一种X射线探测器返修承载台的制作方法

本申请涉及x射线探测器制造的，具体而言，涉及一种x射线探测器返修承载台。

背景技术：

1、x射线探测器是利用x射线对物体的穿透、差别吸收、感光及荧光作用，将物体各部分的密度分布信息投射到x射线采集和成像装置上，形成相应的影像，从而观察物体内部构造和情况。x射线探测器可广泛地应用于医疗、工业无损检测等领域。

2、x射线探测器的闪烁体封装区(例如碘化铯封装区)覆盖基板的绝大部分区域，在基板的边缘留出一些窄边区域用于粘接cof(chip on flex，or，chip on film)。cof常称覆晶薄膜，是将集成电路(ic)固定在柔性线路板上的晶粒软膜构装技术，运用软质附加电路板作为封装芯片载体将芯片与软性基板电路结合，或者单指未封装芯片的软质附加电路板。粘接cof也可称为“bonding cof”，“bonding”工艺需要借助acf(anisotropicconductive film，异方性导电胶膜)实现cof与基板的粘结，cof与基板粘结后形成电连接，然后再借助cof与电路板进行连接，以实现基板与电路板之间电信号的传输。

3、cof在基板上的粘接位置出现偏差或者有一些扭曲，可能导致cof产生应力集中问题，进而可能使cof在后期出现滑移或者撕裂的情况，导致探测器无法使用。因此为了保证生产制造的x射线探测器符合质量标准，需要对探测器进行测试和检查，如果在测试和检查中发现cof的粘接位置出现偏差或者有一些扭曲，就需要拆除cof，并重新粘接cof。

4、由于cof是利用acf粘接到基板上的，因此需要对acf进行处理，然后将cof拆除，之后还需要清理干净遗留的acf，然后再使用新的acf将cof粘接到基板上。清理acf时需要使用acf驱除液进行清洁，在涂抹acf驱除液的过程中，acf驱除液容易流淌到闪烁体封装区域中，有极大可能造成闪烁体封装区的潮解，影响产品的品质。

技术实现思路

1、本申请实施例的目的在于提供一种x射线探测器返修承载台，在返修cof并清理acf时，基本能够保障acf驱除液不再流淌至闪烁体封装区域，以降低甚至消除了acf驱除液对闪烁体封装区造成潮解的可能。

2、本申请提供的一种x射线探测器返修承载台，用于以倾斜姿态承载探测器，承载台包括基座、吸盘、真空发生器和调压阀。吸盘安装在基座上，吸盘包括吸附面，吸附面倾斜预定角度，吸盘设置有抽吸口；吸附面用于放置并吸附住探测器。真空发生器包括真空接口和气源接口，其安装在基座上，真空接口与吸盘上的抽吸口以可通断的方式连接。调压阀包括第一端口和第二端口，调压阀第一端口用于与空压机连通，调压阀第二端口与真空发生器的气源接口连通。

3、在一种可实施的方案中，吸盘的本体内部设置有与抽吸口连通的抽吸腔，吸附面上设置有多个吸附口，吸附口与抽吸腔连通。

4、在一种可实施的方案中，抽吸口的数量为两个，分别为第一抽吸口和第二抽吸口；吸附口包括第一吸附口和第二吸附口；吸附面包括第一区域和第二区域，第二区域的边界位于第一区域的边界以内；在第二区域设置有多个第二吸附口，在第二区域的边界和第一区域的边界之间设置有多个第一吸附口；抽吸腔包括第一抽吸腔和第二抽吸腔；第一抽吸腔与第一抽吸口接通，且所有第一吸附口与第一抽吸腔连通；第二抽吸腔与第二抽吸口接通，且所有第二吸附口与第二抽吸腔连通。

5、在一种可实施的方案中，吸盘包括底板和盖板，盖板上设置吸附口，底板内设置抽吸腔，底板的侧边开设与抽吸腔连通的抽吸口；其中，将盖板与底板密封扣合时，盖板盖设住抽吸腔且使吸附口与抽吸腔连通。

6、在一种可实施的方案中，真空接口与吸盘上的抽吸口通过手滑阀连接。

7、在一种可实施的方案中，在吸附面的处于倾斜最低端的边缘设置条形凸起，条形凸起高出吸附面预定高度。

8、在一种可实施的方案中，在吸附面与条形凸起的搭接处设置有引流槽，引流槽的两端延伸至吸附面的边缘。

9、在一种可实施的方案中，吸盘以可调节倾斜角度的方式安装在基座上。

10、在一种可实施的方案中，吸盘的底侧与基座通过阻尼铰链连接，与阻尼铰链的旋转轴线与吸附面平行。

11、在一种可实施的方案中，吸盘包括相互平行的第一边沿和第二边沿；吸盘的第一边沿的底部与基座通过阻尼铰链连接；吸盘的第二边沿的底部通过一长度可调节的伸缩杆连接，伸缩杆的两端分别与基座和吸盘的第二边沿的底部铰接。

