一种载板送料装置的制作方法

本技术涉及半导体制造设备领域，具体涉及一种载板送料装置。

背景技术：

1、现有技术在晶圆上制作micro led，然后将led晶粒转移到玻璃或塑胶基板上，在led晶粒转移过程中需要解决载板的自动存储问题，载板存储与取放载板动作协同问题，以及载板存储过程中导向限位及固定问题，以便保证晶粒位置稳定性。

2、在中国申请号为202211133978.6，公布日为2022.12.2的专利文献公开了一种晶粒转移设备及其晶粒转移工艺，包括储料部分、中转搬移部分、转移平台及晶粒转移部分；储料部分包括出料储存部分及回料储存部分；中转搬移部分包括出料搬移机构及回料搬移机构；晶粒转移部分包括载板承载机构及晶粒转移机构；出料储存部分存储装载有晶粒的载板，回料储存部分存储装载有晶粒的载板；出料搬移机构将出料存储部分内装载有晶粒的载板取出后搬移至载板承载机构内；回料搬移机构将空载板搬移至转移平台上；晶粒转移机构通过探针下顶，将承载机构内载板上的晶粒转移至空载板上；回料搬移机构将装载晶粒的载板从转移平台搬移至回料储存部分内。

3、该回料搬移机构搬运载板时，载板搬臂将空载板搬移到转移平台上，然后将装有晶粒的载板从转移平台搬移至回料搬臂上，回料搬臂将装有晶粒的载板输送到回料储存部分内。但是该载板搬臂只通过搬臂吸嘴吸附载板，载板只通过一表面与载板搬臂接触，载板搬臂与载板之间的连接稳定性差，容易造成载板脱落。

4、同时搬臂吸嘴设置在搬臂载座上，搬臂载座通过搬臂升降气缸驱动沿回料搬臂的高度方向活动设置，回料搬臂通过搬移组件夹取载板，而搬移组件的载板限位支撑部件通过滑入槽容置夹取到的载板，滑入槽的一侧设有封闭滑入槽端口的载板挡块，滑入槽上方设有载板限位板，载板限位板会沿载板限位支撑部件的高度方向限制载板移动，进而当回料搬臂使用搬移组件夹取载板时，受到载板限位板的阻挡，搬臂吸嘴不能沿回料搬臂的高度方向取出载板，载板搬臂与回料搬臂之间无法配合，所以不方便取放。

技术实现思路

1、本实用新型提供一种载板送料装置，第二载板搬移装置设置夹取吸附装置和夹取装置，在抓取载板时，通过夹取吸附装置对载板进行吸附，通过夹取装置对载板进行夹持，可靠性好。

2、为达到上述目的，本实用新型的技术方案是：一种载板送料装置，包括第二载板搬移装置，第二载板搬移装置包括载板横移装置和搬移夹取机构，载板横移装置固定在机架上，载板横移装置的输出端与搬移夹取机构连接。

3、搬移夹取机构包括夹取支架、夹取升降装置、夹取支撑板、夹取吸附装置和夹取装置；夹取支架与载板横移装置连接，夹取升降装置的固定端与夹取支架连接，夹取升降装置的活动端与夹取支撑板连接；夹取吸附装置穿设在夹取支撑板上，所述夹取吸附装置设有两个以上，一个以上的夹取吸附装置设置在夹取支撑板的一端，一个以上的夹取吸附装置设置在夹取支撑板的另一端。

4、夹取装置设有两个，夹取装置设置在夹取吸附装置的两端；一个夹取装置包括夹取驱动、夹取连接支架和两个以上的夹手；夹取驱动设置在夹取支撑板的一端，夹取驱动的输出端与夹取连接支架连接，两个以上的夹手设置在夹取连接支架上；位于夹取支撑板两端的夹手相对设置。

5、以上设置，设置夹取吸附装置和夹取装置，在抓取载板时，通过夹取吸附装置对载板进行吸附，通过夹取装置对载板进行夹持，夹取装置对载板进行限位，避免载板从夹取吸附装置上脱落；提升第二载板搬移装置抓取载板的稳定性。在夹取装置的两侧分别设有两个以上的夹手，两个以上的夹手通过一个连接支架与夹取驱动连接，通过设置连接支架，实现夹取装置一侧的所有夹手同步动作，保证了夹取装置一侧的所有夹手能同时与载板作用，进一步提升夹取装置对载板作用的稳定性；可靠性好。

6、进一步的，沿夹取支撑板的宽度方向，一夹取吸附装置与一夹手之间交替设置。

7、以上设置，沿夹取支撑板的宽度方向，夹取吸附装置和夹手均匀分布，抓取载板的稳定性好。

8、进一步的，夹手包括固定件，固定件与夹取支撑板平行设置，固定件的一端向远离夹取支架方向延伸有第一延伸件，第一延伸件与固定件垂直设置；第一延伸件远离固定件的一端设有第二延伸件，第二延伸件向固定件远离第一延伸件的一端延伸设置，第二延伸件与夹取吸附装置之间形成夹取容置区域。

