一种高速高精度固晶机的上料、加温输送装置的制作方法

本技术涉及半导体固晶设备，具体地说是一种高速高精度固晶机的上料、加温输送装置。

背景技术：

1、传统共晶固晶机料片传送轨道较为单一为一体固定式使用，不满足高产能设备转塔式固晶机的使用需求，无法做到产能的提升使转塔式共晶机提升产能的初衷受到了制约。

2、因此，传统设备的性能已经满足不了现在工艺生产的使用需求，直接制约了半导体企业的发展扩张及技术更新迭代。

技术实现思路

1、本实用新型为克服现有技术的不足，提供一种高速高精度固晶机的上料、加温输送装置，和现有的缓存平台配合形成三段式的上料方式，将上料、加温及下料工艺整合在一起，大大提高了固晶机的工作效率。

2、为实现上述目的，设计一种高速高精度固晶机的上料、加温输送装置，包括传输轨道组件，其特征在于：所述的传输轨道组件包括上料传输轨道组件、加热传输轨道组件；上料传输轨道组件的输出端连接加热传输轨道组件的输入端，加热传输轨道组件的输出端连接缓存平台；位于上料传输轨道组件的上方设有料片输送装置；所述的加热传输轨道组件包括输送轨道、x轴输送马达、y轴输送马达、热电偶、加热棒、压料片、压料片马达，位于输送轨道的底部通过滑轨组件连接y轴输送马达，y轴输送马达的底部通过滑轨组件连接x轴输送马达；输送轨道上设有若干加热棒；位于输送轨道的上部一侧设有压料片的一端，压料片的另一端连接压料片马达。

3、所述的加热棒连接热电偶，热电偶位于输送轨道的中部。

4、所述的料片输送装置包括料片输送机架、吸头支架、料片z轴输送马达、料片y轴输送马达、真空吸头、料盒，位于上料传输轨道组件的上方通过料片输送机架连接吸头支架，吸头支架的一侧通过输送链连接料片y轴输送马达；吸头支架的顶部一侧通过连接件连接料片z轴输送马达；吸头支架的底部连接若干真空吸头。

5、位于上料传输轨道组件的一侧设有料盒。

6、位于上料传输轨道组件的输出端一侧设有钩针一。

7、位于加热传输轨道组件的输入端及输出端的一侧分别设有钩针二及钩针三。

8、所述的钩针一、钩针二及钩针三的结构一致。

9、所述的钩针一、钩针二及钩针三分别通过钩针马达一、钩针马达二及钩针马达三驱动。

10、本实用新型同现有技术相比，提供一种高速高精度固晶机的上料、加温输送装置，和现有的缓存平台配合形成三段式的上料方式，将上料、加温及下料工艺整合在一起，大大提高了固晶机的工作效率。

技术特征：

1.一种高速高精度固晶机的上料、加温输送装置，包括传输轨道组件，其特征在于：所述的传输轨道组件包括上料传输轨道组件(1)、加热传输轨道组件(2)；上料传输轨道组件(1)的输出端连接加热传输轨道组件(2)的输入端，加热传输轨道组件(2)的输出端连接缓存平台(6)；位于上料传输轨道组件(1)的上方设有料片输送装置(3)；所述的加热传输轨道组件(2)包括输送轨道、x轴输送马达、y轴输送马达、热电偶、加热棒、压料片、压料片马达，位于输送轨道(2-1)的底部通过滑轨组件连接y轴输送马达(2-3)，y轴输送马达(2-3)的底部通过滑轨组件连接x轴输送马达(2-2)；输送轨道(2-1)上设有若干加热棒(2-4)；位于输送轨道(2-1)的上部一侧设有压料片(2-5)的一端，压料片(2-5)的另一端连接压料片马达(2-6)。

2.根据权利要求1所述的一种高速高精度固晶机的上料、加温输送装置，其特征在于：所述的加热棒(2-4)连接热电偶(2-7)，热电偶(2-7)位于输送轨道(2-1)的中部。

3.根据权利要求1所述的一种高速高精度固晶机的上料、加温输送装置，其特征在于：所述的料片输送装置(3)包括料片输送机架、吸头支架、料片z轴输送马达、料片y轴输送马达、真空吸头、料盒，位于上料传输轨道组件(1)的上方通过料片输送机架(3-6)连接吸头支架(3-2)，吸头支架(3-2)的一侧通过输送链连接料片y轴输送马达(3-4)；吸头支架(3-2)的顶部一侧通过连接件连接料片z轴输送马达(3-3)；吸头支架(3-2)的底部连接若干真空吸头(3-5)。

4.根据权利要求3所述的一种高速高精度固晶机的上料、加温输送装置，其特征在于：位于上料传输轨道组件(1)的一侧设有料盒(3-1)。

5.根据权利要求1所述的一种高速高精度固晶机的上料、加温输送装置，其特征在于：位于上料传输轨道组件(1)的输出端一侧设有钩针一(4)。

6.根据权利要求1所述的一种高速高精度固晶机的上料、加温输送装置，其特征在于：位于加热传输轨道组件(2)的输入端及输出端的一侧分别设有钩针二(2-8)及钩针三(2-10)。

7.根据权利要求5所述的一种高速高精度固晶机的上料、加温输送装置，其特征在于：所述的钩针一(4)、钩针二(2-8)及钩针三(2-10)的结构一致。

8.根据权利要求5所述的一种高速高精度固晶机的上料、加温输送装置，其特征在于：所述的钩针一(4)、钩针二(2-8)及钩针三(2-10)分别通过钩针马达一(5)、钩针马达二(2-9)及钩针马达三(2-11)驱动。

技术总结
本技术涉及半导体固晶设备技术领域，具体地说是一种高速高精度固晶机的上料、加温输送装置。一种高速高精度固晶机的上料、加温输送装置，其特征在于：上料传输轨道组件的输出端连接加热传输轨道组件的输入端，加热传输轨道组件的输出端连接缓存平台；位于上料传输轨道组件的上方设有料片输送装置；位于输送轨道的底部通过滑轨组件连接Y轴输送马达，Y轴输送马达的底部通过滑轨组件连接X轴输送马达；输送轨道上设有若干加热棒；位于输送轨道的上部一侧设有压料片的一端，压料片的另一端连接压料片马达。同现有技术相比，和现有的缓存平台配合形成三段式的上料方式，将上料、加温及下料工艺整合在一起，大大提高了固晶机的工作效率。

技术研发人员：艾兵,渠敬国
受保护的技术使用者：上海赢朔电子科技股份有限公司
技术研发日：20230428
技术公布日：2024/3/4