一种用于FIB的样品台的制作方法

本技术涉及一种用于fib的样品台，属于半导体芯片制造及封装行业的失效分析领域。

背景技术：

1、随着半导体技术的不断发展与进步，对半导体芯片制造及封装领域的器件研发尺寸越来越小，对相应器件失效分析需求也越来越迫切。聚焦离子束(简称fib)是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸，再溅射到样品表面的显微切割仪器。根据fib系统的工作原理，操作fib时，样品需与入射电子束之间的角度呈52°，因此需要将样品台进行大角度倾斜，且保证样品在试验过程中不会滑移或掉落。同时，样品台倾转过程中也增加了样品与电镜极靴碰撞的危险。另外，对于表面不规则且厚度较大的样品，通常观察较困难，没有针对性的样品台。

技术实现思路

1、针对上述技术问题，本实用新型提供一种用于fib的样品台，该样品台不需要进行大角度倾斜即可观测样品，且样品台在移动或试验过程中不会轻易发生滑移或掉落。

2、为实现上述目的，本实用新型采取以下技术方案：

3、一种用于fib的样品台，包括：

4、样品台本体，所述样品台本体呈圆柱体状结构，所述样品台本体上设置有第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板与所述样品台本体固定连接，所述第二支撑板与所述样品台本体活动连接，所述第一支撑板和所述第二支撑板对称布置在所述样品台本体上。

5、所述的用于fib的样品台，优选地，所述样品台本体上设置有凹槽，所述凹槽内设置有弹性件，所述弹性件的第一端与所述第二支撑板固定连接，第二端固定在所述凹槽的一端。

6、所述的用于fib的样品台，优选地，所述弹性件为弹簧。

7、所述的用于fib的样品台，优选地，所述第一支撑板倾斜固定在所述样品台本体上，所述第一支撑板与所述样品台本体水平面之间的夹角为45～90°。

8、所述的用于fib的样品台，优选地，所述第二支撑板亦倾斜活动设置在所述样品台本体上，所述第二支撑板与所述样品台本体水平面之间的夹角为52°。

9、所述的用于fib的样品台，优选地，所述第一支撑板与所述第二支撑板之间的夹角为锐角。

10、所述的用于fib的样品台，优选地，还包括支撑柱，所述支撑柱设置在所述样品台本体的下端面上。

11、所述的用于fib的样品台，优选地，所述第一支撑板、第二支撑板和所述样品台本体均由非磁性导电金属板制成。

12、本实用新型由于采取以上技术方案，其具有以下优点：

13、本实用新型所述涉及的样品台不需要进行大角度倾斜即可观测样品，且样品台在移动或试验过程中不会轻易发生滑移或掉落。样品台在fib腔室内操作时减小与电镜极靴碰撞的危险性；对于表面不规则且厚度较大的样品，可轻松固定，方便观察。

技术特征：

1.一种用于fib的样品台，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的用于fib的样品台，其特征在于，所述样品台本体(5)上设置有凹槽，所述凹槽内设置有弹性件(3)，所述弹性件(3)的第一端与所述第二支撑板(2)固定连接，第二端固定在所述凹槽的一端。

3.根据权利要求2所述的用于fib的样品台，其特征在于，所述弹性件(3)为弹簧。

4.根据权利要求1所述的用于fib的样品台，其特征在于，所述第一支撑板(1)倾斜固定在所述样品台本体(5)上，所述第一支撑板(1)与所述样品台本体(5)水平面之间的夹角为45～90°。

5.根据权利要求4所述的用于fib的样品台，其特征在于，所述第二支撑板(2)亦倾斜活动设置在所述样品台本体(5)上，所述第二支撑板(2)与所述样品台本体(5)水平面之间的夹角为52°。

6.根据权利要求1所述的用于fib的样品台，其特征在于，所述第一支撑板(1)与所述第二支撑板(2)之间的夹角为锐角。

7.根据权利要求1所述的用于fib的样品台，其特征在于，还包括支撑柱(4)，所述支撑柱(4)设置在所述样品台本体(5)的下端面上。

8.根据权利要求1所述的用于fib的样品台，其特征在于，所述第一支撑板(1)、第二支撑板(2)和所述样品台本体(5)均由非磁性导电金属板制成。

技术总结
本技术涉及一种用于FIB的样品台，包括：样品台本体，所述样品台本体呈圆柱体状结构，所述样品台本体上设置有第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板与所述样品台本体固定连接，所述第二支撑板与所述样品台本体活动连接，所述第一支撑板和所述第二支撑板对称布置在所述样品台本体上。本技术所述涉及的样品台不需要进行大角度倾斜即可观测样品，且样品台在移动或试验过程中不会轻易发生滑移或掉落。样品台在FIB腔室内操作时减小与电镜极靴碰撞的危险性；对于表面不规则且厚度较大的样品，可轻松固定，方便观察。

技术研发人员：马晓婷,韩志飞
受保护的技术使用者：明士（北京）新材料开发有限公司
技术研发日：20230613
技术公布日：2024/2/1