9、以上设置，通过设置第一延伸件对载板的侧壁进行夹持，通过第二延伸件对载板的底部进行承托；同时第二延伸件与夹取吸附装置之间形成夹取容置区域；载板容置在夹取容置区域中，通过第二延伸件对载板的进行承托，提升夹手抓取载板的稳定性；同时在第二延伸件的作用下保持载板与夹取吸附装置接触。

10、进一步的，沿夹取支撑板的长度方向，在夹取支撑板的两端凹陷有缺口；缺口用于对第一延伸件进行避让。

11、以上设置，通过缺口对第一延伸件进行避让，第一延伸件能进一步向载板靠近，使得第一延伸件能压紧在载板的侧面，增大第一延伸件与载板之间的摩擦力；同时通过第一延伸件向载板进一步靠近，第二延伸件与第一延伸件连接的一端也能移动到载板下方，增大第二延伸件与载板的之间的接触面积。同时缺口沿夹取支撑板的长度方向凹陷设置，进而缺口能沿夹取支撑板的宽度方向对第一延伸件进行限位，第一延伸件稳定设置在缺口中。

12、进一步的，在第二载板搬移装置的一侧设有回料搬移装置，回料搬移装置包括回料搬移底板，在回料搬移底板的两侧设有回料支架，在两回料支架之间设有回料移动装置，回料移动装置连接有回料夹手，回料移动装置驱动回料夹手在回料支架的两端之间往复移动，回料支架的顶部设有承托部，承托部上方开放设置，第二载板搬移装置沿回料支架的高度方向在回料支架转移载板。

13、以上设置，回料支架通过承托部对载板进行承托，回料夹手用于夹持载板，通过回料移动装置驱动回料夹手移动，从而带动载板移动；同时承托部上方开放设置，承托部与第二载板搬移装置之间连通，这样夹取吸附装置能移动到承托部上方对载板进行吸附，并将载板从回料搬移装置中移出。

14、进一步的，回料支架靠近回料夹手的一端设有限位部。

15、以上设置，限位部沿回料支架的长度方向对载板进行限位，避免回料夹手夹取载板移动时，载板从回料支架上脱落。

16、进一步的，承托部远离回料移动装置的一侧凸设有凸起部。

17、以上设置，限位部沿回料支架的宽度方向对载板进行限位，避免回料夹手夹取载板移动时，载板从回料支架上脱落。

技术特征：

1.一种载板送料装置，其特征在于：包括第二载板搬移装置，第二载板搬移装置包括载板横移装置和搬移夹取机构，载板横移装置固定在机架上，载板横移装置的输出端与搬移夹取机构连接；

2.根据权利要求1所述的一种载板送料装置，其特征在于：沿夹取支撑板的宽度方向，一夹取吸附装置与一夹手之间交替设置。

3.根据权利要求1所述的一种载板送料装置，其特征在于：夹手包括固定件，固定件与夹取支撑板平行设置，固定件的一端向远离夹取支架方向延伸有第一延伸件，第一延伸件与固定件垂直设置；第一延伸件远离固定件的一端设有第二延伸件，第二延伸件向固定件远离第一延伸件的一端延伸设置，第二延伸件与夹取吸附装置之间形成夹取容置区域。

4.根据权利要求3所述的一种载板送料装置，其特征在于：沿夹取支撑板的长度方向，在夹取支撑板的两端凹陷有缺口；缺口用于对第一延伸件进行避让。

5.根据权利要求1所述的一种载板送料装置，其特征在于：在第二载板搬移装置的一侧设有回料搬移装置，回料搬移装置包括回料搬移底板，在回料搬移底板的两侧设有回料支架，在两回料支架之间设有回料移动装置，回料移动装置连接有回料夹手，回料移动装置驱动回料夹手在回料支架的两端之间往复移动，回料支架的顶部设有承托部，承托部上方开放设置，第二载板搬移装置沿回料支架的高度方向在回料支架转移载板。

6.根据权利要求5所述的一种载板送料装置，其特征在于：回料支架靠近回料夹手的一端设有限位部。

7.根据权利要求5所述的一种载板送料装置，其特征在于：承托部远离回料移动装置的一侧凸设有凸起部。

技术总结
本技术提供一种载板送料装置，包括搬移夹取机构，搬移夹取机构包括夹取吸附装置和夹取装置；通过夹取吸附装置对载板进行吸附，通过夹取装置对载板进行夹持，夹取装置对载板进行限位，避免载板从夹取吸附装置上脱落；提升第二载板搬移装置抓取载板的稳定性。在夹取装置的两侧分别设有两个以上的夹手，两个以上的夹手通过一个连接支架与夹取驱动连接，通过设置连接支架，实现夹取装置一侧的所有夹手同步动作，保证了夹取装置一侧的所有夹手能同时与载板作用，进一步提升夹取装置对载板作用的稳定性；可靠性好。

技术研发人员：卢国强,郑灿升,管宏明,王勇
受保护的技术使用者：深圳市优界科技有限公司
技术研发日：20230810
技术公布日：2024/3/12