一种真空腔室的转接组件及其形成的半导体传输系统的制作方法

本技术涉及真空腔室传输领域，尤其涉及一种真空腔室的转接组件及其形成的半导体传输系统。

背景技术：

1、半导体领域中通常需要在真空腔室内进行半导体产品的传输，例如需要在工艺腔室和传输腔室中频繁进行产品的传输处理。现有技术的传输腔室内部安装真空传输机器人，且工艺腔室和传输腔室之间通过连接端口进行对接。

2、为了确保工艺腔室和传输腔室内部的真空度，通常需要在连接端口处设置密封圈，由于工艺腔室和传输腔室的体积较大，为了便于传输稳定，通常将工艺腔室和传输腔室固定在地面上。

3、真空传输体系中密封圈老化时间在3年左右，因此在设备密封圈出现泄露或者未出现泄露且达到使用年限的时候，需要半导体整机设备停机维护，更换密封圈；现有的维护方法具体为：将固定在地面上的传输腔室和工艺腔室拆开，向转接口垂直方向拉开一定操作空间，并在该空间进行密封圈的更换。

4、这种维护方法需要全部拆开分离设备，对场地预留有一定要求，无疑增加了使用成本，降低了厂房利用率。同时设备拆分后再复原，不仅仅是单纯的机械复原，这里还有因位置变动引起的真空机械手重新示教的工作，示教是指手动重新获取机械手在各个工艺腔内的终点坐标，以保证在自动控制条件下，机械手能准确地完成去放晶圆的工作。除此以外，更换一次密封圈，设备停机时间长，严重影响设备的生产效率。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此，本实用新型的目的在于提供一种真空腔室的转接组件及其形成的半导体传输系统，借助伸缩管的压缩和伸长，可以实现真空腔室的转接以及断开，当伸缩管处于压缩状态时，可以为真空腔室的入口或出口提供操作场地，便于真空腔室入口或出口处密封圈的更换，显著提升了密封圈更换效率，减少设备停机时间，降低设备维修成本。

2、为了实现上述目的，本申请采用如下技术方案：一种真空腔室的转接组件，所述转接组件包括伸缩管以及位于伸缩管两端的转接端面，其中一个转接端面与真空腔室的入口或出口可拆卸连接，所述真空腔室中与转接端面连接的面中设置有密封圈。

3、进一步的，所述真空腔室中与转接端面连接的面中设置有用于容纳密封圈的凹槽。

4、进一步的，所述转接端面中设置有定位销钉，所述定位销钉位于伸缩管的外侧，所述真空腔室的入口或出口所在端面设置有与所述定位销钉相适配的定位孔。

5、进一步的，所述定位销钉均匀分布在转接端面中所述伸缩管的外侧。

6、进一步的，所述真空腔室的入口或出口为长方形，所述转接端面中伸缩管为长方体的伸缩管，所述转接端面为长方体。

7、一种半导体传输系统，包括如上所述的真空腔室的转接组件。

8、进一步的，包括工艺腔室和传输腔室，且所述工艺腔室和传输腔室的内部均为真空环境；所述工艺腔室和传输腔室中设置有对应的连接端口，所述连接端口之间设置有转接组件，所述转接组件中的两个转接端面分别可拆卸连接在工艺腔室和传输腔室的连接端口中。

9、进一步的，所述传输腔室和工艺腔室的连接端口中设置有密封圈。

10、进一步的，所述传输腔室为多边体，所述传输腔室的侧边设置有m个工艺腔室，所述传输腔室与m隔工艺腔室之间分别通过转接组件连接；m为大于0的整数。

11、本申请实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：本申请转接组件包括伸缩管以及位于伸缩管两端的转接端面，其中一个转接端面与所述真空腔室的入口或出口可拆卸连接，所述真空腔室中与转接端面连接的面中设置有密封圈；本申请中远离真空腔室的转接端面可以固定在待固定的位置处，伸缩管具有弹性，且能够伸缩，当伸缩管位于伸长状态的时候，相当于将真空腔室的入口或出口进行了延伸，确保真空腔室的入口或出口能够密封连接在待固定的位置处，当伸缩管处于压缩状态的时候，转接端面可以从真空腔室中以拆卸下来，此时，真空腔室入口或出口处的密封圈可以实现更换；本申请正是借助伸缩管的压缩和伸长，可以实现真空腔室的转接以及断开，当伸缩管处于压缩状态时，可以为真空腔室的入口或出口提供操作场地，便于真空腔室入口或出口处密封圈的更换，显著提升了密封圈更换效率，减少设备停机时间，降低设备维修成本。

技术特征：

1.一种真空腔室的转接组件，其特征在于，所述转接组件包括伸缩管以及位于伸缩管两端的转接端面，其中一个转接端面与真空腔室的入口或出口可拆卸连接，所述真空腔室中与转接端面连接的面中设置有密封圈。

2.根据权利要求1所述的一种真空腔室的转接组件，其特征在于，所述真空腔室中与转接端面连接的面中设置有用于容纳密封圈的凹槽。

3.根据权利要求1所述的一种真空腔室的转接组件，其特征在于，所述转接端面中设置有定位销钉，所述定位销钉位于伸缩管的外侧，所述真空腔室的入口或出口所在端面设置有与所述定位销钉相适配的定位孔。

4.根据权利要求3所述的一种真空腔室的转接组件，其特征在于，所述定位销钉均匀分布在转接端面中所述伸缩管的外侧。

5.根据权利要求1所述的一种真空腔室的转接组件，其特征在于，所述真空腔室的入口或出口为长方形，所述转接端面中伸缩管为长方体的伸缩管，所述转接端面为长方体。

6.一种半导体传输系统，其特征在于，包括权利要求1-5任意一项所述的真空腔室的转接组件。

7.根据权利要求6所述的一种半导体传输系统，其特征在于，包括工艺腔室和传输腔室，且所述工艺腔室和传输腔室的内部均为真空环境；所述工艺腔室和传输腔室中设置有对应的连接端口，所述连接端口之间设置有转接组件，所述转接组件中的两个转接端面分别可拆卸连接在工艺腔室和传输腔室的连接端口中。

8.根据权利要求7所述的一种半导体传输系统，其特征在于，所述传输腔室和工艺腔室的连接端口中设置有密封圈。

9.根据权利要求7所述的一种半导体传输系统，其特征在于，所述传输腔室为多边体，所述传输腔室的侧边设置有m个工艺腔室，所述传输腔室与m个工艺腔室之间分别通过转接组件连接；m为大于0的整数。

技术总结
本技术公开了一种真空腔室的转接组件及其形成的半导体传输系统，其中，所述转接组件包括伸缩管以及位于伸缩管两端的转接端面，其中一个转接端面与真空腔室的入口或出口可拆卸连接，所述真空腔室中与转接端面连接的面中设置有密封圈。本技术提供的一种真空腔室的转接组件及其形成的半导体传输系统，借助伸缩管的压缩和伸长，可以实现真空腔室的转接以及断开，当伸缩管处于压缩状态时，可以为真空腔室的入口或出口提供操作场地，便于真空腔室入口或出口处密封圈的更换，显著提升了密封圈更换效率，减少设备停机时间，降低设备维修成本。

技术研发人员：田君一,刘锐,赵鹏程
受保护的技术使用者：上海广川科技有限公司
技术研发日：20230317
技术公布日：2024/1/13