一种晶圆外观识别标记装置的制作方法

本技术涉及晶圆，尤其涉及一种晶圆外观识别标记装置。

背景技术：

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之ic产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。

2、现有的晶圆在制作完成后需要对其外观进行检测，以便对不符合规格的产品进行筛除，但如果仅仅将不符合规格的产品进行分开容易弄混，为此需要对不符合规格的产品进行标记，不过通常情况下需要先将产品筛选过后再进行标记，不仅比较麻烦，同时也可能仍然会弄混。

技术实现思路

1、基于现有的晶圆进行标记时比较麻烦且会弄混的技术问题，本实用新型提出了一种晶圆外观识别标记装置。

2、本实用新型提出的一种晶圆外观识别标记装置，包括底座，所述底座的内部设置有控制装置，所述控制装置包括齿杆、第一齿轮、第二齿轮、衔接杆和第三齿轮，所述齿杆带动第一齿轮进行转动，所述第一齿轮带动衔接杆和第二齿轮同步转动，所述第二齿轮带动第三齿轮进行转动。

3、优选地，所述底座的内部固定安装有轴承，所述衔接杆固定安装在位于上方的两个所述轴承内轴上，所述第一齿轮和第二齿轮均固定安装在衔接杆的外表面；

4、通过上述技术方案，衔接杆安装在两个轴承的内轴上，让衔接杆能够稳定地在底座内转动，进而保证第一齿轮和第二齿轮保持稳定进行转动。

5、优选地，位于下方的两个所述轴承内轴上固定安装有转动杆，所述第三齿轮固定安装在转动杆的外表面，所述第三齿轮的外表面与第二齿轮的外表面啮合；

6、通过上述技术方案，转动杆能够在轴承的内轴上稳定进行转动，保证第三齿轮保持稳定进行转动，第二齿轮带动第三齿轮转动。

7、优选地，所述底座的内部滑动插接有齿板，所述齿板的上表面与第三齿轮的外表面啮合，所述齿板的上表面固定安装有滑杆，所述滑杆的上端固定安装有推板；

8、通过上述技术方案，第三齿轮转动会带动齿板进行水平移动，齿板带动滑杆和推板同时进行水平移动，推板会将物料进行推动。

9、优选地，所述底座的上表面固定安装有安置台，所述安置台的上表面固定安装有限位杆，两个所述限位杆以安置台的轴线为对称中心呈对称分布，所述限位杆的上表面固定安装有物料筒；

10、通过上述技术方案，物料会卡在两个限位杆之间进行滑动，物料放在物料筒内进行储存，物料筒与安置台之间的距离等于一个半物料的厚度，保证每次仅让一个物料从物料筒下被挤出。

11、优选地，所述安置台的上表面放置有物料，所述安置台的上表面固定安装有安装台，所述安装台的外表面固定安装有摄像机，所述安装台的内部固定安装有第一气缸，所述第一气缸的气杆上固定安装有连接板，所述齿杆固定连接在连接板的下表面，所述齿杆的外表面与第一齿轮的外表面啮合；

12、通过上述技术方案，摄像机对下方安置台上的物料进行拍摄，第一气缸启动会带动连接板和齿杆进行上下移动，齿杆移动会带动第一齿轮进行转动。

13、优选地，所述第一气缸的气杆下端固定安装有印章，所述安装台的内部固定安装有控制器，所述摄像机通过导线与控制器电性连接，所述安置台的内部固定安装有第二气缸，两个所述第二气缸的前端均固定连接有推杆，所述控制器通过导线分别与第一气缸和第二气缸电性连接；

14、通过上述技术方案，第一气缸启动控制印章向下移动对物料进行盖章，控制器接收物料的照片，对照片上的物料外观进行分析，并与控制器内预先输入的正确图像进行对比，筛选出外观不正确的物料，第二气缸启动会控制推杆将物料进行推动。

