晶圆盒闩锁机构及晶圆盒的制作方法

本申请涉及晶圆盒，尤其涉及一种晶圆盒闩锁机构及晶圆盒。

背景技术：

1、半导体晶圆在制造过程中会有许多的程序或步骤，而晶圆则会因这些程序或步骤，需要置放于不同的位置以及不同的机器中，因此在工艺中晶圆必须从一处运送至另一处，甚至必须储存一段时间，以配合必要的工艺。晶圆盒在半导体生产中主要起到存储和搬运晶圆的作用，晶圆盒能够有效降低晶圆被污染的风险。

2、晶圆盒包括盒体、盖合于盒体的门体，及设置于门体的闩锁机构，闩锁机构用以将门体锁固于盒体上。相关技术中，通过旋转闩锁机构的凸轮，从而带动闩锁件滑动，然而，由于凸轮与闩锁件之间为滑动摩擦，从而使得闩锁机构在开关时产生较多的粉尘，因此，很容易造成盒体内所放置的晶圆受到污染。

技术实现思路

1、本申请实施例提供了一种晶圆盒闩锁机构及晶圆盒，可以改善上述相关技术中粉尘过多的技术问题。

2、第一方面，本申请实施例提供一种晶圆盒闩锁机构，晶圆盒闩锁机构设置于门体内用以将所述门体锁固于盒体，所述晶圆盒闩锁机构包括转动件、连接件及闩锁件，所述转动件铰接于所述门体；所述连接件的第一端铰接于所述转动件，所述转动件的铰接处与所述连接件的第一端的铰接处间隔设置；所述闩锁件滑动设置于所述门体，所述连接件的第二端铰接于所述闩锁件，所述连接件的第二端的铰接处与所述转动件的铰接处及所述连接件的第一端的铰接处均间隔设置；其中，所述晶圆盒闩锁机构具有锁定状态及释锁状态，所述晶圆盒闩锁机构处于所述锁定状态时，所述闩锁件插设于所述盒体以使所述门体锁固于所述盒体，所述晶圆盒闩锁机构处于所述释锁状态时，所述闩锁件缩回所述门体以使所述门体可与所述盒体分离；所述转动件转动以带动所述闩锁件滑动，以使所述晶圆盒闩锁机构在所述锁定状态及所述释锁状态之间切换。

3、在一些示例性的实施例中，所述转动件上设置有限位部，所述晶圆盒闩锁机构还包括限位件，所述限位件设置于所述门体，所述限位部与所述限位件锁定配合，以限制所述转动件转动。

4、在一些示例性的实施例中，所述限位部包括沿所述转动件的径向凸设于所述转动件的第一凸部，所述限位件包括围设于所述转动件的弹性臂，所述弹性臂上设置有与所述第一凸部相适配的凹部。

5、在一些示例性的实施例中，所述限位部还包括设置于所述转动件上的第一限位槽，所述限位件包括凸设于所述门体的第二凸部，所述限位件及所述限位槽均沿所述转动件的转动轴线方向延伸，所述第二凸部能够与所述第一限位槽卡接，在限制所述转动件转动的同时，将所述转动件沿所述转动件的转动轴线方向抵紧于所述门体。

6、在一些示例性的实施例中，所述晶圆盒闩锁机构还包括设置于所述转动件上的引导块以及限位凸起，所述引导块以及所述限位凸起分别设置于所述第一限位槽相对的两端，所述引导块具有引导面，所述引导面用于与所述第二凸部抵接，以引导所述第二凸部滑动至所述第一限位槽。

7、在一些示例性的实施例中，所述转动件具有锁定位置及释锁位置，所述限位件的数量为多个，多个所述限位件分别对应所述锁定位置及所述释锁位置设置于所述门体；所述转动件位于所述锁定位置时，所述晶圆盒闩锁机构处于所述锁定状态，所述限位部与对应设置于所述锁定位置的限位件锁定配合，所述转动件位于所述释锁位置时，所述晶圆盒闩锁机构处于所述释锁状态，所述限位部与对应设置于所述释锁位置的限位件锁定配合。

8、在一些示例性的实施例中，所述盒体具有用于放置晶圆的容置空间以及与所述容置空间相连通的开口，所述门体可拆卸的设置于所述盒体的所述开口，所述晶圆盒闩锁机构还包括顶撑件，所述闩锁件远离所述连接件的一端设置有倾斜抵接面，所述闩锁件滑动伸出所述门体时，所述倾斜抵接面与所述顶撑件抵接，以使所述闩锁件远离所述连接件的一端朝背离所述开口的方向弯折。

