一种匀胶机的吸气结构的制作方法

本技术涉及匀胶机的领域，尤其是涉及一种匀胶机的吸气结构。

背景技术：

1、匀胶机是在高速旋转的晶圆上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在晶圆上的胶液均匀地涂覆在晶圆上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。匀胶机可用于光刻胶的均匀涂抹，匀胶机主要包括吸盘、主轴电机、真空泵以及滴胶系统，吸盘与主轴电机相连，可在主轴电机的带动下高速旋转，真空泵与吸盘相连，用于对吸盘进行抽真空，在吸力的作用下，晶圆能够稳定地固定在吸盘上，滴胶系统则用于将光刻胶滴在晶圆上。现有匀胶机的吸盘尺寸固定，一般只能够用于一定尺寸范围内的晶圆涂胶，为了保证密封性，吸盘的安装精度高，不便于更换不同尺寸的吸盘以适用于各种尺寸的晶圆。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种匀胶机的吸气结构。

2、本实用新型提供的一种匀胶机的吸气结构采用如下的技术方案：

3、一种匀胶机的吸气结构，包括机座、匀胶腔和吸气组件，所述吸气组件包括真空吸盘、连接轴和主轴，所述真空吸盘底部与所述连接轴顶部连接，所述连接轴底部与所述主轴连接，所述连接轴与所述主轴内均设置有抽气通道，所述真空吸盘上开设有通气口，所述通气口与所述抽气通道连通。

4、可选的，所述连接轴底部设置有凹槽，所述凹槽的内壁设置有内螺纹，所述主轴的顶部设置有环形槽，所述环形槽的内壁设置有外螺纹，所述连接轴与所述主轴螺纹连接，所述连接轴插入所述环形槽内。

5、可选的，所述凹槽内还设置有环形密封垫圈，所述环形密封垫圈的内壁抵接所述连接轴底部的外壁。

6、可选的，所述匀胶腔设置在所述机座上，所述匀胶腔上设置有凸起部。

7、可选的，所述匀胶腔内设置有清洗罩，所述清洗罩的外壁紧贴所述匀胶腔的内壁，所述清洗罩上开设有通孔，所述主轴穿过所述通孔。

8、综上所述，本实用新型包括以下至少一种有益技术效果：

9、1.将晶圆放置在真空吸盘上，通过在抽气通道底部提供负压真空可以使晶圆固定在真空吸盘上；

10、2.通过设置连接轴和主轴可以实现对真空吸盘的自由拆卸，便于后期的更换与维修，而且螺纹连接的结构本身具有较强的密封性；

11、3.当连接轴与主轴旋紧后，连接轴伸入凹槽内的部分紧抵环形密封垫圈，通过这种设计进一步提气密性。

技术特征：

1.一种匀胶机的吸气结构，其特征在于：包括机座(1)、匀胶腔(2)和吸气组件(3)，所述吸气组件(3)包括真空吸盘(31)、连接轴(32)和主轴(33)，所述真空吸盘(31)底部与所述连接轴(32)顶部连接，所述连接轴(32)底部与所述主轴(33)连接，所述连接轴(32)与所述主轴(33)内均设置有抽气通道(34)，所述真空吸盘(31)上开设有通气口(311)，所述通气口(311)与所述抽气通道(34)连通。

2.根据权利要求1所述的一种匀胶机的吸气结构，其特征在于：所述连接轴(32)底部设置有凹槽，所述凹槽的内壁设置有内螺纹(321)，所述主轴(33)的顶部设置有环形槽(331)，所述环形槽(331)的内壁设置有外螺纹(332)，所述连接轴(32)与所述主轴(33)螺纹连接，所述连接轴(32)插入所述环形槽(331)内。

3.根据权利要求2所述的一种匀胶机的吸气结构，其特征在于：所述凹槽内还设置有环形密封垫圈(35)，所述环形密封垫圈(35)的内壁抵接所述连接轴(32)底部的外壁。

4.根据权利要求1所述的一种匀胶机的吸气结构，其特征在于：所述匀胶腔(2)设置在所述机座(1)上，所述匀胶腔(2)上设置有凸起部(4)。

5.根据权利要求2所述的一种匀胶机的吸气结构，其特征在于：所述匀胶腔(2)内设置有清洗罩(5)，所述清洗罩(5)的外壁紧贴所述匀胶腔(2)的内壁，所述清洗罩(5)上开设有通孔，所述主轴(33)穿过所述通孔。

技术总结
本技术涉及一种匀胶机的吸气结构，其包括机座、匀胶腔和吸气组件，吸气组件包括真空吸盘、连接轴和主轴，真空吸盘底部与连接轴顶部连接，连接轴底部与所述主轴连接，连接轴与主轴内均设置有抽气通道，真空吸盘上开设有通气口，通气口与抽气通道连通，所述连接轴底部设置有凹槽，凹槽的内壁设置有内螺纹，主轴的顶部设置有环形槽，所述环形槽的内壁设置有外螺纹，所述连接轴与所述主轴螺纹连接，所述连接轴插入所述环形槽内，将晶圆放置在真空吸盘上，通过在抽气通道底部提供负压真空可以使晶圆固定在真空吸盘上，设置连接轴和主轴可以实现对真空吸盘的自由拆卸，便于后期的更换与维修，而且螺纹连接的结构本身具有较强的密封性。

技术研发人员：董金良,杜国强,姜永明
受保护的技术使用者：无锡环亚微电子有限公司
技术研发日：20230324
技术公布日：2024/1/13