一种多通道晶圆容器结构的制作方法

本技术涉及晶圆容器，具体为一种多通道晶圆容器结构。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，在晶圆搬运时，需要将晶圆放置在特有的容器内部放置，以防止其表面发生刮擦，使其便于输送。

2、专利文件cn115440634a公开了一种“晶圆容器包括容器本体、支撑架、过滤单元、排气单元以及通气通道。支撑架平行排列于容器本体内。支撑架设置以放置晶圆。过滤单元设置于支撑架中的第一支撑架上并具有滤芯。排气单元设置于支撑架中的第二支撑架上并具有气体流通装置。通气通道连通过滤单元之滤芯以及排气单元。排气单元的气体流通装置设置于通气通道，以将气体从对应的排气通道注入或是将气体从对应的通气通道排出。如此，晶圆容器内部的气体能够流动，避免晶圆受内部气体污染而影响到良率。”。

3、上述装置在使用时，通过排气单元的气体流通装置设置于通气通道，以将气体从对应的排气通道注入或是将气体从对应的通气通道排出，如此，晶圆容器内部的气体能够流动，避免晶圆受内部气体污染而影响到良率，此种装置虽可将装置内部的气体排出，但内部的装置内部经常会掺杂一定的灰尘，导致装置内部储存的晶圆产生损坏，使得晶圆的防护效果较差，需要工作人员对其改进。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种多通道晶圆容器结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案，一种多通道晶圆容器结构，包括容器主体，所述容器主体内壁的一侧固定连接有吸尘器本体，所述吸尘器本体的输出端安装有吸尘管，所述吸尘管的前端固定连接有连接管道，所述连接管道表面的一侧固定连接有多组吸收管道，所述容器主体内壁的一侧固定连接有隔断板，且隔断板内壁的一侧贯穿套接于吸收管道的表面。

3、吸尘器本体的输入端通过吸尘管产生吸力，通过吸收管道将晶圆放置区域的灰尘快速吸收。

4、优选的，所述吸尘器本体的输出端安装有排灰管，且排灰管表面的一侧贯穿插接于容器主体的背面，所述容器主体内壁的一侧固定连接有蓄电池盒。

5、通过排灰管将吸收的灰尘排出容器主体的外部。

6、优选的，所述容器主体顶部的一侧固定连接有防护盒，所述防护盒内壁的一侧固定连接有真空泵，所述防护盒顶部的中部固定连接有散热板。

7、优选的，所述真空泵的输入端安装有抽气管，且抽气管的底端贯穿插接于容器主体的顶部，所述真空泵的输出端安装有排气管，且排气管的前端贯穿插接于防护盒的背面。

8、真空泵的输入端通过抽气管将容器主体内部的气体抽出，真空泵的输出端通过排气管将容器主体内部的气体排出。

9、优选的，所述容器主体内壁的一侧固定连接有加厚套框，所述加厚套框内壁的一侧固定连接有多组回弹海绵，多组所述回弹海绵内壁的一侧均开设有插接孔。

10、通过插接孔将晶圆插入，使得回弹海绵对其保护。

11、优选的，所述容器主体表面的一侧通过铰链转动连接有密封盖，所述密封盖表面的一侧固定连接有把手，所述密封盖表面的另一侧固定连接有观测玻璃，所述密封盖表面的中部固定连接有标签板。

12、优选的，所述容器主体底部的一侧固定连接有防滑底板，所述容器主体一侧的中部固定连接有控制面板本体。

13、与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

14、1、本实用新型通过容器主体、吸尘器本体、吸尘管、连接管道、吸收管道、隔断板和排灰管的设置，吸尘器本体的输入端通过吸尘管产生吸力，在吸收管道与容器主体内部存储晶圆的位置隔断处的隔断板贯穿连接，继而通过吸收管道将晶圆放置区域的灰尘快速吸收，通过排灰管将吸收的灰尘排出容器主体的外部，从而达到了对晶圆存储位置周围灰尘快速清理的效果。

