一种新型湿法链式刻蚀机台的制作方法

本技术涉及光伏电池的刻蚀机台，具体涉及一种新型湿法链式刻蚀机台。

背景技术：

1、通常，参见图1，湿法链式刻蚀机台利用滚轮11带液的方式，用刻蚀液(如hf溶液)刻蚀并去除因扩散掺杂导致的硅片4的背面和侧面所生成的硼硅玻璃(bsg)或磷硅玻璃(psg)，以便后续通过抛光过程来去除多余杂质原子并使硅片4背表面(即硅片4下表面)形成抛光面，进而方便后续光伏电池的制备。

2、参见图1，湿法链式刻蚀机台中存在刻蚀液的液态循环体系，将主槽1中的刻蚀液不断流至副槽2中再流回主槽1，以形成循环，使整个湿法链式刻蚀机台的各槽体中反应物与反应产物的浓度保持一致，避免某一处反应产物浓度过高而使得刻蚀反应减慢。而且，副槽2可以在湿法链式刻蚀机台停机期间保存刻蚀液，避免刻蚀液污染以及刻蚀液中的溶液挥发所导致的刻蚀液浓度改变。而在整个湿法链式刻蚀机台中，反应产物浓度最高的区域则是与硅片4进行刻蚀反应的主槽1的液体表面(即如图2所示的主槽液面13)，所以一般会在主槽液面13将刻蚀液循环流至副槽2中，也即主槽1的反应产物浓度较高区域的刻蚀液流至副槽2中，并在副槽2中通过循环泵21将刻蚀液流回主槽1的底部，以保持整个湿法链式刻蚀机台的各区域的刻蚀液浓度一致。

3、但是，参见图2，当副槽2中的循环泵21的功率过高时，会出现副槽2内的大部分刻蚀液流入主槽1中，故而副槽2内刻蚀液的液面较低，循环泵21在吸入刻蚀液时，容易吸入空气，而被吸入的空气随即被送入主槽1中。空气进入主槽1后，会形成气泡5并快速上浮至主槽液面13而形成爆裂的气泡51，最终破裂，造成液面表面发生波动、翻液(也即主槽1的液面表面不稳定)，这会使刻蚀液容易溅射至硅片4正面(即硅片4上表面)，导致硅片4正面的局部发生刻蚀而破坏正面需要保留的bsg或psg，影响光伏电池的制备良率。

4、目前常见的解决办法是，参见图2，配液之后，刻蚀液到达图2所示的副槽液面一23处，然后打开循环泵21，将一部分刻蚀液泵至主槽1中，使刻蚀液到达如图2所示的主槽液面13处，以使滚轮11能够粘连到刻蚀液。此时，副槽2中的刻蚀液由副槽液面一23下降至副槽液面二24处，故而副槽2的上部会留出空间，副槽2中刻蚀液的液面下降，导致循环泵21存在较大的吸入空气的风险。此时，为避免这一风险，现有解决方法是：按原有组分比例来向副槽2中补加刻蚀液，使副槽2的液面重新上升至副槽液面一23处，以避免循环泵21吸入空气的风险。

5、但是，这样做存在如下隐患：整个湿法链式刻蚀机台的刻蚀液过满，尤其是副槽2的刻蚀液容易存于满载状态，导致主槽1刻蚀液无法回流入副槽2中，需要将主槽1中的刻蚀液排空，会造成药液浪费，还容易带来安全隐患。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种新型湿法链式刻蚀机台，解决因链式机台设计，导致内部产生气泡，使液面不稳定带来的不良。链式机台运行时，由于设计问题，会在溶液中产生气泡，导致翻液，破坏表面需要保留的bsg或psg，导致不良。

2、基于此，本实用新型公开了一种新型湿法链式刻蚀机台，包括连通外部空气的主槽、循环槽和副槽；

3、所述副槽内装有刻蚀液，且副槽内安装有循环泵，以将副槽内的刻蚀液经循环泵抽至循环槽内；

4、所述循环槽位于主槽的侧面，且循环槽的底部与主槽的底部连通，以使循环槽内的刻蚀液流至主槽内；

5、所述主槽内刻蚀液的主槽液面处设有若干个滚轮，滚轮的顶面放有硅片，以使滚轮沿主槽液面转动来带动刻蚀液对硅片的背面及侧面进行刻蚀，且主槽内设有供刻蚀液回流至副槽内的下回流管。

