一种单面湿法处理装置的制作方法

本技术涉及器件加工，尤其是涉及一种单面湿法处理装置。

背景技术：

1、在一些晶圆器件开发中，会遇到对晶圆单面进行湿法处理，同时需要保护另一面的有效区内不接触药液的情况；例如，在微纳光栅阴极组件的加工过程中，需要对光栅基片的玻璃面分别进行酸处理或碱处理，以满足其与防光晕玻璃输入窗键合前所需表面状态要求，同时，根据微纳光栅基片结构面的特性，需要在表面处理过程中对结构面进行保护；如专利cn218241803u提供的一种单面湿法腐蚀的夹具，包括第一压环和第二压环用于初步固定待测的样片，第一密封圈和第二密封圈用于抑制腐蚀溶液进入到样片的不被腐蚀的一面，该夹具使用时需要将各部件依次组装，使用不方便，且单次只能对一个样片进行处理，效率低。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种单面湿法处理装置，以解决上述现有技术存在的问题，使用方便，且能够同时处理多个工件以提高处理效率。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

3、本实用新型提供一种单面湿法处理装置，包括支撑筒、支撑板及负压组件；所述支撑筒上端为开口端；所述支撑板固定设置于所述支撑筒内，且所述支撑板周向边缘与所述支撑筒内壁密封连接，所述支撑板上设置有多个沿厚度方向贯穿的支撑孔，各所述支撑孔上端均用于密封盖设有一个处理面朝上的工件；所述负压组件与各所述支撑孔下端均能够连通，并能够使各所述支撑孔内形成负压。

4、优选地，所述支撑筒的下端为封闭端，所述支撑板与所述封闭端之间为负压腔，各所述支撑孔均与所述负压腔连通，所述负压腔的侧壁上设置有抽气口，所述抽气口与所述负压组件连通。

5、优选地，所述负压组件设置为抽真空泵，与所述抽气口通过软管连接且连通。

6、优选地，所述负压腔内靠近所述抽气口设置有与所述抽气口相对的挡板，所述挡板上端与所述支撑板固定连接，且所述挡板与所述抽气口和所述负压腔内壁之间均具有间隙。

7、优选地，所述支撑板上端面在各所述支撑孔外均设置有一个环形密封槽，且各环形密封槽内均嵌入有一个环形密封件；各所述环形密封件均用于与对应所述工件的下端面的周向边缘抵接。

8、优选地，所述支撑孔的上端尺寸大于对应所述工件的下端面的有效区，且各所述环形密封件均用于与对应所述工件的下端面的非有效区周向抵接。

9、优选地，各所述环形密封件能够在所述工件的挤压下发生弹性变形以与所述支撑板上表面平齐。

10、优选地，各所述环形密封件设置为橡胶材质。

11、优选地，所述支撑筒和所述支撑板采用耐腐蚀材质。

12、本实用新型相对于现有技术取得了以下技术效果：

13、本实用新型提供的单面湿法处理装置，支撑筒内固定设置有支撑板，支撑板上设置有多个支撑孔，使用时，在各支撑孔上密封盖设一个处理面朝上的工件，然后通过负压组件使各支撑孔内形成负压以稳定吸附各工件使各工件位置固定并提升工件与支撑板接触的紧密性，避免漏液，然后从开口端倒入处理液至支撑板上对多个工件的处理面进行湿法处理，使用方便，同时对多个工件进行处理，提升处理效率；且支撑板与支撑筒密封连接，避免漏液。

技术特征：

1.一种单面湿法处理装置，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的单面湿法处理装置，其特征在于：所述支撑筒(110)的下端为封闭端(112)，所述支撑板(120)与所述封闭端(112)之间为负压腔(113)，各所述支撑孔(121)均与所述负压腔(113)连通，所述负压腔(113)的侧壁上设置有抽气口(114)，所述抽气口(114)与所述负压组件连通。

3.根据权利要求2所述的单面湿法处理装置，其特征在于：所述负压组件设置为抽真空泵，与所述抽气口(114)通过软管连接且连通。

4.根据权利要求2所述的单面湿法处理装置，其特征在于：所述负压腔(113)内靠近所述抽气口(114)设置有与所述抽气口(114)相对的挡板(115)，所述挡板(115)上端与所述支撑板(120)固定连接，且所述挡板(115)与所述抽气口(114)和所述负压腔(113)内壁之间均具有间隙。

5.根据权利要求1所述的单面湿法处理装置，其特征在于：所述支撑板(120)上端面在各所述支撑孔(121)外均设置有一个环形密封槽(122)，且各环形密封槽(122)内均嵌入有一个环形密封件(123)；各所述环形密封件(123)均用于与对应所述工件(200)的下端面的周向边缘抵接。

6.根据权利要求5所述的单面湿法处理装置，其特征在于：所述支撑孔(121)的上端尺寸大于对应所述工件(200)的下端面的有效区，且各所述环形密封件(123)均用于与对应所述工件(200)的下端面的非有效区周向抵接。

7.根据权利要求5所述的单面湿法处理装置，其特征在于：各所述环形密封件(123)能够在所述工件(200)的挤压下发生弹性变形以与所述支撑板(120)上表面平齐。

8.根据权利要求6所述的单面湿法处理装置，其特征在于：各所述环形密封件(123)设置为橡胶材质。

9.根据权利要求1所述的单面湿法处理装置，其特征在于：所述支撑筒(110)和所述支撑板(120)采用耐腐蚀材质。

技术总结
本技术公开了一种单面湿法处理装置，涉及器件加工技术领域，包括支撑筒、支撑板及负压组件；支撑筒上端为开口端；支撑板固定设置于支撑筒内，且支撑板周向边缘与支撑筒内壁密封连接，支撑板上设置有多个沿厚度方向贯穿的支撑孔，各支撑孔上端均用于密封盖设有一个处理面朝上的工件；负压组件与各支撑孔下端均能够连通，并能够使各支撑孔内形成负压。本技术提供的单面湿法处理装置，使用方便，且能够同时处理多个工件以提高处理效率。

技术研发人员：张一超,罗琦,王雍期
受保护的技术使用者：杭州邦齐州科技有限公司
技术研发日：20230620
技术公布日：2024/1/15