12、与现有技术相比，本申请的有益效果至少包括：

13、(1)对于cof有问题的x射线探测器，将x射线探测器的基板以闪烁体封装区朝上的姿态放置在吸附面上，并将基板上具有cof的一边调整至与吸附面相一致的倾斜角度，具有预定压力的气流通过调压阀到达真空发生器，然后真空发生器产生负压，并经抽吸口使吸盘产生抽吸力，从而将x射线探测器吸附在吸附面上，对基板进行吸附固定，以防止因为移动对基板造成的划伤等。

14、(2)进一步地，吸附面以倾斜预定角度承载x射线探测器，然后在基板上待清理的cof上涂抹acf驱除液，使acf驱除液浸泡cof及acf预定时间，之后将cof拆除，再将残留的acf清理干净，然后利用新的acf将cof正确粘接即可。由于基板设置cof的一边呈与吸附面相一致的倾斜姿态，冗余的acf驱除液会沿着基板边缘向下流淌，而不会存在流至闪烁体封装区的风险，基本消除了acf驱除液对闪烁体封装区造成潮解的可能，从而保证返修cof的x射线探测器的品质基本不受影响。

15、(3)此外，本申请通过调节调压阀改变管路的气流通过截面积，进而调节到达真空发生器的气压大小，实现对吸盘吸附力的调节，从而使吸附力能够适应平面基板、柔性基板等不同的基板类型，同时，也能给不同质量大小的探测器的基板提供相适应的的吸附力，保证吸附力不至于过大产生对探测器的基板的损坏，也保证吸附力的大小满足使基板不再发生滑移的问题。

技术特征：

1.一种x射线探测器返修承载台，其特征在于，用于以倾斜姿态承载探测器，所述承载台包括：

2.根据权利要求1所述的x射线探测器返修承载台，其特征在于，所述吸盘(20)的本体内部设置有与所述抽吸口(22)连通的抽吸腔，所述吸附面(21)上设置有多个吸附口(23)，所述吸附口(23)与所述抽吸腔连通。

3.根据权利要求2所述的x射线探测器返修承载台，其特征在于，所述抽吸口(22)的数量为两个，分别为第一抽吸口(221)和第二抽吸口(222)；

4.根据权利要求2或3所述的x射线探测器返修承载台，其特征在于，所述吸盘(20)包括底板(201)和盖板(202)，所述盖板(202)上设置所述吸附口(23)，所述底板(201)内设置所述抽吸腔，所述底板(201)的侧边开设与所述抽吸腔连通的所述抽吸口；

5.根据权利要求1-3中任一项所述的x射线探测器返修承载台，其特征在于，所述真空接口与所述吸盘(20)上的所述抽吸口(22)通过手滑阀(24)连接。

6.根据权利要求1-3中任一项所述的x射线探测器返修承载台，其特征在于，在所述吸附面(21)的处于倾斜最低端的边缘设置条形凸起(211)，所述条形凸起(211)高出所述吸附面(21)预定高度。

7.根据权利要求6所述的x射线探测器返修承载台，其特征在于，在所述吸附面(21)与所述条形凸起(211)的搭接处设置有引流槽(212)，所述引流槽(212)的两端延伸至所述吸附面(21)的边缘。

8.根据权利要求1-3中任一项所述的x射线探测器返修承载台，其特征在于，所述吸盘(20)以可调节倾斜角度的方式安装在所述基座(10)上。

9.根据权利要求8所述的x射线探测器返修承载台，其特征在于，所述吸盘(20)的底侧与所述基座(10)通过阻尼铰链(50)连接，与所述阻尼铰链(50)的旋转轴线与所述吸附面(21)平行。

10.根据权利要求9所述的x射线探测器返修承载台，其特征在于，所述吸盘(20)包括相互平行的第一边沿和第二边沿；所述吸盘(20)的第一边沿的底部与所述基座(10)通过所述阻尼铰链(50)连接；所述吸盘(20)的第二边沿的底部通过一长度可调节的伸缩杆(60)连接，所述伸缩杆(60)的两端分别与所述基座(10)和所述吸盘(20)的第二边沿的底部铰接。

技术总结
本申请提供一种X射线探测器返修承载台，用于以倾斜姿态承载探测器，承载台包括基座、吸盘、真空发生器和调压阀。吸盘安装在基座上，吸盘包括吸附面，吸附面倾斜预定角度，吸盘设置有抽吸口；吸附面用于放置并吸附住探测器。真空发生器包括真空接口和气源接口，其安装在基座上，真空接口与吸盘上的抽吸口以可通断的方式连接。调压阀包括第一端口和第二端口，调压阀第一端口用于与空压机连通，调压阀第二端口与真空发生器的气源接口连通。本申请的承载台在用于返修X射线探测器基板上的COF并清理ACF时，其倾斜的吸附面承载基板，因此基本能够保障ACF驱除液不再流淌至闪烁体封装区域，以降低甚至消除了ACF驱除液对闪烁体封装区造成潮解的可能。

技术研发人员：张强,黄宇轩,张克东,郭向田
受保护的技术使用者：奕瑞影像科技（海宁）有限公司
技术研发日：20230626
技术公布日：2024/1/15