修复工具的制作方法

本申请涉及半导体，具体涉及一种修复工具。

背景技术：

1、晶圆在完成质量检验之后打包出货时，需要进行抽真空处理，抽真空需把真空吸嘴插到覆盖铝膜的晶圆前开口装运箱(front opening shipping box，fosb)边，但因抽真空过程中容易造成打包机的真空吸嘴受到晶圆fosb下压而发生变形，进而影响抽真空量，从而造成打包时间变长或者打包失败。

2、目前，通常采用一些现有的修复工具对真空吸嘴进行修复，但使用现有的工具修复真空吸嘴的修复效率不高。

技术实现思路

1、鉴于此，本申请提供一种修复工具，以解决采用现有的修复工具修复真空吸嘴效率不高的问题。

2、本申请提供一种修复工具，用于修复晶圆打包机中变形的真空吸嘴，所述修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，所述支杆具有两个，所述主杆具有一个，所述主杆位于两个所述支杆之间，所述支杆以及所述主杆均与所述活动件连接，所述弹性件设置于所述活动件内，且位于所述支杆与所述主杆之间；所述支杆包括第一支撑件以及与所述第一支撑件连接的第二支撑件，自所述第一支撑件朝向所述第二支撑件的方向上，所述第二支撑件的厚度逐渐递减，所述第二支撑件用于撑开所述真空吸嘴，以使所述主杆进入所述真空吸嘴中，以修复所述真空吸嘴。

3、其中，所述第二支撑件靠近所述主杆的一面与所述第一支撑件靠近所述主杆的一面平齐，所述第二支撑件远离所述主杆的一面为倾斜面。

4、其中，所述第二支撑件靠近所述主杆的一面以及所述第二支撑件远离所述主杆的一面均为倾斜面。

5、其中，所述第一支撑件以及所述主杆远离所述第二支撑件的一端均设置有防滑件。

6、其中，自所述第一支撑件朝向所述第二支撑件的方向上，所述第一支撑件的正投影位于所述防滑件的正投影内。

7、其中，所述第一支撑件与所述第二支撑件为一体结构。

8、其中，所述第一支撑件与所述第二支撑件之间通过固定件连接。

9、其中，所述弹性件为弹簧。

10、其中，所述活动件具有三个间隔设置的通孔，两个所述支杆和一个所述主杆通过所述通孔连接于所述活动件。

11、其中，所述活动件设置于所述第一支撑件远离所述第二支撑件的一侧。

12、本申请提供一种修复工具，用于修复晶圆打包机中变形的真空吸嘴，修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，支杆具有两个，主杆具有一个，主杆位于两个支杆之间，支杆以及主杆均与活动件连接，弹性件设置于活动件内，且位于支杆与主杆之间；支杆包括第一支撑件和与第一支撑件连接的第二支撑件，自第一支撑件朝向第二支撑件的方向上，第二支撑件的厚度逐渐递减，第二支撑件用于撑开真空吸嘴，以使主杆进入真空吸嘴中，以修复变形的真空吸嘴。通过设计一种新的修复工具，即修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，主杆位于两个支杆之间，支杆以及主杆均与活动件连接，弹性件设置于活动件内，且自第一支撑件朝向第二支撑件的方向上，将第二支撑件的厚度设置为逐渐递减，即第二支撑件远离第一支撑件的一端为尖端，利用第二支撑件的尖端，将闭塞的真空吸嘴撑开一定的空间，以使得主杆进入到变形的真空吸嘴中，就可以对真空吸嘴变形的区域进行修复，无需手工修复，提高了修复真空吸嘴的修复效率，且可以降低人员受到损伤的风险。

技术特征：

1.一种修复工具，其特征在于，用于修复晶圆打包机中变形的真空吸嘴，所述修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，所述支杆具有两个，所述主杆具有一个，所述主杆位于两个所述支杆之间，所述支杆以及所述主杆均与所述活动件连接，所述弹性件设置于所述活动件内，且位于所述支杆与所述主杆之间；所述支杆包括第一支撑件以及与所述第一支撑件连接的第二支撑件，自所述第一支撑件朝向所述第二支撑件的方向上，所述第二支撑件的厚度逐渐递减，所述第二支撑件用于撑开所述真空吸嘴，以使所述主杆进入所述真空吸嘴中，以修复所述真空吸嘴。

2.根据权利要求1所述的修复工具，其特征在于，所述第二支撑件靠近所述主杆的一面与所述第一支撑件靠近所述主杆的一面平齐，所述第二支撑件远离所述主杆的一面为倾斜面。

3.根据权利要求1所述的修复工具，其特征在于，所述第二支撑件靠近所述主杆的一面以及所述第二支撑件远离所述主杆的一面均为倾斜面。

4.根据权利要求2所述的修复工具，其特征在于，所述第一支撑件以及所述主杆远离所述第二支撑件的一端均设置有防滑件。

5.根据权利要求4所述的修复工具，其特征在于，自所述第一支撑件朝向所述第二支撑件的方向上，所述第一支撑件的正投影位于所述防滑件的正投影内。

6.根据权利要求1-5任一项所述的修复工具，其特征在于，所述第一支撑件与所述第二支撑件为一体结构。

7.根据权利要求1-5任一项所述的修复工具，其特征在于，所述第一支撑件与所述第二支撑件之间通过固定件连接。

8.根据权利要求1-5任一项所述的修复工具，其特征在于，所述弹性件为弹簧。

9.根据权利要求1-5任一项所述的修复工具，其特征在于，所述活动件具有三个间隔设置的通孔，两个所述支杆和一个所述主杆通过所述通孔连接于所述活动件。

10.根据权利要求1-5任一项所述的修复工具，其特征在于，所述活动件设置于所述第一支撑件远离所述第二支撑件的一侧。

技术总结
本申请提供一种修复工具，用于修复晶圆打包机中变形的真空吸嘴，修复工具包括支杆、主杆、活动件以及弹性件，支杆具有两个，主杆具有一个，主杆位于两个支杆之间，支杆以及主杆均与活动件连接，弹性件设置于活动件内，且位于支杆与主杆之间；支杆包括第一支撑件和与第一支撑件连接的第二支撑件，自第一支撑件朝向第二支撑件的方向上，第二支撑件的厚度逐渐递减，第二支撑件用于撑开真空吸嘴，以使主杆进入真空吸嘴中，以修复真空吸嘴，提高了修复真空吸嘴的修复效率。

技术研发人员：卢卫柱
受保护的技术使用者：粤芯半导体技术股份有限公司
技术研发日：20230424
技术公布日：2024/1/15