一种滑轴式导电夹紧花篮结构的制作方法

文档序号:36446026发布日期:2023-12-21 13:26阅读:53来源:国知局
技术简介:
本专利针对传统花篮夹具中固定板与滑动轴间孔洞式滑动接触导致导电性能差、影响硅片电镀质量的问题,提出通过连体弹片将多个滑动轴紧密连接的结构,利用弹片形变产生的弹力实现夹紧,同时提升导电性能。该设计通过电极片通电实现均匀电镀,结合倾斜夹点配合实现精准定位。
关键词:导电夹紧,滑轴结构

本技术涉及花篮夹具,特别涉及一种滑轴式导电夹紧花篮结构。


背景技术:

1、硅片在去胶过后进入插片工序,这时就需要使用花篮夹具对硅片进行定位夹紧。

2、目前的花篮夹具的装夹机构采用的是单面多夹点联动对硅片进行定位夹紧,虽然可以有效地提高对硅片夹紧的效率,但是安装夹点的滑动轴是贯穿两侧的固定板,并与固定板是滑动接触的,由于是采用孔洞式的滑动接触,使得固定板与滑动轴之间的导电性能会有些低,进而会影响硅片的电镀质量。


技术实现思路

1、本实用新型,提供一种滑轴式导电夹紧花篮结构,能够有效地采用连体式的弹片将多个滑动轴紧密连接在一起,可以有效地保证滑动轴的导电性能,同时可以利用连体弹片形变产生的弹力推动滑动轴对硅片进行定位夹紧。

2、为实现上述目的,提供一种滑轴式导电夹紧花篮结构,包括第一固定板和第二固定板,所述第一固定板和第二固定板之间固定连接有固定轴,所述第一固定板的左侧表面固定连接有连体弹片,所述连体弹片的左侧表面且靠近顶部边缘处固定连接有电极片,所述连体弹片的表面开设有安装孔,所述安装孔的内部通过螺母安装有滑动轴,所述滑动轴的前侧表面和后侧表面固定连接有第一夹点,所述固定轴的前侧表面和后侧表面均固定连接有第二夹点,所述滑动轴的另一端贯穿第二固定板。通过设置第一固定板和第二固定板是为了方便与固定轴和滑动轴组成一个花篮框架的作用,通过设置固定轴是为了方便保证花篮整体的稳定性的作用,通过设置连体弹片是为了方便利用弹片形变产生的弹力对滑动轴施加压力,使得第一夹点与第二夹点进行配合对硅片进行定位夹紧的作用,通过设置电极片是为了方便对整个花篮夹具进行通电,进而对硅片进行电镀操作的作用,通过设置安装孔是为了方便安装滑动轴的作用,使得滑动轴能够自由滑动的作用,通过设置滑动轴是为了方便带动第一夹点进行移,以便于对硅片进行夹紧和松开的作用。

3、根据所述的一种滑轴式导电夹紧花篮结构,所述第一夹点为向下倾斜设置,所述第二夹点为向上倾斜设置,所述第一夹点位置与第二夹点的位置相对应。通过将第一夹点向下倾斜设置,第二夹点向上设置,可以保证第一夹点和第二夹点相对应。

4、根据所述的一种滑轴式导电夹紧花篮结构,所述第一夹点与第二夹点之间安装有硅片,所述硅片的数量为多个。

5、根据所述的一种滑轴式导电夹紧花篮结构,所述固定轴的上表面固定连接有支撑块,所述支撑块的上表面与滑动轴的下表面滑动接触。通过设置支撑块是为了方便对滑动轴进行定位支撑的作用。

6、根据所述的一种滑轴式导电夹紧花篮结构,所述滑动轴的截面形状与固定轴的截面形状均为矩形,所述滑动轴的两端均固定连接有圆柱形的连接杆。通过设置圆柱形的连接杆是为了方便贯穿第一固定板和第二固定板的作用。

7、根据所述的一种滑轴式导电夹紧花篮结构,所述滑动轴上面的第一夹点与固定轴上面的第二夹点均是等距分布的。

8、本实用新型的有益效果:通过设置连体弹片,能够有效地采用连体式的弹片将多个滑动轴紧密连接在一起,可以有效地保证滑动轴的导电性能,同时可以利用连体弹片形变产生的弹力推动滑动轴对硅片进行定位夹紧。

9、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。



技术特征:

1.一种滑轴式导电夹紧花篮结构,其特征在于,包括第一固定板(1)和第二固定板(2),所述第一固定板(1)和第二固定板(2)之间固定连接有固定轴(6),所述第一固定板(1)的左侧表面固定连接有连体弹片(4),所述连体弹片(4)的左侧表面且靠近顶部边缘处固定连接有电极片(3),所述连体弹片(4)的表面开设有安装孔,所述安装孔的内部通过螺母安装有滑动轴(5),所述滑动轴(5)的前侧表面和后侧表面固定连接有第一夹点(8),所述固定轴(6)的前侧表面和后侧表面均固定连接有第二夹点(9),所述滑动轴(5)的另一端贯穿第二固定板(2)。

2.根据权利要求1所述的一种滑轴式导电夹紧花篮结构,其特征在于,所述第一夹点(8)为向下倾斜设置,所述第二夹点(9)为向上倾斜设置,所述第一夹点(8)位置与第二夹点(9)的位置相对应。

3.根据权利要求1所述的一种滑轴式导电夹紧花篮结构,其特征在于,所述第一夹点(8)与第二夹点(9)之间安装有硅片(7),所述硅片(7)的数量为多个。

4.根据权利要求1所述的一种滑轴式导电夹紧花篮结构,其特征在于,所述固定轴(6)的上表面固定连接有支撑块,所述支撑块的上表面与滑动轴(5)的下表面滑动接触。

5.根据权利要求1所述的一种滑轴式导电夹紧花篮结构,其特征在于,所述滑动轴(5)的截面形状与固定轴(6)的截面形状均为矩形,所述滑动轴(5)的两端均固定连接有圆柱形的连接杆。

6.根据权利要求1所述的一种滑轴式导电夹紧花篮结构,其特征在于,所述滑动轴(5)上面的第一夹点(8)与固定轴(6)上面的第二夹点(9)均是等距分布的。


技术总结
本技术公开了一种滑轴式导电夹紧花篮结构,其包括第一固定板和第二固定板,所述第一固定板和第二固定板之间固定连接有固定轴,所述第一固定板的左侧表面固定连接有连体弹片,所述连体弹片的左侧表面且靠近顶部边缘处固定连接有电极片,所述连体弹片的表面开设有安装孔,所述安装孔的内部通过螺母安装有滑动轴,所述滑动轴的前侧表面和后侧表面固定连接有第一夹点。通过上述结构,通过设置连体弹片,能够有效地采用连体式的弹片将多个滑动轴紧密连接在一起,可以有效地保证滑动轴的导电性能,同时可以利用连体弹片形变产生的弹力推动滑动轴对硅片进行定位夹紧。

技术研发人员:张三洋,邵玉林
受保护的技术使用者:无锡琨圣智能装备股份有限公司
技术研发日:20230627
技术公布日:2024/1/15
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