刻蚀槽传送滚轮及刻蚀装置的制作方法

本技术涉及太阳能电池，尤其涉及一种刻蚀槽传送滚轮及刻蚀装置。

背景技术：

1、刻蚀，又称背面抛光，是晶体硅太阳能电池生产的关键工序，刻蚀过程中，硅片在螺纹滚轮的传送下漂浮在刻蚀槽的刻蚀液表面，以对硅片的背面及周边进行刻蚀。相对于富氢氟酸刻蚀工艺，富硝酸刻蚀工艺的腐蚀坑平滑，利于表面钝化，有0.04％以上的电性能收益。然而，在富硝酸刻蚀工艺的刻蚀过程中，会产生较多气泡，气泡会引起腐蚀不均，导致在硅片的前进端容易产生黑边，进而影响电池外观及背膜均匀性。

2、现有技术中，通常是往刻蚀槽内添加消泡剂来消除气泡，这种方式虽然能够一定程度减少黑边的产生，但消泡剂中所含的杂质却会造成其他不良，影响电池性能。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于针对已有的技术现状，提供一种刻蚀槽传送滚轮及刻蚀装置，本实用新型的滚轮应用于刻蚀装置中，能够有效消除刻蚀过程中产生的气泡，进而有效避免气泡所引发的腐蚀不均的问题，有效减少富硝酸刻蚀工艺过程中黑边的产生，降低外观不良率，利于高效刻蚀工艺的推广。

2、为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

3、首先，本实用新型提供一种刻蚀槽传送滚轮，包括滚轮主体，所述滚轮主体包括主轴及螺旋绕设于所述主轴四周的螺旋叶片，相邻所述的螺旋叶片之间设有用于打散气泡的消泡板，所述消泡板的长度方向沿所述主轴的平行方向设置，且所述消泡板的外侧端与所述主轴外壁之间的相对高度距离小于所述螺旋叶片的峰顶与所述主轴外壁之间的相对高度距离。

4、在一些优选的实施方式中，所述消泡板的内侧端与所述主轴的外壁相连接，且所述消泡板穿设有多个过水孔道。

5、在一些优选的实施方式中，所述消泡板的内侧端与所述主轴的外壁之间设有间隙，所述消泡板长度方向的两端分别与所述螺旋叶片相连接，所述消泡板的内侧端、所述螺旋叶片与所述主轴的外壁之间共同围成过水间隙。

6、在一些优选的实施方式中，同一组相邻所述螺旋叶片之间，消泡板设有多个，各所述消泡板均匀分布于所述主轴四周。

7、在一些优选的实施方式中，同一组相邻所述螺旋叶片之间，相邻所述消泡板之间的间距为0.7cm～2.5cm。

8、在一些优选的实施方式中，所述螺旋叶片的峰顶与所述主轴外壁之间的相对高度距离≥3cm，所述螺旋叶片的峰顶与所述消泡板的外侧端之间的相对高度距离为0.5cm～1.5cm。

9、在一些优选的实施方式中，所述消泡板的外侧端与内侧端之间的相对高度距离为0.1cm～0.5cm，所述消泡板宽度方向的两端之间的相对宽度距离为0.1cm～0.5cm。

10、在一些优选的实施方式中，所述螺旋叶片的峰顶与所述消泡板的外侧端之间的相对高度距离为0.7cm，所所述消泡板的外侧端与内侧端之间的相对高度距离为0.3cm，所述消泡板宽度方向两端之间的相对宽度距离为0.4cm，同一组相邻所述螺旋叶片之间，相邻所述消泡板之间的间距为1.2cm。

11、在一些优选的实施方式中，所述消泡板呈长条状结构，且所述消泡板在垂直于所述消泡板长度方向的截面呈矩形或正方形结构。

12、其次，本实用新型提供一种刻蚀装置，包括刻蚀槽及上述的刻蚀槽传送滚轮，所述滚轮设于所述刻蚀槽内。

13、本实用新型的有益效果在于：

14、本实用新型中，在相邻的螺旋叶片之间设置消泡板，在刻蚀过程中，滚轮的主轴在动力装置的带动下转动，带动螺旋叶片及消泡板随之旋转，硅片在滚轮的传送下漂浮在刻蚀槽的刻蚀液表面，由于消泡板的外侧端与主轴外壁之间的相对高度距离小于螺旋叶片的峰顶与主轴外壁之间的相对高度距离，一方面，使得消泡板的设置不会与硅片相接触，避免消泡板与硅片相抵而干涉到硅片的传送，另一方面，使得旋转的消泡板可作用于硅片与滚轮的交界处，从而打散硅片与滚轮的交界处的气泡，消泡板的长度方向沿主轴的平行方向设置，可确保消泡板能够作用于主轴的轴向方向上各个位置的气泡，进而有效避免气泡所引发的腐蚀不均的问题，有效减少富硝酸刻蚀工艺过程中黑边的产生，降低外观不良率，利于高效刻蚀工艺的推广，所生产的电池背膜均匀性更高，更利于钝化，有益于电池光电特性测试和电池老化性测试。