15、本实用新型中的有益效果为：

16、通过设置控制装置，在对晶圆进行识别和标记时，物料置于安置台上方以及摄像机正下方，摄像机对物料进行拍摄，将电信号传输到控制器，控制器接收物料的照片，对照片上的物料外观进行分析，并与控制器内预先输入的正确图像进行对比，筛选出外观不正确的物料，当物料不符合规格时，控制器控制第一气缸启动，第一气缸启动控制印章向下移动对物料进行盖章，做出标记，同时第一气缸启动会带动连接板和齿杆进行向下移动，齿杆移动会带动第一齿轮进行逆时针转动，第二齿轮和第一齿轮同步转动，第二齿轮带动第三齿轮进行顺时针转动，进而带动齿板向左移动，齿板带动滑杆和推板同时进行移动，让推板将物料进行推动，进而对摄像机下方的物料进行更换，当物料符合规格时，控制器控制第二气缸启动，控制推杆将物料进行推动，同样能够对物料进行更换，达到了方便准确无误地对晶圆进行标记的效果。

技术特征：

1.一种晶圆外观识别标记装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的内部设置有控制装置，所述控制装置包括齿杆（2）、第一齿轮（3）、第二齿轮（4）、衔接杆（5）和第三齿轮（6），所述齿杆（2）带动第一齿轮（3）进行转动，所述第一齿轮（3）带动衔接杆（5）和第二齿轮（4）同步转动，所述第二齿轮（4）带动第三齿轮（6）进行转动。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆外观识别标记装置，其特征在于：所述底座（1）的内部固定安装有轴承（11），所述衔接杆（5）固定安装在位于上方的两个所述轴承（11）内轴上，所述第一齿轮（3）和第二齿轮（4）均固定安装在衔接杆（5）的外表面。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆外观识别标记装置，其特征在于：位于下方的两个所述轴承（11）内轴上固定安装有转动杆（12），所述第三齿轮（6）固定安装在转动杆（12）的外表面，所述第三齿轮（6）的外表面与第二齿轮（4）的外表面啮合。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆外观识别标记装置，其特征在于：所述底座（1）的内部滑动插接有齿板（13），所述齿板（13）的上表面与第三齿轮（6）的外表面啮合，所述齿板（13）的上表面固定安装有滑杆（14），所述滑杆（14）的上端固定安装有推板（15）。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆外观识别标记装置，其特征在于：所述底座（1）的上表面固定安装有安置台（16），所述安置台（16）的上表面固定安装有限位杆（17），两个所述限位杆（17）以安置台（16）的轴线为对称中心呈对称分布，所述限位杆（17）的上表面固定安装有物料筒（18）。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆外观识别标记装置，其特征在于：所述安置台（16）的上表面放置有物料（19），所述安置台（16）的上表面固定安装有安装台（110），所述安装台（110）的外表面固定安装有摄像机（111），所述安装台（110）的内部固定安装有第一气缸（112），所述第一气缸（112）的气杆上固定安装有连接板（113），所述齿杆（2）固定连接在连接板（113）的下表面，所述齿杆（2）的外表面与第一齿轮（3）的外表面啮合。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆外观识别标记装置，其特征在于：所述第一气缸（112）的气杆下端固定安装有印章（114），所述安装台（110）的内部固定安装有控制器（115），所述摄像机（111）通过导线与控制器（115）电性连接，所述安置台（16）的内部固定安装有第二气缸（116），两个所述第二气缸（116）的前端均固定连接有推杆（117），所述控制器（115）通过导线分别与第一气缸（112）和第二气缸（116）电性连接。

技术总结
本技术属于晶圆技术领域，尤其是一种晶圆外观识别标记装置，包括底座，所述底座的内部设置有控制装置，所述控制装置包括齿杆、第一齿轮、第二齿轮、衔接杆和第三齿轮。该晶圆外观识别标记装置，摄像机对物料进行拍摄，将电信号传输到控制器，控制器接收物料的照片，进行分析，当物料不符合规格时，控制器控制第一气缸启动，第一气缸启动控制印章向下移动对物料进行盖章，做出标记，同时第一气缸启动会带动连接板和齿杆进行向下移动，齿杆移动会带动第一齿轮进行逆时针转动，第二齿轮和第一齿轮同步转动，第二齿轮带动第三齿轮进行顺时针转动，进而带动齿板向左移动，齿板带动滑杆和推板同时进行移动，让推板将物料进行推动。

技术研发人员：韩春阳
受保护的技术使用者：天津天物金佰微电子有限公司
技术研发日：20230717
技术公布日：2024/3/24