一种晶圆位置检测装置的制作方法

本申请涉及晶圆测试设备，具体为一种晶圆位置检测装置。

背景技术：

1、相关现有技术中，一批晶圆的输送需要使用到一种具有多个固定位的晶舟，每个晶圆分别固定于晶舟对应的固定位上。利用晶舟对晶圆固定，再将晶舟输运到检测工位，从而完成晶圆平稳的运输。

2、为了确保晶圆放置在了晶舟上正确的固定位，通常采用人工确认的方式，将晶舟固定位上的刻号标识与对应晶圆的批号信息对应，从而确认晶圆的位置信息。然而通过人工确认晶圆位置信息的方式耗时长，使得确认效率低。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本申请提供了一种晶圆位置检测装置，解决了人工确认晶圆位置信息导致确认效率低的问题。

2、为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：一种晶圆位置检测装置，其特征在于，包括：

3、机器视觉识别系统，所述机器视觉识别系统用于识别晶圆上的批号信息；

4、晶圆识别系统，所述晶圆识别系统用于识别晶舟固定位上是否容置有晶圆；

5、信息处理系统，所述信息处理系统连接于所述机器视觉识别系统和所述晶圆识别系统，所述信息处理系统用于储存所述机器视觉识别系统产生的信息以及所述晶圆识别系统产生的信息。

6、优选的，还包括承载台，所述承载台上设置有用于固定晶舟的固定治具。

7、优选的，所述固定治具包括支撑台和限位板，所述支撑台设置于所述承载台上，所述支撑台的顶面为沿第一方向倾斜的斜面，所述限位板固定设置于支撑台的顶面上。

8、优选的，所述机器视觉识别系统包括用于拍摄晶圆上批号信息的图像摄取装置、用于锐化图像上批号信息的图像处理装置和用于识别图像上批号信息的图像识别装置，所述图像摄取装置、图像处理装置和图像识别装置依次连接。

9、优选的，所述承载台上设置有支撑杆，所述支撑杆位于所述固定治具第一方向上的一侧，所述图像摄取装置转动设置于所述支撑杆上。

10、优选的，所述晶圆识别系统包括信号控制器和若干组信号验证装置，每组所述信号验证装置均包括信号发射装置和信号接收装置，所述信号发射装置和所述信号接收装置相对设置并且分别设置于所述固定治具的两侧，所述信号发射装置和所述信号接收装置均与所述信号控制器连接。

11、优选的，所述承载台上设置有两排支撑架，两排所述支撑架分别设置于所述固定治具第二方向上的两侧，所述信号发射装置设置于其中一个所述支撑架上，所述信号接收装置设置于另一个所述支撑架上；

12、当晶舟固定位内未设置有晶圆时，所述信号发射装置发出的信号被所述信号接收装置接收；当晶舟固定位内设置有晶圆时，所述信号发射装置发出的信号被晶圆阻挡。

13、优选的，所述信息处理系统包括数据汇总模块、数据对比模块和储存器，所述数据对比模块与所述数据汇总模块均与所述储存器连接，所述数据汇总模块用于整合所述机器视觉识别系统和所述晶圆识别系统的信息，所述储存器用于储存来自所述数据汇总模块的数据，所述数据对比模块用于比对所述晶圆识别系统传递的信息和所述储存器中储存的信息。

14、本申请提供了一种晶圆位置检测装置，具备以下有益效果：

15、该晶圆位置检测装置，通过设置机器视觉识别系统对晶圆上的批号信息进行识别读取，不仅能够确认晶圆对应的批号，而且能够根据识别到批号的数量确定晶圆的数量，再利用晶圆识别系统识别晶舟上每个固定位上是否存在晶圆，并且记录存在晶圆的固定位的编号，信息处理系统接收到来自晶圆识别系统的信息和来自机器视觉识别系统的信息，将晶圆的批号与其所在的晶舟固定位的编号对应，从而完成了晶圆位置信息的确认，信息确认过程迅速，解决了人工确认晶圆位置信息导致确认效率低的问题。

技术特征：

1.一种晶圆位置检测装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种晶圆位置检测装置，其特征在于，还包括承载台(4)，所述承载台(4)上设置有用于固定晶舟的固定治具。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆位置检测装置，其特征在于，所述固定治具包括支撑台和限位板(6)，所述支撑台设置于所述承载台(4)上，所述支撑台的顶面为沿第一方向倾斜的斜面，所述限位板(6)固定设置于支撑台的顶面上。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆位置检测装置，其特征在于，所述机器视觉识别系统(1)包括用于拍摄晶圆上批号信息的图像摄取装置(11)、用于锐化图像上批号信息的图像处理装置(12)和用于识别图像上批号信息的图像识别装置(13)，所述图像摄取装置(11)、图像处理装置(12)和图像识别装置(13)依次连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆位置检测装置，其特征在于，所述承载台(4)上设置有支撑杆(7)，所述支撑杆(7)位于所述固定治具第一方向上的一侧，所述图像摄取装置(11)转动设置于所述支撑杆(7)上。

6.根据权利要求2所述的一种晶圆位置检测装置，其特征在于，所述晶圆识别系统(2)包括信号控制器(21)和若干组信号验证装置，每组所述信号验证装置均包括信号发射装置(22)和信号接收装置(23)，所述信号发射装置(22)和所述信号接收装置(23)相对设置并且分别设置于所述固定治具的两侧，所述信号发射装置(22)和所述信号接收装置(23)均与所述信号控制器(21)连接。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆位置检测装置，其特征在于，所述承载台(4)上设置有两排支撑架(8)，两排所述支撑架(8)分别设置于所述固定治具第二方向上的两侧，所述信号发射装置(22)设置于其中一个所述支撑架(8)上，所述信号接收装置(23)设置于另一个所述支撑架(8)上；

8.根据权利要求1所述的一种晶圆位置检测装置，其特征在于，所述信息处理系统(3)包括数据汇总模块(31)、数据对比模块(32)和储存器(33)，所述数据对比模块(32)与所述数据汇总模块(31)均与所述储存器(33)连接，所述数据汇总模块(31)用于整合所述机器视觉识别系统(1)和所述晶圆识别系统(2)的信息，所述储存器(33)用于储存来自所述数据汇总模块(31)的数据，所述数据对比模块(32)用于比对所述晶圆识别系统(2)传递的信息和所述储存器(33)中储存的信息。

技术总结
本申请涉及晶圆测试设备技术领域，公开了一种晶圆位置检测装置，包括机器视觉识别系统，机器视觉识别系统用于识别晶圆上的批号信息；晶圆识别系统，晶圆识别系统用于识别晶舟固定位上是否容置有晶圆；信息处理系统，信息处理系统连接于机器视觉识别系统和晶圆识别系统，信息处理系统用于储存机器视觉识别系统产生的信息以及晶圆识别系统产生的信息。该晶圆位置检测装置，通过设置机器视觉识别系统对晶圆上的批号信息进行识别读取，再利用晶圆识别系统识别晶舟上每个固定位上是否存在晶圆，利用信息处理系统将晶圆的批号与晶舟固定位的编号对应，完成了晶圆位置信息的确认，信息确认过程迅速，解决了人工确认晶圆位置信息导致确认效率低的问题。

技术研发人员：钟树,谢刚刚,梁延培,陶锋,陈勇,郑朝生
受保护的技术使用者：上海芯丑半导体设备有限公司
技术研发日：20230329
技术公布日：2024/1/14