6、优选地，所述循环槽的底部设有连通主槽底部的过液通道，且过液通道设有供其开闭并控制刻蚀液流速的联通阀。

7、进一步优选地，所述循环泵的出液口连有上回流管，所述上回流管的上端出液口连通所述循环槽。

8、更进一步优选地，所述上回流管的上端出液口位于所述过液通道的上方。

9、更进一步优选地，所述上回流管的上端出液口高于所述循环槽液面。

10、优选地，所述循环槽的顶部开设有溢流口，所述溢流口连有溢流管路，所述溢流管路的下端部连通副槽；所述溢流口的高度高于滚轮的高度。

11、优选地，所述循环泵设有供副槽内的刻蚀液进入的进液管，所述进液管的进液口至少局部位于副槽内刻蚀液的副槽液面的下方。

12、进一步优选地，所述下回流管的下端出液口高于所述进液管的进液口，且下回流管的下端出液口与循环泵的进液管的进液口分隔开。

13、优选地，所述下回流管的上端进液口位于所述主槽液面处，硅片的正面位于主槽液面的上方。

14、优选地，所述副槽的底部设有供刻蚀液外排的排液口。

15、与现有技术相比，本实用新型至少包括以下有益效果：

16、本实用新型的新型湿法链式刻蚀机台，在主槽和副槽的基础上，还增设了循环槽，使副槽内的刻蚀液经循环泵先抽至循环槽，再使循环槽内的刻蚀液从其底部流至主槽内；这样，刻蚀液中的气泡会在循环槽的上方得以破裂并释放，而循环槽底部的无气泡的刻蚀液则会进入主槽内，故而杜绝了主槽内刻蚀液的气泡，能有效避免主槽内因含混有气泡的刻蚀液而导致主槽液面不稳定，从而能有效避免因主槽液面不稳定所导致的刻蚀液溅射、翻液进而刻蚀并破坏硅片的正面，进而能提高光伏电池的制备良率。而且，相较于补加刻蚀液的方式，该新型湿法链式刻蚀机台还减少了药液的使用，不需要在主槽和副槽内填满药液，还降低了安全隐患。

技术特征：

1.一种新型湿法链式刻蚀机台，其特征在于，包括连通外部空气的主槽、循环槽和副槽；

2.根据权利要求1所述的一种新型湿法链式刻蚀机台，其特征在于，所述循环槽的底部设有连通主槽底部的过液通道，且过液通道设有供其开闭并控制刻蚀液流速的联通阀。

3.根据权利要求2所述的一种新型湿法链式刻蚀机台，其特征在于，所述循环泵的出液口连有上回流管，所述上回流管的上端出液口连通所述循环槽。

4.根据权利要求3所述的一种新型湿法链式刻蚀机台，其特征在于，所述上回流管的上端出液口位于所述过液通道的上方。

5.根据权利要求3或4所述的一种新型湿法链式刻蚀机台，其特征在于，所述上回流管的上端出液口高于所述循环槽液面。

6.根据权利要求1所述的一种新型湿法链式刻蚀机台，其特征在于，所述循环槽的顶部开设有溢流口，所述溢流口连有溢流管路，所述溢流管路的下端部连通副槽；所述溢流口的高度高于滚轮的高度。

7.根据权利要求1所述的一种新型湿法链式刻蚀机台，其特征在于，所述循环泵设有供副槽内的刻蚀液进入的进液管，所述进液管的进液口至少局部位于副槽内刻蚀液的副槽液面的下方。

8.根据权利要求7所述的一种新型湿法链式刻蚀机台，其特征在于，所述下回流管的下端出液口高于所述进液管的进液口，且下回流管的下端出液口与循环泵的进液管的进液口分隔开。

9.根据权利要求1所述的一种新型湿法链式刻蚀机台，其特征在于，所述下回流管的上端进液口位于所述主槽液面处，硅片的正面位于主槽液面的上方。

10.根据权利要求1所述的一种新型湿法链式刻蚀机台，其特征在于，所述副槽的底部设有供刻蚀液外排的排液口。

技术总结
本技术涉及光伏电池的刻蚀机台技术领域，具体公开了一种新型湿法链式刻蚀机台，包括连通外部空气的主槽、循环槽和副槽；所述副槽内装有刻蚀液，且副槽内安装有循环泵，以将副槽内的刻蚀液经循环泵抽至循环槽内；所述循环槽位于主槽的侧面，且循环槽的底部与主槽的底部连通，以使循环槽内的刻蚀液流至主槽内；所述主槽内刻蚀液的主槽液面处设有若干个滚轮，滚轮的顶面放有硅片，以使滚轮沿主槽液面转动来带动刻蚀液对硅片的背面及侧面进行刻蚀，且主槽内设有供刻蚀液回流至副槽内的下回流管。该新型湿法链式刻蚀机台，通过主槽、副槽及循环槽的配合，杜绝了主槽内刻蚀液的气泡的产生，能提高电池制备良率，避免药液浪费，并能降低安全隐患。

技术研发人员：张耕,白利军,杨伟光,蒋建婷
受保护的技术使用者：泰州中来光电科技有限公司
技术研发日：20230727
技术公布日：2024/2/1