一种晶圆定位装置的制作方法

本技术属于晶圆加工，更具体而言，涉及一种晶圆定位装置。

背景技术：

1、晶圆磨边机是用于对晶圆边缘进行研磨的设备，一般晶圆磨边机采用砂轮对晶圆的外边缘进行研磨。晶圆在研磨之前，对晶圆的定位十分重要，晶圆定位精准才能研磨出合格的产品，若定位不准，将可能导致研磨出来的晶圆出现畸形，进而导致晶圆报废。

2、cn211828719u就公开了一种晶圆定位机构，与加工主轴相邻设置，其包括调节装置、驱动装置和两个设于驱动装置的定位件，驱动装置驱动两个定位件相向运动或相背运动，两个定位件在驱动装置的驱动下相向运动即可夹持晶圆，实现晶圆的二次定位，确保晶圆和加工主轴同心设置；上述定位机构是利用定位件的夹持来定位，为了避免定位件与砂轮干涉，其需要让定位件的移动范围比较大，使得整个定位机构较为复杂，且占据了较大的空间，不利于晶圆磨边机其他装置的布置。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆定位装置，旨在可利用两个定位单元来定位晶圆的外周的两个位置，从而确定晶圆位置，让晶圆与主轴同轴，简化了结构。

2、根据本实用新型的第一方面，提供了一种晶圆定位装置，包括机架以及设置在机架上的定位机构和用于放置晶圆的主轴，所述主轴的轴向为z轴方向，所述定位机构包括围绕主轴周向布置的两个定位单元；

3、所述定位单元包括挡板以及驱动挡板水平直线移动的驱动模块；

4、一个所述定位单元的挡板的移动方向为第一方向，另一个所述定位单元的挡板的移动方向为第二方向，第一方向与第二方向相交，两个挡板配合让主轴上的晶圆与主轴同轴。

5、在上述的晶圆定位装置中，所述第一方向为x轴方向，所述第二方向为y轴方向。

6、在上述的晶圆定位装置中，所述定位单元包括固定在机架上的固定块，所述挡板滑动配合在固定块上；

7、所述固定块上固定有顶块，所述挡板上螺纹连接有一螺杆，所述螺杆位于所述顶块背向主轴的一侧，所述挡板的移动方向与设置在该挡板上的螺杆的轴向相平行；

8、所述螺杆朝向顶块的一端为触碰端，所述触碰端用于与顶块接触，通过调整触碰端与顶块的间距来改变挡板的移动距离。

9、在上述的晶圆定位装置中，所述挡板上设有与螺杆相对应的固定套筒，所述固定套筒上转动设置有活动套筒，所述螺杆插设在固定套筒中，所述活动套筒中设有与螺杆相配合的调节螺母，转动活动套筒可让螺杆沿其轴向移动。

10、在上述的晶圆定位装置中，所述固定块上设有导轨组件，所述挡板滑动连接在所述导轨组件上。

11、在上述的晶圆定位装置中，所述挡板包括沿其移动方向依次布置的第一板体和第二板体，所述第一板体可拆卸固定在第二板体上，所述第一板体可沿挡板的移动方向调整位置，所述第一板体用于接触晶圆，所述驱动模块的输出端与第二板体连接。

12、在上述的晶圆定位装置中，所述第一板体上沿挡板的移动方向间隔布置有多个螺纹孔，所述第二板体上沿挡板的移动方向间隔布置有多个通孔，使用螺栓穿过通孔与螺纹孔螺纹连接以将第一板体固定到第二板体上。

13、在上述的晶圆定位装置中，所述第一板体包括构建成l型的水平段和竖直段，所述螺纹孔设置在水平段上，所述竖直段位于所述水平段朝向主轴的一端。

14、在上述的晶圆定位装置中，所述驱动模块为气缸。

15、本实用新型上述技术方案中的一个技术方案至少具有如下优点或有益效果之一：

16、本实用新型中设置了两个挡板，使用前，在挡板伸出状态下，根据晶圆尺寸先设置好挡板用于与晶圆接触的位置到主轴轴线的距离，使用时，两个挡板在伸出状态下分别与晶圆的外周接触，从而让晶圆与主轴同轴，进而起到定位效果；两个定位单元所占据的空间是比较小的，且只占据主轴外周的两个方位，整个装置可以灵活地应用到晶圆磨边机上，砂轮可以设置在其他方位对主轴上的晶圆进行打磨，简单方便。

技术特征：

1.一种晶圆定位装置，包括机架以及设置在机架上的定位机构和用于放置晶圆的主轴，所述主轴的轴向为z轴方向，其特征在于，所述定位机构包括围绕主轴周向布置的两个定位单元；

2.根据权利要求1所述的晶圆定位装置，其特征在于，所述第一方向为x轴方向，所述第二方向为y轴方向。

3.根据权利要求1所述的晶圆定位装置，其特征在于，所述定位单元包括固定在机架上的固定块，所述挡板滑动配合在固定块上；

4.根据权利要求3所述的晶圆定位装置，其特征在于，所述挡板上设有与螺杆相对应的固定套筒，所述固定套筒上转动设置有活动套筒，所述螺杆插设在固定套筒中，所述活动套筒中设有与螺杆相配合的调节螺母，转动活动套筒可让螺杆沿其轴向移动。

5.根据权利要求3所述的晶圆定位装置，其特征在于，所述固定块上设有导轨组件，所述挡板滑动连接在所述导轨组件上。

6.根据权利要求1所述的晶圆定位装置，其特征在于，所述挡板包括沿其移动方向依次布置的第一板体和第二板体，所述第一板体可拆卸固定在第二板体上，所述第一板体可沿挡板的移动方向调整位置，所述第一板体用于接触晶圆，所述驱动模块的输出端与第二板体连接。

7.根据权利要求6所述的晶圆定位装置，其特征在于，所述第一板体上沿挡板的移动方向间隔布置有多个螺纹孔，所述第二板体上沿挡板的移动方向间隔布置有多个通孔，使用螺栓穿过通孔与螺纹孔螺纹连接以将第一板体固定到第二板体上。

8.根据权利要求7所述的晶圆定位装置，其特征在于，所述第一板体包括构建成l型的水平段和竖直段，所述螺纹孔设置在水平段上，所述竖直段位于所述水平段朝向主轴的一端。

9.根据权利要求1所述的晶圆定位装置，其特征在于，所述驱动模块为气缸。

技术总结
本技术公开了一种晶圆定位装置，旨在可利用两个定位单元来定位晶圆的外周的两个位置，从而确定晶圆位置，让晶圆与主轴同轴，简化了结构，整个装置所占用的空间更小，其技术方案：一种晶圆定位装置，包括机架以及设置在机架上的定位机构和用于放置晶圆的主轴，所述主轴的轴向为Z轴方向，所述定位机构包括围绕主轴周向布置的两个定位单元；所述定位单元包括挡板以及驱动挡板水平直线移动的驱动模块；一个所述定位单元的挡板的移动方向为第一方向，另一个所述定位单元的挡板的移动方向为第二方向，第一方向与第二方向相交，两个挡板配合让主轴上的晶圆与主轴同轴，属于晶圆加工技术领域。

技术研发人员：邱文金,汤灿东,罗家明,吴伟平
受保护的技术使用者：广东长信精密设备有限公司
技术研发日：20230403
技术公布日：2024/1/15