清洗机摇篮摆动机构及晶圆片清洗机的制作方法

本技术涉及清洗系统，尤其涉及一种清洗机摇篮摆动机构及具有该摇篮摆动机构的晶圆片清洗机。

背景技术：

1、半导体清洗行业中，晶圆片装入花篮(cassette)后，会放入清洗机的清洗槽内进行清洗。以往的清洗机都是将晶圆片放入花篮内，花篮浸泡在清洗槽内进行超声波清洗，该种清洗方式的清洗效果并不理想。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了克服现有技术中的缺陷，提供一种能够大大提高晶圆片清洗效果的清洗机摇篮摆动机构及具有该摇篮摆动机构的晶圆片清洗机。

2、本实用新型是通过如下技术方案实现的：

3、一种清洗机摇篮摆动机构，包括清洗槽、设置于清洗槽内的摇篮组件以及设置于清洗槽外并能够驱动摇篮组件摇摆的驱动组件，所述摇篮组件包括工件篮及摇摆托架，所述摇摆托架包括一对支板及设置于两支板之间的托辊，所述支板顶端延伸至工件篮外，所述工件篮设置于托辊上，工件篮内具有若干定位块，所述驱动组件包括电机、偏心轴、齿轮组、球头连杆、摆动轴及摆动托架，所述电机通过齿轮组与偏心轴相连，所述偏心轴通过球头连杆与摆动轴相连，所述摆动轴转动连接于摆动托架底端，所述摆动托架顶端与其中一个摇摆托架相固定，电机能够驱动偏心轴旋转，偏心轴能够通过球头连杆来动摆动轴摆动，摆动轴能够带动摆动托架及摇摆托架摆动，从而实现工件篮的摆动。

4、为了便于定位及安装工件篮，所述托辊上分别开设有用于定位工件篮底端的插槽。

5、为了便于定位晶圆片，所述工件篮两侧分别具有若干定位块，相邻两定位块之间具有弧形定位槽，用于定位圆形工件。

6、本实用新型还提供一种晶圆片清洗机，所述晶圆片清洗机具有上述清洗机摇篮摆动机构。

7、本实用新型的有益效果是：该清洗机摇篮摆动机构及晶圆片清洗机通过摇篮组件及驱动组件相配合，能够使晶圆片在清洗槽内清洗时发生一定的摆动，可以使晶圆片更好地与溶液相互接触摩擦提高去污率，同时在超声波和兆声波配合清洗的作用下能提高声波对晶圆片去污的效率及一致性。

技术特征：

1.一种清洗机摇篮摆动机构，包括清洗槽、设置于清洗槽内的摇篮组件以及设置于清洗槽外并能够驱动摇篮组件摇摆的驱动组件，其特征在于：所述摇篮组件包括工件篮及摇摆托架，所述摇摆托架包括一对支板及设置于两支板之间的托辊，所述支板顶端延伸至工件篮外，所述工件篮设置于托辊上，工件篮内具有若干定位块，所述驱动组件包括电机、偏心轴、齿轮组、球头连杆、摆动轴及摆动托架，所述电机通过齿轮组与偏心轴相连，所述偏心轴通过球头连杆与摆动轴相连，所述摆动轴转动连接于摆动托架底端，所述摆动托架顶端与其中一个摇摆托架相固定，电机能够驱动偏心轴旋转，偏心轴能够通过球头连杆来动摆动轴摆动，摆动轴能够带动摆动托架及摇摆托架摆动，从而实现工件篮的摆动。

2.根据权利要求1所述的清洗机摇篮摆动机构，其特征在于：所述托辊上分别开设有用于定位工件篮底端的插槽。

3.根据权利要求1所述的清洗机摇篮摆动机构，其特征在于：所述工件篮两侧分别具有若干定位块，相邻两定位块之间具有弧形定位槽，用于定位圆形工件。

4.一种晶圆片清洗机，其特征在于：所述晶圆片清洗机具有如权利要求1-3任一项所述的清洗机摇篮摆动机构。

技术总结
本技术涉及一种清洗机摇篮摆动机构及晶圆片清洗机，包括清洗槽、设置于清洗槽内的摇篮组件以及设置于清洗槽外并能够驱动摇篮组件摇摆的驱动组件，摇篮组件包括工件篮及摇摆托架，驱动组件包括电机、偏心轴、球头连杆、摆动轴及摆动托架，电机通过齿轮组能够驱动偏心轴旋转，偏心轴能够通过球头连杆来动摆动轴摆动，摆动轴能够带动摆动托架及摇摆托架摆动，从而实现工件篮的摆动。该清洗机摇篮摆动机构及晶圆片清洗机通过摇篮组件及驱动组件相配合，能够使晶圆片在清洗槽内清洗时发生一定的摆动，可以使晶圆片更好地与溶液相互接触摩擦提高去污率，同时在超声波和兆声波配合清洗的作用下能提高声波对晶圆片去污的效率及一致性。

技术研发人员：朱春,林芳健
受保护的技术使用者：江苏西米半导体有限公司
技术研发日：20230613
技术公布日：2024/1/15