9、在一些示例性的实施例中，所述门体上设置有滑槽，所述闩锁件与所述滑槽的槽壁抵接；所述门体上设置有限位柱，所述闩锁件上设置有第二限位槽，所述限位柱滑动设置于第二限位槽。

10、在一些示例性的实施例中，所述闩锁件沿预设直线滑动设置于所述门体，所述预设直线与所述转动件的转动轴线及所述连接件的第二端的转动轴线均具有交点。

11、第二方面，本申请实施例提供了一种晶圆盒，包括盒体、门体及晶圆盒闩锁机构，所述晶圆盒闩锁机构设置于所述门体。

12、有益效果：本实施例中的转动件通过连接件与闩锁件连接，连接件与转动件及闩锁件均铰接，而转动摩擦相比于滑动摩擦阻力更小，所产生的粉尘更少，从而尽可能的避免晶圆受到污染。

技术特征：

1.一种晶圆盒闩锁机构，设置于门体内用以将所述门体锁固于盒体，其特征在于，所述晶圆盒闩锁机构包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆盒闩锁机构，其特征在于，所述转动件上设置有限位部，所述晶圆盒闩锁机构还包括限位件，所述限位件设置于所述门体，所述限位部与所述限位件锁定配合，以限制所述转动件转动。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒闩锁机构，其特征在于，所述限位部包括沿所述转动件的径向凸设于所述转动件的第一凸部，所述限位件包括围设于所述转动件的弹性臂，所述弹性臂上设置有与所述第一凸部相适配的凹部。

4.根据权利要求3所述的晶圆盒闩锁机构，其特征在于，所述限位部还包括设置于所述转动件上的第一限位槽，所述限位件包括凸设于所述门体的第二凸部，所述限位件及所述限位槽均沿所述转动件的转动轴线方向延伸，所述第二凸部能够与所述第一限位槽卡接，在限制所述转动件转动的同时，将所述转动件沿所述转动件的转动轴线方向抵紧于所述门体。

5.根据权利要求4所述的晶圆盒闩锁机构，其特征在于，所述晶圆盒闩锁机构还包括设置于所述转动件上的引导块以及限位凸起，所述引导块以及所述限位凸起分别设置于所述第一限位槽相对的两端，所述引导块具有引导面，所述引导面用于与所述第二凸部抵接，以引导所述第二凸部滑动至所述第一限位槽。

6.根据权利要求2所述的晶圆盒闩锁机构，其特征在于，所述转动件具有锁定位置及释锁位置，所述限位件的数量为多个，多个所述限位件分别对应所述锁定位置及所述释锁位置设置于所述门体；

7.根据权利要求1所述的晶圆盒闩锁机构，其特征在于，所述盒体具有用于放置晶圆的容置空间以及与所述容置空间相连通的开口，所述门体可拆卸的设置于所述盒体的所述开口，所述晶圆盒闩锁机构还包括顶撑件，所述闩锁件远离所述连接件的一端设置有倾斜抵接面，所述闩锁件滑动伸出所述门体时，所述倾斜抵接面与所述顶撑件抵接，以使所述闩锁件远离所述连接件的一端朝背离所述开口的方向弯折。

8.根据权利要求1所述的晶圆盒闩锁机构，其特征在于，所述门体上设置有滑槽，所述闩锁件与所述滑槽的槽壁抵接；所述门体上设置有限位柱，所述闩锁件上设置有第二限位槽，所述限位柱滑动设置于第二限位槽。

9.根据权利要求1所述的晶圆盒闩锁机构，其特征在于，所述闩锁件沿预设直线滑动设置于所述门体，所述预设直线与所述转动件的转动轴线及所述连接件的第二端的转动轴线均具有交点。

10.一种晶圆盒，其特征在于，包括：

技术总结
本申请公开了一种晶圆盒闩锁机构及晶圆盒，涉及晶圆盒技术领域，晶圆盒闩锁机构设置于门体内用以将门体锁固于盒体，晶圆盒闩锁机构包括转动件、连接件及闩锁件，转动件铰接于门体；连接件的第一端铰接于转动件，转动件的铰接处与连接件的第一端的铰接处间隔设置；闩锁件滑动设置于门体，连接件的第二端铰接于闩锁件，连接件的第二端的铰接处与转动件的铰接处及连接件的第一端的铰接处均间隔设置。本实施例中的转动件通过连接件与闩锁件连接，连接件与转动件及闩锁件均铰接，而转动摩擦相比于滑动摩擦所产生的粉尘更少，从而尽可能的避免造成晶圆受到污染。

技术研发人员：禹在昌,张亮
受保护的技术使用者：北京鑫跃微半导体技术有限公司
技术研发日：20230504
技术公布日：2024/1/13