一种部件化学清洗支撑治具的制作方法

本技术涉及半导体设备部件清洗领域，尤其涉及一种部件化学清洗支撑治具。

背景技术：

1、半导体设备中有一种预清洗机台，机台中的备件石英罩，在清洗过程中需要使用化学清洗工艺，因石英部件在化学清洗后有一定的腐蚀性，为了控制部件的腐蚀损耗，将化学溶剂注入石英罩内进行浸泡清洗，就可以减少部件腐蚀，也可以降低化学品使用量，但需要一种辅助用的化学清洗用支撑治具，用于固定石英罩，从而便于化学清洗作业。

技术实现思路

1、本实用新型为解决上述问题，提供了一种辅助用的化学清洗支撑治具，将石英罩固定在治具上面，便于化学清洗作业，也可以避免碰伤部件，避免金属污染。

2、本实用新型所采取的技术方案：

3、一种部件化学清洗支撑治具，包括承载部件主体、固定螺母和调整高度螺栓，承载部件主体为一端封口的圆环体，承载部件主体的上部对称开设有产品取放口，承载部件主体的外壁均布设置有四个固定螺母，调整高度螺栓螺纹连接在固定螺母上，调整高度螺栓的螺帽与固定螺母间套接有调整高度螺母。

4、所述的固定螺母通过螺钉连接在承载部件主体上。

5、四个所述的调整高度螺栓的长度相同。

6、所述的产品取放口为方形凹槽。

7、所述的承载部件主体采用特氟龙材质制备。

8、本实用新型的有益效果：本实用新型可以辅助用于化学清洗支撑治具，将石英罩固定在治具上面，将化学溶液注入部件内部，可以减少部件腐蚀，也可以降低化学品使用量，此治具使用特氟龙材质，可以避免碰伤部件，也可以避免金属污染。

技术特征：

1.一种部件化学清洗支撑治具，其特征在于，包括承载部件主体(1)、固定螺母(2)和调整高度螺栓(3)，承载部件主体(1)为一端封口的圆环体，承载部件主体(1)的上部对称开设有产品取放口(6)，承载部件主体(1)的外壁均布设置有四个固定螺母(2)，调整高度螺栓(3)螺纹连接在固定螺母(2)上，调整高度螺栓(3)的螺帽与固定螺母(2)间套接有调整高度螺母(4)。

2.根据权利要求1所述的部件化学清洗支撑治具，其特征在于，所述的固定螺母(2)通过螺钉(5)连接在承载部件主体(1)上。

3.根据权利要求1所述的部件化学清洗支撑治具，其特征在于，四个所述的调整高度螺栓(3)的长度相同。

4.根据权利要求1所述的部件化学清洗支撑治具，其特征在于，所述的产品取放口(6)为方形凹槽。

技术总结
一种部件化学清洗支撑治具，包括承载部件主体、固定螺母和调整高度螺栓，承载部件主体为一端封口的圆环体，承载部件主体的上部对称开设有产品取放口，承载部件主体的外壁均布设置有四个固定螺母，调整高度螺栓螺纹连接在固定螺母上，调整高度螺栓的螺帽与固定螺母间套接有调整高度螺母。本技术可以辅助用于化学清洗支撑治具，将石英罩固定在治具上面，将化学溶液注入部件内部，可以减少部件腐蚀，也可以降低化学品使用量，此治具使用特氟龙材质，可以避免碰伤部件，也可以避免金属污染。

技术研发人员：穆帅帅,郭立伟
受保护的技术使用者：富乐德科技发展（天津）有限公司
技术研发日：20230526
技术公布日：2024/1/15