电镀花篮装夹机构的制作方法

文档序号:36433150发布日期:2023-12-21 08:45阅读:61来源:国知局
技术简介:
本专利针对传统花篮夹具因单面多夹点联动导致硅片点位偏差、应力结构破坏的问题,创新性地采用活动杆驱动活动夹点进行多面单夹点联动,通过优化固定夹点与活动夹点的点位精度,减少硅片受力点,从而降低碎片率,提升装夹稳定性。
关键词:硅片夹持机构,应力结构保护

本技术涉及花篮夹具,特别涉及电镀花篮装夹机构。


背景技术:

1、硅片在去胶过后进入插片工序,这时就需要使用花篮夹具对硅片进行定位夹紧,目前的花篮夹具的装夹机构采用的是单面多夹点联动对硅片进行定位夹紧,这样虽然可以在一定程度上提高硅片的装夹效率,但是容易出现固定夹点与活动夹点的点位会出现偏差,使得硅片的受力点变多,容易破坏硅片内部的应力结构,进而导致硅片发生损坏。


技术实现思路

1、本实用新型,提供电镀花篮装夹机构,能够有效地提高固定夹点与活动夹点的点位精度,使得在夹紧硅片的过程中可以减少硅片的受力点,不易破坏硅片的应力结构,进而降低硅片的碎片率。

2、为实现上述目的,提供电镀花篮装夹机构,包括左侧板和右侧板,所述左侧板和右侧板之间固定连接有固定杆,所述固定杆为前后对称设置,前后固定杆之间固定连接有安装件,所述安装件的右侧表面且靠近底部边缘处固定连接有固定夹点,所述左侧板和右侧板的表面且靠近底部边缘处开设有通孔,所述通孔的内部活动连接有活动杆,所述活动杆相对的侧表面固定连接有活动夹点,所述活动杆的表面且靠近左端固定连接有挡板,所述挡板的左侧表面与左侧板的右侧表面之间固定连接有弹簧。通过设置左侧板和右侧板是为了方便对固定杆进行定位安装的作用,通过设置固定杆一方面是为了方便保证装夹机构的稳定性,另一方面是为了方便对安装件进行定位安装的作用,通过设置安装件一方面是为了方便提高装夹机构的稳定性,另一方面是为了方便对固定夹点进行定位安装的作用,通过设置固定夹点配合活动夹点是为了方便对硅片进行定位夹紧的作用,通过设置活动杆是为了方便带动活动夹点进行移动的作用,通过设置挡板是为了方便对弹簧进行定位安装的作用,通过设置弹簧是为了方便利用弹簧形变产生的弹力对硅片进行夹紧的作用。

3、根据所述的电镀花篮装夹机构,所述活动杆的位置位于安装件的前后侧,所述固定夹点与活动夹点的位置是相对应的,所述固定夹点与活动夹点之间为前后对称设置。起到方便固定夹点与活动夹点之间进行配合的作用,通过将固定夹点与活动夹点之间为前后对称设置是为了保证对硅片夹持的稳定性的作用。

4、根据所述的电镀花篮装夹机构,所述左侧板的左侧表面且靠近顶部边缘处与右侧板的右侧表面且靠近顶部边缘处均固定连接有v型导电块。通过设置导电块是为了方便连接电源的作用。

5、根据所述的电镀花篮装夹机构,所述安装件的数量为多个,多个所述安装件的形状为“u”字形,多个所述安装件之间的距离是相等的。起到方便对硅片进行定位夹紧的作用。

6、根据所述的电镀花篮装夹机构,所述活动杆分别贯穿左侧板上面的通孔和右侧板上面的通孔,所述活动杆的左端固定连接有安装块。

7、本实用新型的有益效果:通过设置活动杆驱动活动夹点进行多面单夹点联动,能够有效地提高固定夹点与活动夹点的点位精度,使得在夹紧硅片的过程中可以减少硅片的受力点,不易破坏硅片的应力结构,进而降低硅片的碎片率。

8、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。



技术特征:

1.电镀花篮装夹机构,包括左侧板(1)和右侧板(2),其特征在于,所述左侧板(1)和右侧板(2)之间固定连接有固定杆(5),所述固定杆(5)为前后对称设置,前后固定杆(5)之间固定连接有安装件(4),所述安装件(4)的右侧表面且靠近底部边缘处固定连接有固定夹点(10),所述左侧板(1)和右侧板(2)的表面且靠近底部边缘处开设有通孔,所述通孔的内部活动连接有活动杆(6),所述活动杆(6)相对的侧表面固定连接有活动夹点(9),所述活动杆(6)的表面且靠近左端固定连接有挡板(8),所述挡板(8)的左侧表面与左侧板(1)的右侧表面之间固定连接有弹簧(7)。

2.根据权利要求1所述的电镀花篮装夹机构,其特征在于,所述活动杆(6)的位置位于安装件(4)的前后侧,所述固定夹点(10)与活动夹点(9)的位置是相对应的,所述固定夹点(10)与活动夹点(9)之间为前后对称设置。

3.根据权利要求1所述的电镀花篮装夹机构,其特征在于,所述左侧板(1)的左侧表面且靠近顶部边缘处与右侧板(2)的右侧表面且靠近顶部边缘处均固定连接有v型导电块(3)。

4.根据权利要求1所述的电镀花篮装夹机构,其特征在于,所述安装件(4)的数量为多个,多个所述安装件(4)的形状为“u”字形,多个所述安装件(4)之间的距离是相等的。

5.根据权利要求1所述的电镀花篮装夹机构,其特征在于,所述活动杆(6)分别贯穿左侧板(1)上面的通孔和右侧板(2)上面的通孔,所述活动杆(6)的左端固定连接有安装块。


技术总结
本技术公开了电镀花篮装夹机构,其包括左侧板和右侧板,所述左侧板和右侧板之间固定连接有固定杆,所述固定杆为前后对称设置,前后固定杆之间固定连接有安装件,所述安装件的右侧表面且靠近底部边缘处固定连接有固定夹点,所述左侧板和右侧板的表面且靠近底部边缘处开设有通孔,所述通孔的内部活动连接有活动杆,所述活动杆相对的侧表面固定连接有活动夹点,所述活动杆的表面且靠近左端固定连接有挡板。通过上述结构,通过设置活动杆驱动活动夹点进行多面单夹点联动,能够有效地提高固定夹点与活动夹点的点位精度,使得在夹紧硅片的过程中可以减少硅片的受力点,不易破坏硅片的应力结构,进而降低硅片的碎片率。

技术研发人员:张三洋,邵玉林,陶俊
受保护的技术使用者:无锡琨圣智能装备股份有限公司
技术研发日:20230414
技术公布日:2024/1/15
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