一种晶圆载具POD兼容不同平台的制作方法

本技术涉及晶圆载具pod兼容不同平台的安装机构领域，具体为一种晶圆载具pod兼容不同平台。

背景技术：

1、随着科技的进步，半导体电子产品已经应用到社会生活的诸多领域，而这些半导体电子产品都具有半导体芯片。可见，半导体芯片在当今生活中具有非常显著的重要性。

2、现有的晶圆载具pod有如下缺陷：

3、现有在晶圆载具pod兼容不同平台的系统中，原8英寸晶圆传送盒采用设备端口尺寸符合8英寸晶圆，而现有8英寸晶圆兼容不了6英寸晶圆传送盒使用，从而装置适用性差，进一步导致生产成本提高。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆载具pod兼容不同平台，解决了现有8英寸smi兼容不了6英寸pod使用，从而装置适用性差，进一步导致生产成本提高的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶圆载具pod兼容不同平台，包括装置本体，所述装置本体包括英寸底盖组合、英寸晶圆片、6英寸花篮载具，所述6英寸花篮载具安装在英寸底盖组合顶部，所述6英寸晶圆片固定在6英寸花篮载具内部；

5、优选的，所述英寸底盖组合呈方形结构，所述英寸底盖组合底部均设有定位pin点定位孔、方向pin点定位孔和防呆pin点定位孔，所述定位pin点定位孔、方向pin点定位孔和防呆pin点定位孔呈三角状分布，所述6英寸底盖组合底部中心处设有一组呈环状等距方式分布的钥匙pin点起始位置孔。

6、优选的，所述6英寸花篮载具前后两端均设有一组呈对称方式分布的安装侧框，所述安装侧框底部设有安装垫片，所述安装垫片呈方形结构。

7、优选的，所述6英寸花篮载具内侧设有若干组呈列状等距方式分布的固定片，所述固定片呈凸出状结构。

8、(三)有益效果

9、本实用新型提供了一种晶圆载具pod兼容不同平台。具备以下有益效果：

10、该种晶圆载具pod兼容不同平台利用8英寸smif机台设备端接口位置特点：三个pin点定位及开合钥匙起始位置pin位置，开发同一接口smif pod放置6英寸花篮载具，从而提高了晶圆载具pod的适用性，减少了生产成本的浪费。

技术特征：

1.一种晶圆载具pod兼容不同平台，其特征在于：包括装置本体(1)，所述装置本体(1)包括6英寸底盖组合(2)、6英寸晶圆片(3)、6英寸花篮载具(4)，所述6英寸花篮载具(4)安装在6英寸底盖组合(2)顶部，所述6英寸晶圆片(3)固定在6英寸花篮载具(4)内部；

2.根据权利要求1所述的一种晶圆载具pod兼容不同平台，其特征在于：所述6英寸花篮载具(4)前后两端均设有一组呈对称方式分布的安装侧框(9)，所述安装侧框(9)底部设有安装垫片(10)，所述安装垫片(10)呈方形结构。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆载具pod兼容不同平台，其特征在于：所述6英寸花篮载具(4)内侧设有若干组呈列状等距方式分布的固定片(11)，所述固定片(11)呈凸出状结构。

技术总结
本技术公开了一种晶圆载具POD兼容不同平台，包括装置本体，所述装置本体包括英寸底盖组合、英寸晶圆片、6英寸花篮载具，所述6英寸花篮载具安装在英寸底盖组合顶部，所述6英寸晶圆片固定在6英寸花篮载具内部；所述英寸底盖组合呈方形结构，所述英寸底盖组合底部均设有定位PIN点定位孔、方向PIN点定位孔和防呆PIN点定位孔，所述定位PIN点定位孔、方向PIN点定位孔和防呆PIN点定位孔呈三角状分布，所述6英寸底盖组合底部中心处设有一组呈环状等距方式分布的钥匙PIN点起始位置孔。该种装置可以十分便捷对8英寸SMI和6英寸POD同时进行使用，从而提高了设备的适用性，减少了生产成本。

技术研发人员：请求不公布姓名,任强
受保护的技术使用者：浙江赛瑾半导体科技有限公司
技术研发日：20230612
技术公布日：2024/3/11