一种晶圆加工模组的制作方法

本技术属于晶圆生产设备，具体涉及一种晶圆加工模组。

背景技术：

1、在晶圆工艺中，晶圆与载板的键合和解键合均为重要的加工步骤之一，其中晶圆与载板的解键合技术主要有键合胶加热软化、热滑移剪切、机械剥离等方式。

2、在实际操作过程中，在对键合后的晶圆进行解键合时，通常需要设置加热板对其进行加热以软化键合胶。当将晶圆解键合后，晶圆会被暂存在加热板上方，若长时间加热板温度过高会对放置在其上的晶圆损坏，影响解键合后晶圆的质量。

技术实现思路

1、为了解决上述难题，本实用新型提供了一种晶圆加工模组，其设置有可以选择性的与加热板贴合或分离的散热板，该散热板可以对加热板进行散热以防止过热损坏晶圆。

2、为了实现上述功能，本实用新型采取的技术方案如下：一种晶圆加工模组，包括：

3、工作台；

4、吸附分离机构，设置在所述工作台一侧；

5、物料放置加热机构，设置在所述工作台上，包括放置组件和设置在所述放置组件一侧的加热组件，所述放置组件适于放置目标物，所述加热组件适于对目标物进行加热并与所述吸附分离机构配合使得所述目标物分离；

6、其中，所述加热组件包括吸盘、设置在所述吸盘下方的加热板以及设置在所述加热板下方的散热板，所述加热板作用以将热量传递至所述吸盘，所述吸盘适于与所述吸附分离机构配合，所述散热板在外力作用下可相对于所述加热板移动，以与所述加热板贴合或分离。

7、可选地，上述的晶圆加工模组，所述散热板包括壳体和设置在所述壳体内部的管路，所述管路内适于通入冷却介质。

8、可选地，上述的晶圆加工模组，所述管路包括进液口和与所述进液口连通的出液口，所述冷却介质自所述进液口进入至所述管路并自所述出液口流出。

9、可选地，上述的晶圆加工模组，所述管路包括若干相互交错且连通设置的横向通道和竖向通道；

10、于所述散热板的水平方向上，若干所述横向通道和竖向通道分别贯穿所述散热板。

11、可选地，上述的晶圆加工模组，所述散热板具有槽口朝向所述加热板的凹槽，所述凹槽适于填充导热介质；

12、所述导热介质的高度大于或等于所述凹槽的深度。

13、可选地，上述的晶圆加工模组，所述模组还包括驱动机构，所述驱动机构适于与所述散热板连接，以驱动所述散热板与所述加热板贴合或分离。

14、可选地，上述的晶圆加工模组，所述模组还包括连接所述驱动机构与所述散热板的浮动机构。

15、可选地，上述的晶圆加工模组，所述物料放置加热机构还包括导向组件，所述散热板受外力在所述导向组件的作用下移动。

16、可选地，上述的晶圆加工模组，所述导向组件包括导向杆和与所述导向杆适配的导向孔，所述导向杆设置在所述工作台和所述散热板的其中一个上，所述导向孔设置在所述工作台和所述散热板中的另一个上。

17、可选地，上述的晶圆加工模组，所述导向组件还包括设置在所述导向孔内的轴承，所述导向杆适于穿过所述轴承的内圈。

18、本实用新型采取上述结构取得有益效果如下：本实用新型通过在加热板下方设置有散热板，该散热板可以在外力作用下与散热板贴合或分离；当对目标物进行解键合时，散热板受外力与加热板分离，此时加热板对目标物进行加热以软化目标物的键合胶，完成目标物的解键合；当对目标物解键合完成后，散热板受驱动力移动至加热板附近并与加热板贴合，以实现散热板对加热板的散热，从而将位于加热板上方的晶圆的热量带走，防止晶圆在长时间高温下损坏。

技术特征：

1.一种晶圆加工模组，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆加工模组，其特征在于，所述散热板包括壳体和设置在所述壳体内部的管路，所述管路内适于通入冷却介质。

3.根据权利要求2所述的晶圆加工模组，其特征在于，所述管路包括进液口和与所述进液口连通的出液口，所述冷却介质自所述进液口进入至所述管路并自所述出液口流出。

4.根据权利要求2所述的晶圆加工模组，其特征在于，所述管路包括若干相互交错且连通设置的横向通道和竖向通道；

5.根据权利要求1所述的晶圆加工模组，其特征在于，所述散热板具有槽口朝向所述加热板的凹槽，所述凹槽适于填充导热介质；

6.根据权利要求1所述的晶圆加工模组，其特征在于，所述模组还包括驱动机构，所述驱动机构适于与所述散热板连接，以驱动所述散热板与所述加热板贴合或分离。

7.根据权利要求6所述的晶圆加工模组，其特征在于，所述模组还包括连接所述驱动机构与所述散热板的浮动机构。

8.根据权利要求6所述的晶圆加工模组，其特征在于，所述物料放置加热机构还包括导向组件，所述散热板受外力在所述导向组件的作用下移动。

9.根据权利要求8所述的晶圆加工模组，其特征在于，所述导向组件包括导向杆和与所述导向杆适配的导向孔，所述导向杆设置在所述工作台和所述散热板的其中一个上，所述导向孔设置在所述工作台和所述散热板中的另一个上。

10.根据权利要求9所述的晶圆加工模组，其特征在于，所述导向组件还包括设置在所述导向孔内的轴承，所述导向杆适于穿过所述轴承的内圈。

技术总结
本技术公开了一种晶圆加工模组，包括：工作台；吸附分离机构；物料放置加热机构，包括放置组件和加热组件，放置组件适于放置目标物，加热组件适于对目标物进行加热并与吸附分离机构配合使得目标物分离；加热组件包括吸盘、加热板以及设置在加热板下方的散热板，加热板作用以将热量传递至吸盘，吸盘适于与吸附分离机构配合，散热板在外力作用下可相对于加热板移动，以与加热板贴合或分离。当对目标物进行解键合时，散热板与加热板分离，加热板对目标物进行加热以软化目标物的键合胶，完成目标物的解键合；当对目标物解键合完成后，散热板受驱动力移动至加热板附近并与加热板贴合，以实现散热板对加热板的散热，防止晶圆在长时间高温下损坏。

技术研发人员：万士元,沈达,王苏龙,江锦旺
受保护的技术使用者：吾拾微电子（苏州）有限公司
技术研发日：20230419
技术公布日：2024/1/15