技术特征：

1.一种刻蚀槽传送滚轮，包括滚轮主体，其特征在于，所述滚轮主体包括主轴及螺旋绕设于所述主轴四周的螺旋叶片，相邻所述的螺旋叶片之间设有用于打散气泡的消泡板，所述消泡板的长度方向沿所述主轴的平行方向设置，且所述消泡板的外侧端与所述主轴外壁之间的相对高度距离小于所述螺旋叶片的峰顶与所述主轴外壁之间的相对高度距离。

2.根据权利要求1所述的刻蚀槽传送滚轮，其特征在于，所述消泡板的内侧端与所述主轴的外壁相连接，且所述消泡板穿设有多个过水孔道。

3.根据权利要求1所述的刻蚀槽传送滚轮，其特征在于，所述消泡板的内侧端与所述主轴的外壁之间设有间隙，所述消泡板长度方向的两端分别与所述螺旋叶片相连接，所述消泡板的内侧端、所述螺旋叶片与所述主轴的外壁之间共同围成过水间隙。

4.根据权利要求1所述的刻蚀槽传送滚轮，其特征在于，同一组相邻所述螺旋叶片之间，消泡板设有多个，各所述消泡板均匀分布于所述主轴四周。

5.根据权利要求4所述的刻蚀槽传送滚轮，其特征在于，同一组相邻所述螺旋叶片之间，相邻所述消泡板之间的间距为0.7cm～2.5cm。

6.根据权利要求1所述的刻蚀槽传送滚轮，其特征在于，所述螺旋叶片的峰顶与所述主轴外壁之间的相对高度距离≥3cm，所述螺旋叶片的峰顶与所述消泡板的外侧端之间的相对高度距离为0.5cm～1.5cm。

7.根据权利要求6所述的刻蚀槽传送滚轮，其特征在于，所述消泡板的外侧端与内侧端之间的相对高度距离为0.1cm～0.5cm，所述消泡板宽度方向的两端之间的相对宽度距离为0.1cm～0.5cm。

8.根据权利要求6所述的刻蚀槽传送滚轮，其特征在于，所述螺旋叶片的峰顶与所述消泡板的外侧端之间的相对高度距离为0.7cm，所所述消泡板的外侧端与内侧端之间的相对高度距离为0.3cm，所述消泡板宽度方向两端之间的相对宽度距离为0.4cm，同一组相邻所述螺旋叶片之间，相邻所述消泡板之间的间距为1.2cm。

9.根据权利要求1所述的刻蚀槽传送滚轮，其特征在于，所述消泡板呈长条状结构，且所述消泡板在垂直于所述消泡板长度方向的截面呈矩形或正方形结构。

10.一种刻蚀装置，其特征在于，包括刻蚀槽及根据权利要求1至9任意一项所述的刻蚀槽传送滚轮，所述滚轮设于所述刻蚀槽内。

技术总结
本技术涉及太阳能电池技术领域，具体公开一种刻蚀槽传送滚轮及刻蚀装置，包括滚轮主体，所述滚轮主体包括主轴及螺旋绕设于所述主轴四周的螺旋叶片，相邻所述的螺旋叶片之间设有用于打散气泡的消泡板，所述消泡板的长度方向沿所述主轴的平行方向设置，且所述消泡板的外侧端与所述主轴外壁之间的相对高度距离小于所述螺旋叶片的峰顶与所述主轴外壁之间的相对高度距离。本技术的滚轮能够有效消除刻蚀过程中产生的气泡，进而有效避免气泡所引发的腐蚀不均的问题，有效减少富硝酸刻蚀工艺过程中黑边的产生，降低外观不良率。

技术研发人员：周建科,马泽元,杨二存,时宝,陈刚
受保护的技术使用者：天津爱旭太阳能科技有限公司
技术研发日：20230605
技术公布日：2024/2/1