一种扫描电镜样品传输装置的制作方法

本技术涉及一种扫描电镜，尤其涉及一种扫描电镜样品传输装置。

背景技术：

1、扫描电子显微镜（简称扫描电镜）是研究材料微观结构的重要工具，可以表征微米/纳米尺度的形貌、结构和特征，并可以定性分析材料的成分特征，这使得扫描电镜在各类材料的研发、改进、质量检测等环节中均有大量的应用。现有的扫描电子显微镜从种类上，可大致分为大型落地式扫描电镜和小型化（桌上型）扫描电镜。近年来，随着技术的更新迭代，小型化扫描电镜日益受到科研工作者们的喜爱，其性能和市场占率有已经逐渐向传统的大型落地式电镜逼近。

2、实际使用过程中有打开样品仓取放样品两个操作步骤，而取放样品时又需要放入气体然后再重新抽真空。这一操作，一方面会增加时间成本；另一方面会使环境中的大气进入样品仓，随着使用时间的增长与使用次数的增加必然会对样品仓造成污染，也会导致样品仓内真空度的下降，明显缩短扫描电子显微镜的使用寿命，因此，样品真空传输装置的必要性就十分显著了。

3、现有技术cn219106070u中公开了一种传输装置，通过预抽室、动力设备、第一定滑轮、第二定滑轮、弹性伸缩组件、拉绳和传送组件等部件，能够解决取放样品时开闭仓门对样品仓造成的污染以及真空度降低的问题，但由于在传输过程中将样品多次运输，会造成样品位置偏移，在放进观察室时还需要重新调整位置并对焦。

4、因此，有必要对现有技术中的样品真空转移装置进行改进，以解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型克服了现有技术的不足，提供一种扫描电镜样品传输装置，旨在解决现有技术中扫描电镜样品传输装置过程中样品容易偏移的缺陷。

2、为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种扫描电镜样品传输装置，包括：机架，设置在所述机架上的调整腔，以及分别设置在所述调整腔上的抬升机构和调整机构；

3、所述抬升机构从下到上依次设置有：气缸，与所述气缸固定连接的支杆，以及与所述支杆固定连接的抬升台；所述气缸与所述机架固定连接，所述支杆带动所述抬升台竖直运动；

4、所述调整机构包括：调整盘，和与所述调整盘铰链连接的若干所述调整杆；所述调整盘位于所述气缸正下方，每个所述调整杆均铰接有一个调整块，所述调整块底部设置有滑块，所述滑块与所述调整腔滑动连接，所述调整盘底部固定设置有伸缩机构，所述伸缩机构与所述调整腔固定连接且带动所述调整盘竖直运动；

5、所述机架上分别固定设置有推动结构和真空结构。

6、本实用新型一个较佳实施例中，所述气缸侧面固定设置有若干支撑杆，所述支撑杆的数量与所述调整杆数量一致且一一对应，所述调整杆与所述支撑杆铰链连接。

7、本实用新型一个较佳实施例中，每个所述调整杆和与所述调整杆铰链连接的所述调整块均设置于同一竖直平面上，所述调整块以所述抬升台中心轴线周向分布。

8、本实用新型一个较佳实施例中，若干所述调整块均在同一水平面上运动且运动方向指向所述抬升台中心轴线。

9、本实用新型一个较佳实施例中，所述调整盘、所述气缸、所述支杆以及所述抬升台均同轴设置。

10、本实用新型一个较佳实施例中，所述机架上分别设置有进样口和传送带，所述传送带穿过所述进样口。

11、本实用新型一个较佳实施例中，所述传送带与若干所述调整块位于同一水平面。

12、本实用新型一个较佳实施例中，所述推动结构和所述真空结构均设置于所述抬升台上方，且所述推动结构和所述真空结构位于同一水平面，所述推动结构和所述真空结构分别设置于所述抬升台轴线两侧。

13、本实用新型一个较佳实施例中，所述推动结构上设置有推动杆，所述推动杆水平运动，所述真空结构上固定设置有真空器，所述真空结构上设置有真空腔，所述推动杆水平运动方向指向真空腔。

14、本实用新型一个较佳实施例中，所述调整盘上表面与水平面平行。

15、本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷，本实用新型具备以下有益效果：

16、本实用新型提供了一种扫描电镜样品传输装置，利用调整杆、调整盘、抬升机构等装置，将样品调整至抬升台上的中心区域后进行传输，相比于现有技术中的传输装置，能够在传输过程中明确且控制样品的位置，具有精确控制样品传输的功能，解决了现有技术中扫描电镜样品传输装置过程中样品容易偏移的缺陷。

17、本实用新型中，推动结构和真空结构位于同一水平面且推动杆水平运动方向指向真空腔，在抬升台将样品抬升至推动结构和真空结构所处水平面后，样品能够进行水平运动，相比于现有技术，提高了样品传输过程中样品位置的精确性。

技术特征：

1.一种扫描电镜样品传输装置，包括：机架（100），设置在所述机架（100）上的调整腔（110），以及分别设置在所述调整腔（110）上的抬升机构（200）和调整机构（300），其特征在于，

2.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：所述气缸（210）侧面固定设置有若干支撑杆（240），所述支撑杆（240）的数量与所述调整杆（320）数量一致且一一对应，所述调整杆（320）与所述支撑杆（240）铰链连接。

3.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：每个所述调整杆（320）和与所述调整杆（320）铰链连接的所述调整块（330）均设置于同一竖直平面上，所述调整块（330）以所述抬升台（230）中心轴线周向分布。

4.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：若干所述调整块（330）均在同一水平面上运动且运动方向指向所述抬升台（230）中心轴线。

5.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：所述调整盘（310）、所述气缸（210）、所述支杆（220）以及所述抬升台（230）均同轴设置。

6.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：所述机架（100）上分别设置有进样口（120）和传送带（130），所述传送带（130）穿过所述进样口（120）。

7.根据权利要求6所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：所述传送带（130）与若干所述调整块（330）位于同一水平面。

8.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：所述推动结构（400）和所述真空结构（500）均设置于所述抬升台（230）上方，且所述推动结构（400）和所述真空结构（500）位于同一水平面，所述推动结构（400）和所述真空结构（500）分别设置于所述抬升台（230）轴线两侧。

9.根据权利要求8所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：所述推动结构（400）上设置有推动杆（410），所述推动杆（410）水平运动，所述真空结构（500）上固定设置有真空器（510），所述真空结构（500）上设置有真空腔（520），所述推动杆（410）水平运动方向指向真空腔（520）。

10.根据权利要求1所述的一种扫描电镜样品传输装置，其特征在于：所述调整盘（310）上表面与水平面平行。

技术总结
本技术公开了一种扫描电镜样品传输装置，包括：抬升台、调整盘、调整杆、调整块、推动结构以及真空结构等部件，利用调整杆、调整盘、抬升机构等装置，将样品调整至抬升台上的中心区域后进行传输，能够在传输过程中明确且控制样品的位置，具有精确控制样品传输的功能，解决了现有技术中扫描电镜样品传输装置过程中样品容易偏移的缺陷；推动结构和真空结构位于同一水平面且推动杆水平运动方向指向真空腔，在抬升台将样品抬升至推动结构和真空结构所处水平面后，样品能够进行水平运动，相比于现有技术，提高了样品传输过程中样品位置的精确性。

技术研发人员：王瑞华,王均,庞帅
受保护的技术使用者：南京默思泰智能科技有限公司
技术研发日：20230821
技术公布日：2024/3/21