一种插片机装片位吹气装置的制作方法

本技术涉及硅片生产设备，尤其涉及一种插片机装片位吹气装置。

背景技术：

1、插片机是硅片清洗加工过程中将硅片插入花篮的设备，在插片过程中，经过清洗的硅片经由传送带输送时，由于水渍的残留导致粘片和粘传送带，导致插片时无法对准花篮的齿槽，导致卡片、破片，为硅片生产带来不必要的损失。

2、现有技术中的吹气装置大都仅用于清洗后的分片，因此，需要设计一种插片机装片位吹气装置以解决上述问题。

技术实现思路

1、针对上述现有技术的缺点，本实用新型的目的是提供一种插片机装片位吹气装置，以解决现有技术中的一个或多个问题。

2、为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：

3、一种插片机装片位吹气装置，所述插片机装片位吹气装置包括输送机构、设置在所述输送机构侧面的升降机构，所述输送机构包括平台、设置在所述平台远端的第一传送组、与所述第一传送组前端部分连接的第二传送组，所述平台远端位于第二传送组处设置吹风口，所述吹风口与气泵连接，所述平台远端位于第一传送组处设置传感器，所述第一传送组和第二传送组用于输送硅片，所述传感器用于感应硅片位置，所述升降机构靠近输送机构一侧设置支撑板，所述第二传送组一部分伸入所述支撑板，所述升降机构驱动支撑板升降花篮，所述第二传送组将硅片逐层插入花篮时所述吹风口启动对硅片吹风。

4、进一步的，所述升降机构包括底座、设置在所述底座远端的第二电机和第二导轨、滑动设置在所述第二导轨上的第二滑块，所述第二电机用于驱动第二滑块沿第二导轨升降，所述第二滑块后端两侧设置三角板，所述三角板远端设置支撑板。

5、进一步的，所述支撑板开设供所述第二传送组伸入的凹槽。

6、进一步的，所述第一传送组包括设置在所述平台远端的第一固定块、旋转穿过所述第一固定块设置的第一转轴，所述第一转轴两侧分别设置两个第一带轮，最外侧的两个所述第一带轮通过第一皮带传动。

7、进一步的，所述第二传送组包括设置在所述平台远端的第二固定块、旋转设置在所述第二固定块内的第二转轴，所述第二转轴两侧分别设置第二带轮，所述第二带轮与第一转轴内侧的第一带轮通过第二皮带传动。

8、进一步的，所述平台远端位于第二传送组处设置t型托架。

9、进一步的，所述平台两侧位于第一传送组处设置护板，所述护板近端通过支架与地面连接。

10、进一步的，所述花篮包括两块固定板以及设置在所述固定板之间的若干齿杆，所述齿杆与固定板围成放置硅片的空间，所述固定板表面设置至少三个吊耳。

11、进一步的，所述支撑板开设供所述吊耳穿过的通孔。

12、进一步的，所述插片机装片位吹气装置还包括控制器，所述控制器分别与传感器、气泵连接。

13、与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果如下：

14、(一)本实用新型的插片机装片位吹气装置，通过在平台远端位于第二传送组处设置吹风口，在平台远端位于第一传送组处设置传感器，硅片经过传感器并被传感器检测到，传感器向控制器发送信号，控制器接收信号后通过预先设置的延时控制气泵开启，吹风口在硅片前端进入花篮的时候开始吹气，直至硅片完全进入花篮后控制气泵关闭，吹风口停止吹气，避免了硅片出现水渍残留以及粘传送带的情况，保证硅片顺利插入花篮中，提高了生产效率和产品质量。

15、(二)进一步的，所述平台两侧位于第一传送组处设置护板，所述护板近端通过支架与地面连接，所述护板之间的间距略大于硅片的宽度，用于硅片输送时的限位，保证硅片能够正常插入花篮中。

技术特征：

1.一种插片机装片位吹气装置，其特征在于：所述插片机装片位吹气装置包括输送机构、设置在所述输送机构侧面的升降机构，所述输送机构包括平台、设置在所述平台远端的第一传送组、与所述第一传送组前端部分连接的第二传送组，所述平台远端位于第二传送组处设置吹风口，所述吹风口与气泵连接，所述平台远端位于第一传送组处设置传感器，所述第一传送组和第二传送组用于输送硅片，所述传感器用于感应硅片位置，所述升降机构靠近输送机构一侧设置支撑板，所述第二传送组一部分伸入所述支撑板，所述升降机构驱动支撑板升降花篮，所述第二传送组将硅片逐层插入花篮时所述吹风口启动对硅片吹风。

2.如权利要求1所述的一种插片机装片位吹气装置，其特征在于：所述升降机构包括底座、设置在所述底座远端的第二电机和第二导轨、滑动设置在所述第二导轨上的第二滑块，所述第二电机用于驱动第二滑块沿第二导轨升降，所述第二滑块后端两侧设置三角板，所述三角板远端设置支撑板。

3.如权利要求2所述的一种插片机装片位吹气装置，其特征在于：所述支撑板开设供所述第二传送组伸入的凹槽。

4.如权利要求1所述的一种插片机装片位吹气装置，其特征在于：所述第一传送组包括设置在所述平台远端的第一固定块、旋转穿过所述第一固定块设置的第一转轴，所述第一转轴两侧分别设置两个第一带轮，最外侧的两个所述第一带轮通过第一皮带传动。

5.如权利要求4所述的一种插片机装片位吹气装置，其特征在于：所述第二传送组包括设置在所述平台远端的第二固定块、旋转设置在所述第二固定块内的第二转轴，所述第二转轴两侧分别设置第二带轮，所述第二带轮与第一转轴内侧的第一带轮通过第二皮带传动。

6.如权利要求5所述的一种插片机装片位吹气装置，其特征在于：所述平台远端位于第二传送组处设置t型托架。

7.如权利要求1所述的一种插片机装片位吹气装置，其特征在于：所述平台两侧位于第一传送组处设置护板，所述护板近端通过支架与地面连接。

8.如权利要求1所述的一种插片机装片位吹气装置，其特征在于：所述花篮包括两块固定板以及设置在所述固定板之间的若干齿杆，所述齿杆与固定板围成放置硅片的空间，所述固定板表面设置至少三个吊耳。

9.如权利要求8所述的一种插片机装片位吹气装置，其特征在于：所述支撑板开设供所述吊耳穿过的通孔。

10.如权利要求1所述的一种插片机装片位吹气装置，其特征在于：所述插片机装片位吹气装置还包括控制器，所述控制器分别与传感器、气泵连接。

技术总结
本技术涉及一种插片机装片位吹气装置，所述插片机装片位吹气装置包括输送机构、设置在所述输送机构侧面的升降机构，所述输送机构包括平台、设置在所述平台远端的第一传送组、与所述第一传送组前端部分连接的第二传送组，所述平台远端位于第二传送组处设置吹风口，所述吹风口与气泵连接，所述平台远端位于第一传送组处设置传感器，所述第一传送组和第二传送组用于输送硅片，所述传感器用于感应硅片位置，所述升降机构靠近输送机构一侧设置支撑板，所述第二传送组一部分伸入所述支撑板，所述升降机构驱动支撑板升降花篮，所述第二传送组将硅片逐层插入花篮时所述吹风口启动对硅片吹风，保证硅片顺利插入花篮中，提高了生产效率和产品质量。

技术研发人员：陈川南,冯培良
受保护的技术使用者：无锡荣能半导体材料有限公司
技术研发日：20230524
技术公布日：2024/1/15