一种晶圆片贴膜装置的制作方法

本技术属于晶圆片贴膜设备，具体是涉及一种晶圆片贴膜装置。

背景技术：

1、硅晶圆片(晶圆)上所贴的膜为晶圆切割保护膜，主要用做高温环境工作表面处理遮蔽保护，电镀，电泳、超高温烤漆、粉末喷涂及晶片元件端电极使用等。

2、现有技术中，中国专利申请号为：cn202121292433.0公开了一种兼容多种尺寸的晶圆贴膜装置，其包括顶部盒体、底部安装块和安装托盘，顶部盒体的前方固定连接有把手，顶部盒体的上表面设置有警示灯，顶部盒体的一侧固定连接有挡片，顶部盒体的下表面开设有滑动槽，滑动槽的内侧壁固定连接有第一液压杆。该兼容多种尺寸的晶圆贴膜装置，通过组合块的设置，使该兼容多种尺寸的晶圆贴膜装置具备了便于更换模具的效果，通过底部安装块、安装托盘、组合块、转杆、组合卡块和组合弹簧的配合设置，在使用的过程中可以快速拆装安装托盘，从而起到便于更换不同大小的模具的作用，达到了适配不同尺寸的晶圆的目的。

3、上述技术方案中，在对膜切割时易产生毛边，同时膜表面易附着静电，因此我们需要提供一种晶圆片贴膜装置。

技术实现思路

1、本实用新型主要是解决上述现有技术所存在的技术问题，提供一种晶圆片贴膜装置。

2、本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种晶圆片贴膜装置，包括出料框、及所述出料框一侧固定安装的支撑架，所述支撑架的内部安装有摆放盘，所述出料框的正面铰接有翻盖，所述支撑架的顶部固定安装有输料件，所述出料框的两侧均设置有除静电组件，所述翻盖的顶部安装有第一电机，所述第一电机的输出端贯穿所述翻盖的底部并安装有旋转柱，所述旋转柱的内部固定安装有伸缩杆，所述伸缩杆的一端安装有加热切割件。

3、作为优选，所述加热切割件包括活动套接在所述伸缩杆表面的滑块，所述滑块的底部安装有加热器，且所述加热器的底部设置有导热切割块。

4、作为优选，所述摆放盘的顶部开设有两个环形槽，且所述环形槽的内部与所述导热切割块配合使用。

5、作为优选，所述除静电组件包括设置在所述出料框一侧的转动框，所述转动框的内部安装有除静电风扇。

6、作为优选，还包括转动座，所述转动座的内部与所述除静电风扇的表面转动安装，且所述转动座的一侧固定安装在所述出料框的表面。

7、作为优选，所述输料件包括支撑板，所述支撑板的内部内嵌有两个气缸，两个所述气缸的下端固定安装有升降框，所述升降框内壁的两侧之间转动安装有输料辊，所述输料辊的一侧安装有第二电机。

8、作为优选，所述翻盖底部的两侧均安装有第一铰接座，两个所述第一铰接座的底部铰接有电动推杆，且所述电动推杆的底部铰接有第二铰接座，所述第二铰接座底部固定安装在所述支撑架表面。

9、本实用新型具有的有益效果：

10、1、本实用新型中，气缸带动底部输料辊下移，并启动第二电机驱动输料辊，实现输送膜移至摆放盘顶部，转动座的内部与除静电风扇的表面转动安装，可转动除静电风扇来调节风向角度，启动除静电风扇来对摆放盘顶部的膜实现减少静电的目的。

11、2、本实用新型利用加热器对底部导热切割块加热，同时调节滑块在伸缩杆上位置，以便适配摆放盘顶部不同的环形槽，导热切割块对膜切割融化，减少毛刺。

技术特征：

1.一种晶圆片贴膜装置，包括出料框(1)、及所述出料框(1)一侧固定安装的支撑架(2)，其特征在于，所述支撑架(2)的内部安装有摆放盘(3)，所述出料框(1)的正面铰接有翻盖(4)，所述支撑架(2)的顶部固定安装有输料件(5)，所述出料框(1)的两侧均设置有除静电组件(6)，所述翻盖(4)的顶部安装有第一电机(7)，所述第一电机(7)的输出端贯穿所述翻盖(4)的底部并安装有旋转柱(8)，所述旋转柱(8)的内部固定安装有伸缩杆(9)，所述伸缩杆(9)的一端安装有加热切割件(10)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片贴膜装置，其特征在于，所述加热切割件(10)包括活动套接在所述伸缩杆(9)表面的滑块(101)，所述滑块(101)的底部安装有加热器(102)，且所述加热器(102)的底部设置有导热切割块(103)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆片贴膜装置，其特征在于，所述摆放盘(3)的顶部开设有两个环形槽(11)，且所述环形槽(11)的内部与所述导热切割块(103)配合使用。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆片贴膜装置，其特征在于，所述除静电组件(6)包括设置在所述出料框(1)一侧的转动框(61)，所述转动框(61)的内部安装有除静电风扇(62)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆片贴膜装置，其特征在于，还包括转动座(12)，所述转动座(12)的内部与所述除静电风扇(62)的表面转动安装，且所述转动座(12)的一侧固定安装在所述出料框(1)的表面。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆片贴膜装置，其特征在于，所述输料件(5)包括支撑板(51)，所述支撑板(51)的内部内嵌有两个气缸(52)，两个所述气缸(52)的下端固定安装有升降框(53)，所述升降框(53)内壁的两侧之间转动安装有输料辊(54)，所述输料辊(54)的一侧安装有第二电机(55)。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆片贴膜装置，其特征在于，所述翻盖(4)底部的两侧均安装有第一铰接座(13)，两个所述第一铰接座(13)的底部铰接有电动推杆(14)，且所述电动推杆(14)的底部铰接有第二铰接座(15)，所述第二铰接座(15)底部固定安装在所述支撑架(2)表面。

技术总结
一种晶圆片贴膜装置，属于晶圆片贴膜设备技术领域。本技术包括出料框、及所述出料框一侧固定安装的支撑架，所述支撑架的内部安装有摆放盘，所述出料框的正面铰接有翻盖，所述支撑架的顶部固定安装有输料件，所述出料框的两侧均设置有除静电组件，所述翻盖的顶部安装有第一电机，所述第一电机的输出端贯穿所述翻盖的底部并安装有旋转柱，所述旋转柱的内部固定安装有伸缩杆，所述伸缩杆的一端安装有加热切割件。本技术利用加热器对底部导热切割块加热，同时调节滑块在伸缩杆上位置，以便适配摆放盘顶部不同的环形槽，导热切割块对膜切割融化，减少毛刺。

技术研发人员：张青云,丁海林
受保护的技术使用者：浙江华越芯装电子股份有限公司
技术研发日：20230530
技术公布日：2024/1/14