开PO器的制作方法

本技术涉及自动化晶圆传送盒用治具，具体为开po器。

背景技术：

1、晶圆传送盒(smif pod)，这是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器，其内部可以容纳25片的300mm晶圆。

2、在晶圆传送盒对晶圆保护运送完成后，需要使用者进行打开处理，而目前的晶圆传送盒打开方式采用手动简易打开，在打开和关闭时，使用者容易对晶圆造成损伤，影响晶圆的成品质量。

技术实现思路

1、为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型的目的在于提供开po器，具备了方便打开和关闭晶圆传送盒的优点，解决了目前的晶圆传送盒打开方式采用手动简易打开，使用者容易对晶圆造成损伤的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：开po器，包括基板，所述基板的内部滑动连接有转轴，所述转轴表面的底部通过轴承活动连接有底板，所述基板底部的四角均固定连接有支撑柱，所述支撑柱的底部通过螺栓固定安装在底板的顶部，所述基板顶部的三角均固定连接有限位销，所述基板与底板的内侧设置有手柄，所述手柄的后端通过连接套和螺栓固定安装在支撑柱的表面，所述转轴顶部的前侧与后侧均固定连接有转销。

3、作为本实用新型优选的，所述基板顶部的四角均固定连接有防护套，所述支撑柱的底部与底板的顶部接触。

4、作为本实用新型优选的，所述底板底部的四角均固定连接有垫板，所述基板和底板的表面均开设有圆角。

5、与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

6、1、本实用新型由基板通过限位销对晶圆传送盒进行限位，再由手柄通过支撑柱带动转销转动对晶圆传送盒进行打开和关闭，达到方便打开和关闭晶圆传送盒的优点，在打开和关闭时，使用者不易对晶圆造成损伤，提高了晶圆的成品质量。

7、2、本实用新型通过设置防护套，能够对基板顶部的四角进行防护，提高了基板的使用寿命。

技术特征：

1.开po器，包括基板(1)，其特征在于：所述基板(1)的内部滑动连接有转轴(2)，所述转轴(2)表面的底部通过轴承活动连接有底板(3)，所述基板(1)底部的四角均固定连接有支撑柱(4)，所述支撑柱(4)的底部通过螺栓固定安装在底板(3)的顶部，所述基板(1)顶部的三角均固定连接有限位销(5)，所述基板(1)与底板(3)的内侧设置有手柄(6)，所述手柄(6)的后端通过连接套和螺栓固定安装在支撑柱(4)的表面，所述转轴(2)顶部的前侧与后侧均固定连接有转销(7)。

2.根据权利要求1所述的开po器，其特征在于：所述基板(1)顶部的四角均固定连接有防护套(8)，所述支撑柱(4)的底部与底板(3)的顶部接触。

3.根据权利要求1所述的开po器，其特征在于：所述底板(3)底部的四角均固定连接有垫板(9)，所述基板(1)和底板(3)的表面均开设有圆角。

技术总结
本技术公开了开PO器，包括基板，所述基板的内部滑动连接有转轴，所述转轴表面的底部通过轴承活动连接有底板，所述基板底部的四角均固定连接有支撑柱，所述支撑柱的底部通过螺栓固定安装在底板的顶部，所述基板顶部的三角均固定连接有限位销，所述基板与底板的内侧设置有手柄，所述手柄的后端通过连接套和螺栓固定安装在支撑柱的表面，所述转轴顶部的前侧与后侧均固定连接有转销。本技术由基板通过限位销对晶圆传送盒进行限位，再由手柄通过支撑柱带动转销转动对晶圆传送盒进行打开和关闭，达到方便打开和关闭晶圆传送盒的优点，在打开和关闭时，使用者不易对晶圆造成损伤，提高了晶圆的成品质量。

技术研发人员：刘红军,秦东魁
受保护的技术使用者：昆山英博尔电子科技有限公司
技术研发日：20230321
技术公布日：2024/1/15