提高卧式扩散炉非悬臂桨作业下进出舟稳定性的锁扣装置的制作方法

本技术涉及一种提高卧式扩散炉非悬臂桨作业下进出舟稳定性的锁扣装置，属于集成电路或分立器件芯片制造。

背景技术：

1、扩散工序是分立器件制造工艺中的关键工序，众所周知，晶圆需在扩散炉的恒温区完成作业。非悬臂桨作业下，晶圆靠机械手和推拉棒送入恒温区，若晶圆在进炉过程中，推拉棒与机械手发生脱钩现象，会导致晶圆未能进入恒温区完成作业，将直接影响产品质量。而若晶圆在出炉过程中，推拉棒与机械手发生脱钩现象，会导致晶圆未能及时出炉，停留在炉管中，也将影响产品质量。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种提高卧式扩散炉非悬臂桨作业下进出舟稳定性的锁扣装置，结构简单、巧妙，能够避免进出舟过程中推拉棒与机械手脱钩，提高进出舟的稳定性，提高产品质量。

2、本实用新型解决上述问题所采用的技术方案为：一种提高卧式扩散炉非悬臂桨作业下进出舟稳定性的锁扣装置，包括固定底座，所述固定底座与机械手固定连接，所述固定底座上开设孔凹槽，推拉棒一端底部设于所述孔凹槽内，所述推拉棒一端顶部露出孔凹槽，所述固定底座上设置竖向布置的导杆，所述导杆和推拉棒一端顶部通过锁扣固定连接，使得所述推拉棒与固定底座连接。

3、所述固定底座上开设螺纹孔，所述导杆穿设螺纹孔，两者通过螺母固定连接。

4、所述推拉棒为双t头推拉棒，所述双t头推拉棒水平布置。

5、所述固定底座、导杆和锁扣均为金属制成件。

6、与现有技术相比，本实用新型的优点在于：一种提高卧式扩散炉非悬臂桨作业下进出舟稳定性的锁扣装置，固定底座与机械手固定连接，且固定底座上设置导杆，导杆上套设锁扣，双t头推拉棒的一端底部挂载在孔凹槽中，顶部通过锁扣与导杆固定连接，进而与固定底座、机械手固定连接。本申请结构简单、巧妙，使用后能够避免进出舟过程中推拉棒与机械手脱钩，提高了进出舟的稳定性，提高了产品质量。

技术特征：

1.一种提高卧式扩散炉非悬臂桨作业下进出舟稳定性的锁扣装置，其特征在于：包括固定底座，所述固定底座与机械手固定连接，所述固定底座上开设孔凹槽，推拉棒一端底部设于所述孔凹槽内，所述推拉棒一端顶部露出孔凹槽，所述固定底座上设置竖向布置的导杆，所述导杆和推拉棒一端顶部通过锁扣固定连接，使得所述推拉棒与固定底座连接。

2.根据权利要求1所述的一种提高卧式扩散炉非悬臂桨作业下进出舟稳定性的锁扣装置，其特征在于：所述固定底座上开设螺纹孔，所述导杆穿设螺纹孔，两者通过螺母固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种提高卧式扩散炉非悬臂桨作业下进出舟稳定性的锁扣装置，其特征在于：所述推拉棒为双t头推拉棒，所述双t头推拉棒水平布置。

4.根据权利要求1所述的一种提高卧式扩散炉非悬臂桨作业下进出舟稳定性的锁扣装置，其特征在于：所述固定底座、导杆和锁扣均为金属制成件。

技术总结
本技术涉及一种提高卧式扩散炉非悬臂桨作业下进出舟稳定性的锁扣装置，属于集成电路或分立器件芯片制造技术领域。包括固定底座，所述固定底座与机械手固定连接，所述固定底座上开设孔凹槽，推拉棒一端底部设于所述孔凹槽内，所述推拉棒一端顶部露出孔凹槽，所述固定底座上设置竖向布置的导杆，所述导杆和推拉棒一端顶部通过锁扣固定连接，使得所述推拉棒与固定底座连接。所述固定底座上开设螺纹孔，所述导杆穿设螺纹孔，两者通过螺母固定连接。本申请结构简单、巧妙，使用后能够避免进出舟过程中推拉棒与机械手脱钩，提高了进出舟的稳定性，提高了产品质量。

技术研发人员：朱显,丁飞,马金磊,沈锋,刘庆霞
受保护的技术使用者：江苏新顺微电子股份有限公司
技术研发日：20230413
技术公布日：2024/1/14