一侧均设有第三定位口，所述凹槽上还设有第四定位口，所述第四定位口与所述第一定位口相对应，所述第一定位口与所述第四定位口配套使用，所述第二定位口与所述第三定位口配套使用。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒多功能转运板，其特征在于，所述定位件a(2)和定位件b(3)的型槽互为镜像对称设置，所述定位件c(4)和定位件d(5)的凹槽互为镜像对称设置。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒多功能转运板，其特征在于，所述型槽为l型槽，所述定位件a(2)的l型槽和定位件b(3)上的l型槽相对的一侧敞开设置，所述l型槽与所述下组件相对一侧敞开设置，同一定位件上的所述第一定位口和第二定位口相互贯通。

4.根据权利要求2所述的晶圆盒多功能转运板，其特征在于，所述定位件c(4)和定位件d(5)的凹槽为方形凹槽，所述方形凹槽相互垂直的两个侧面分别设置有所述第三定位口和第四定位口。

5.根据权利要求1所述的晶圆盒多功能转运板，其特征在于，所述承载板(1)四周设有若干导向轮(6)。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒多功能转运板，其特征在于，所述承载板(1)为方形板，所述导向轮(6)固定于所述承载板(1)上端面的四个角上。

7.根据权利要求1所述的晶圆盒多功能转运板，其特征在于，所述承载板(1)四周设有缓冲块(7)。

8.根据权利要求1所述的晶圆盒多功能转运板，其特征在于，所述定位机构设有四组且排列成一行固定于所述承载板(1)上。

技术总结
本技术涉及半导体制造技术领域，特别指一种晶圆盒多功能转运板，包括承载板，承载板上端面固定有若干组定位机构，定位机构包括上组件和下组件，上组件包括定位件a和定位件b，下组件包括定位件c和定位件d,定位件a和定位件b上分别设有互为配对的型槽，每个型槽上均设有第一定位口和第二定位口，第一定位口开口与下组件相对，定位件a的第二定位口与定位件b的第二定位口的开口相对；定位件c和定位件d上均设有互为配对的凹槽，定位件c的凹槽和定位件d的凹槽相对一侧设有均第三定位口，凹槽上还设有第四定位口，第四定位口与第一定位口相对应，本技术可同时适用于两种尺寸的晶圆盒，并能同时运载多个晶圆盒。

技术研发人员：王洋洋
受保护的技术使用者：苏州苏优信立智能科技有限公司
技术研发日：20230315
技术公布日：2024/1/13