本技术涉及半导体器件加工领域,尤其是吸盘及半导体器件加工设备。
背景技术:
1、晶圆加工时,通常需要通过真空吸附台来进行晶圆的吸附固定,如授权公告号为cn212240555u的中国实用新型专利,其揭示了一种可用的吸盘。
2、但是实际加工时,晶圆会存在不同的形状、尺寸,因此,为了适应不同形状、尺寸的晶圆加工,采用上述现有技术中的吸盘时,通常需要设置多个吸盘以适应加工需要,这就导致吸盘的成本高,且这种吸盘一次只能放置一个晶圆,使用的灵活性不佳。
技术实现思路
1、本实用新型的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题,提供一种吸盘及半导体器件加工设备。
2、本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:
3、吸盘,包括多个顶板及底板,每个所述顶板上形成有至少一个通孔,不同顶板上的通孔的形状不同,所述底板可与多个所述顶板中的任一可拆卸且密封连接,任一所述顶板与底板密封连接时,所述顶板上的每个通孔与所述底板构成一工件限位槽,所述底板朝向所述顶板的表面上形成有位于所述通孔内的吸附孔,所述吸附孔与所述底板内的内腔连通,所述底板的侧部设置有与所述内腔连通的抽气口。
4、优选的,所述吸盘中,所述通孔为多边形孔时,所述多边形孔的孔壁的每个顶角位置设置有缓冲片。
5、优选的,所述吸盘中,所述顶板上开设有沉孔,所述底板上设置有与所述沉孔对应的螺孔,所述顶板与所述底板通过位于所述沉孔中的紧固螺丝连接。
6、优选的,所述吸盘中,所述底板朝向所述顶板的表面形成有围设在所述通孔外周的密封槽,所述密封槽中设置有第一密封圈。
7、优选的,所述吸盘中,所述通孔为多个且均分圆周分布;
8、所述内腔为多个且与所述工件限位槽一一对应,每个所述内腔与一抽气口连通;
9、或,所述内腔为一个且与多个所述工件限位槽均连通。
10、优选的,所述吸盘中,所述底板包括第一板件和第二板件,所述第一板件和第二板件密封连接,所述第一板件和第二板件的相对面设置有匹配的凹槽,所述第一板件和第二板件上的所述凹槽构成所述内腔。
11、优选的,所述吸盘中,所述第一板件和第二板件通过密封胶胶接。
12、优选的,所述吸盘中,所述第一板件和第二板件通过第二螺丝连接,所述第一板件和第二板件之间通过第二密封圈密封。
13、优选的,所述吸盘中,所述抽气口处螺纹连接有快接接头。
14、半导体器件加工设备,包括如上任一所述的吸盘。
15、本实用新型技术方案的优点主要体现在:
16、本实用新型使吸盘包括可拆卸的顶板和底板,顶板上形成有通孔,在需要适应不同形状和尺寸的晶圆加工时,无需更换整个吸盘,而只要更换顶板即可,从而可以采用多个顶板来配合一个底板,极大地降低了吸盘的成本。同时,顶板上可以形成多个通孔,从而可以在吸盘上一次吸附多个晶圆,应用的灵活性更好。
17、本实用新型在通孔为多边形时,在每个顶角位置设置缓冲片,能够有效地对多边形晶圆的顶角进行保护,提高安全性。
18、本实用新型的底板和顶板采用螺钉锁紧,且通过密封圈密封,便于进行顶板的更换及保证气密性。
19、本实用新型的底板采用两个板件组装而成,这样更容易进行板件的加工且能够方便地形成内腔,更易于实现,同时采用密封圈密封能够有效保证密封性,采用螺丝连接使得拆装更容易,且在某一板件异常时,可以不用整体更换。
1.吸盘,其特征在于:包括多个顶板及底板,每个所述顶板上形成有至少一个通孔,不同顶板上的通孔的形状不同,所述底板可与多个所述顶板中的任一可拆卸且密封连接,任一所述顶板与底板密封连接时,所述顶板上的每个通孔与所述底板构成一工件限位槽,所述底板朝向所述顶板的表面上形成有位于所述通孔内的吸附孔,所述吸附孔与所述底板内的内腔连通,所述底板的侧部设置有与所述内腔连通的抽气口。
2.根据权利要求1所述的吸盘,其特征在于:所述通孔为多边形孔时,所述多边形孔的孔壁的每个顶角位置设置有缓冲片。
3.根据权利要求1所述的吸盘,其特征在于:所述顶板上开设有沉孔,所述底板上设置有与所述沉孔对应的螺孔,所述顶板与所述底板通过位于所述沉孔中的紧固螺丝连接。
4.根据权利要求3所述的吸盘,其特征在于:所述底板朝向所述顶板的表面形成有围设在所述通孔外周的密封槽,所述密封槽中设置有第一密封圈。
5.根据权利要求1所述的吸盘,其特征在于:所述通孔为多个且均分圆周分布;
6.根据权利要求1所述的吸盘,其特征在于:所述底板包括第一板件和第二板件,所述第一板件和第二板件密封连接,所述第一板件和第二板件的相对面设置有匹配的凹槽,所述第一板件和第二板件上的所述凹槽构成所述内腔。
7.根据权利要求6所述的吸盘,其特征在于:所述第一板件和第二板件通过密封胶胶接。
8.根据权利要求6所述的吸盘,其特征在于:所述第一板件和第二板件通过第二螺丝连接,所述第一板件和第二板件之间通过第二密封圈密封。
9.根据权利要求1-8任一所述的吸盘,其特征在于:所述抽气口处螺纹连接有快接接头。
10.半导体器件加工设备,其特征在于:包括如权利要求1-9任一所述的吸盘。