15、2、本实用新型通过防护盒、真空泵、抽气管和排气管的设置，通过密封盖将装置整体密封，真空泵的输入端通过抽气管将容器主体内部的气体抽出，真空泵的输出端通过排气管将容器主体内部的气体排出，从而达到了对容器主体内部形成真空的效果，使其便于对晶圆防护。

技术特征：

1.一种多通道晶圆容器结构，包括容器主体(1)，其特征在于：所述容器主体(1)内壁的一侧固定连接有吸尘器本体(2)，所述吸尘器本体(2)的输出端安装有吸尘管(3)，所述吸尘管(3)的前端固定连接有连接管道(4)，所述连接管道(4)表面的一侧固定连接有多组吸收管道(5)，所述容器主体(1)内壁的一侧固定连接有隔断板(6)，且隔断板(6)内壁的一侧贯穿套接于吸收管道(5)的表面。

2.根据权利要求1所述的一种多通道晶圆容器结构，其特征在于：所述吸尘器本体(2)的输出端安装有排灰管(7)，且排灰管(7)表面的一侧贯穿插接于容器主体(1)的背面，所述容器主体(1)内壁的一侧固定连接有蓄电池盒(8)。

3.根据权利要求1所述的一种多通道晶圆容器结构，其特征在于：所述容器主体(1)顶部的一侧固定连接有防护盒(9)，所述防护盒(9)内壁的一侧固定连接有真空泵(10)，所述防护盒(9)顶部的中部固定连接有散热板。

4.根据权利要求3所述的一种多通道晶圆容器结构，其特征在于：所述真空泵(10)的输入端安装有抽气管(11)，且抽气管(11)的底端贯穿插接于容器主体(1)的顶部，所述真空泵(10)的输出端安装有排气管(12)，且排气管(12)的前端贯穿插接于防护盒(9)的背面。

5.根据权利要求1所述的一种多通道晶圆容器结构，其特征在于：所述容器主体(1)内壁的一侧固定连接有加厚套框(13)，所述加厚套框(13)内壁的一侧固定连接有多组回弹海绵(14)，多组所述回弹海绵(14)内壁的一侧均开设有插接孔(15)。

6.根据权利要求1所述的一种多通道晶圆容器结构，其特征在于：所述容器主体(1)表面的一侧通过铰链转动连接有密封盖(16)，所述密封盖(16)表面的一侧固定连接有把手，所述密封盖(16)表面的另一侧固定连接有观测玻璃(17)，所述密封盖(16)表面的中部固定连接有标签板(18)。

7.根据权利要求1所述的一种多通道晶圆容器结构，其特征在于：所述容器主体(1)底部的一侧固定连接有防滑底板(19)，所述容器主体(1)一侧的中部固定连接有控制面板本体(20)。

技术总结
本技术公开了一种多通道晶圆容器结构，包括容器主体，所述容器主体内壁的一侧固定连接有吸尘器本体，所述吸尘器本体的输出端安装有吸尘管，所述吸尘管的前端固定连接有连接管道，所述连接管道表面的一侧固定连接有多组吸收管道，所述容器主体内壁的一侧固定连接有隔断板。本技术通过容器主体、吸尘器本体、吸尘管、连接管道、吸收管道、隔断板和排灰管的设置，吸尘器本体的输入端通过吸尘管产生吸力，在吸收管道与容器主体内部存储晶圆的位置隔断处的隔断板贯穿连接，继而通过吸收管道将晶圆放置区域的灰尘快速吸收，通过排灰管将吸收的灰尘排出容器主体的外部，从而达到了对晶圆存储位置周围灰尘快速清理的效果。

技术研发人员：王征
受保护的技术使用者：芯岛新材料（浙江）有限公司
技术研发日：20230607
技术公布日：2024/1/15