一种晶圆基板的清洗装置的制作方法

本技术涉及晶圆加工，尤其涉及一种晶圆基板的清洗装置。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。面板领域或者半导体领域的玻璃基板均需要通过药液浸泡、喷淋和清洗，以及涂胶、显影、刻蚀和剥膜等工艺过程，以实现在玻璃表面印刷芯片的操作，在此过程中需在玻璃的侧面进行焊接并形成焊盘，故因此需要对基板的侧面进行清洗。

2、经检索，现有授权公告号为cn217315013u的文件，公开了一种晶圆基板侧面清洗装置，包括晶圆清洗设备和晶圆烘干设备，还包括底座板、基板边缘夹持装置和基板翻转装置，解决了对晶圆基板进行固定和清洗的过程中出现清洗死角和提高晶圆基板清洗效率的问题。

3、但是该方案在实施过程中，仍有不足之处，在边缘夹持装置的中间缺少支撑，而晶圆基板需要水平放置在边缘夹持装置的中间，因此必须人工保持基板水平，操作不够方便。

4、因此，有必要提供一种晶圆基板的清洗装置解决上述技术问题。

技术实现思路

1、针对上述情况，为克服现有技术缺陷，本实用新型提供了一种晶圆基板的清洗装置能够方便对晶圆基板进行水平支撑，方便作业。

2、为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

3、晶圆基板的清洗装置，包括：清洗箱，清洗箱的正面安装有防护门，清洗箱内设有夹持机构，所述夹持机构的下方设有晶圆清洗设备，所述夹持机构的上方设有晶圆烘干设备，所述夹持机构包括安装在清洗箱内的两个支架，两个所述支架之间安装有固定环，固定环的中部为清洗区域，所述固定环通过安装在所述支架一侧的驱动电机驱动，驱动电机的输出轴与固定环连接，所述固定环的内侧均匀安装有三个弧形的夹持板，夹持板的内侧设有软垫，夹持板与晶圆基板相适配，夹持板能够沿着固定环的径向移动，所述固定环的中间设有水平的支撑板，所述固定环的一侧安装有驱动器，所述驱动器与所述支撑板之间通过连接板连接，所述驱动器能够驱动所述支撑板螺旋升降。

4、优选的，所述驱动器内设有安装腔，安装腔与安装在所述固定环一侧的液压泵连接，所述安装腔内安装有升降缸，所述升降缸的底部安装有螺杆，所述螺杆的底端贯穿所述驱动器与所述驱动器螺纹连接，所述螺杆的底端与所述连接板连接。

5、优选的，所述通道开设于所述驱动器内，所述第一联动腔与所述第二联动腔内均安装有联动缸，两个所述联动缸之间通过同步杆连接，即两个联动缸能够同步升降。

6、优选的，所述固定环内开设有油腔，所述油腔与所述液压泵连接，液压泵为闭式油泵，或者双向齿轮泵，油腔内开设有三个滑槽，所述滑槽内安装有滑动块，所述滑动块与所述夹持板通过导向板连接。

7、与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

8、(1)本实用新型通过设置清洗箱、晶圆清洗设备、晶圆烘干设备和夹持机构，能够方便对晶圆基板的边缘进行夹持、双面清洗和烘干，通过设置在固定环中间设有能够移动升降的支撑板，能够方便对晶圆基板进行水平支撑，对晶圆基板起到辅助固定作用，解放人力，方便作业；

9、(2)本实用新型通过设置安装腔、升降缸和螺杆，使用液压泵驱动升降缸升降，能够使支撑板在水平转动的同时能够同步升降；

10、(3)本实用新型通过设置第一联动腔、第二联动腔、通道、联动缸和同步杆，能够在液压泵将液压油排入驱动器内时，使升降缸上升；

11、(4)本实用新型通过设置油腔、滑槽、滑动块和导向板，能够使液压泵控制夹持板的移动。

技术特征：

1.一种晶圆基板的清洗装置，其特征在于，包括：清洗箱，所述清洗箱内设有夹持机构，所述夹持机构的下方设有晶圆清洗设备，所述夹持机构的上方设有晶圆烘干设备；所述夹持机构包括安装在清洗箱内的两个支架，两个所述支架之间安装有固定环，所述固定环与安装在所述支架一侧的驱动电机连接，所述固定环的内侧均匀安装有三个夹持板，所述固定环的中间设有支撑板，所述固定环的一侧安装有驱动器，所述驱动器能够驱动支撑板螺旋升降。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆基板的清洗装置，其特征在于，所述驱动器内设有安装腔，安装腔与安装在所述固定环一侧的液压泵连接，所述安装腔内安装有升降缸，所述升降缸的底部安装有螺杆，所述螺杆的底端贯穿所述驱动器与连接板连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆基板的清洗装置，其特征在于，所述液压泵为闭式油泵或者双向齿轮泵。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆基板的清洗装置，其特征在于，所述固定环内开设有油腔，所述油腔内开设有三个滑槽，所述滑槽内安装有滑动块，所述滑动块与所述夹持板通过导向板连接。

技术总结
本技术公开了一种晶圆基板的清洗装置。晶圆基板的清洗装置，包括：清洗箱，所述清洗箱内设有夹持机构，所述夹持机构的下方设有晶圆清洗设备，所述夹持机构的上方设有晶圆烘干设备；所述夹持机构包括安装在清洗箱内的两个支架，两个所述支架之间安装有固定环，所述固定环与安装在所述支架一侧的驱动电机连接。本技术提供的晶圆基板的清洗装置通过设置清洗箱、晶圆清洗设备、晶圆烘干设备和夹持机构，能够方便对晶圆基板的边缘进行夹持、双面清洗和烘干，通过设置在固定环中间设有能够移动升降的支撑板，能够方便对晶圆基板进行水平支撑，对晶圆基板起到辅助固定作用，解放人力，方便作业。

技术研发人员：侯承明,施宁娣,薛伸伸,曹海洋
受保护的技术使用者：百克晶半导体科技（苏州）有限公司
技术研发日：20230621
技术公布日：2024/3/21