一种重力压紧机构及提篮的制作方法

本发明涉及晶圆承载工具，具体涉及一种重力压紧机构及提篮。

背景技术：

1、晶圆在干燥的过程中，通常将多组晶圆放置在提篮中，将提篮移动到干燥设备以便同时对多组晶圆同时进行处理，现有的提篮通过在两相对的内侧壁上开设多组卡槽，通过将晶圆两侧插入卡槽内对晶圆进行限位，但为了便于晶圆插入卡槽，卡槽的尺寸会大于晶圆的尺寸，这导致在运输或干燥的过程中，晶圆会在提篮中震动，容易导致晶圆损坏。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种重力压紧机构及提篮，解决现有技术中在运输或干燥的过程中，晶圆会在提篮中震动，容易导致晶圆损坏的问题。

2、本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

3、一种重力压紧机构，包括基座以及设于所述基座上的限位架，所述限位架包括与所述基座铰接并用于支撑晶圆的支撑部以及设于所述支撑部顶部且大体垂直于所述支撑部的侧挡部，所述侧挡板上设有缓冲片，所述缓冲片至少部分凸出所述侧挡部侧面用于与晶圆周面抵触。

4、作为本发明进一步的方案：所述基座包括两相对设置的支脚，两所述支撑脚之间形成一容置所述支撑部的容纳腔，且两所述支撑脚之间设有一轴销，所述支撑部套设在所述轴销上与所述基座铰接。

5、作为本发明进一步的方案：所述轴销上套设有一用于使所述限位架复位的扭簧。

6、作为本发明进一步的方案：所述支撑部底端开设扭簧安装槽，所述轴销下方设有一止挡板，所述扭簧位于所述扭簧安装槽内，且所述扭簧一端与所述扭簧安装槽的顶壁抵接，另一端与所述止挡板的第一侧面抵接，所述支撑部与所述侧挡部连接的一端的底部设于能够与所述止挡板的第二侧面抵接的止挡部，其中，所述第一侧面和所述第二侧面为相对面。

7、作为本发明进一步的方案：所述扭簧安装槽开设于所述支撑部底端中部，所述扭簧安装槽两侧均开设有与所述轴销适配的轴孔，所述轴销穿设在两所述轴孔内与所述限位架转动连接。

8、作为本发明进一步的方案：所述支撑部具有支撑主体以及设于所述扭簧安装槽一侧且与所述支撑主体可拆卸连接的扭簧盖板。

9、作为本发明进一步的方案：所述支撑主体侧面上开设有与所述扭簧盖板适配的盖板安装槽。

10、作为本发明进一步的方案：所述侧挡部包括侧挡主体以及设于所述侧挡主体一侧且与其可拆卸连接的夹板，所述缓冲片呈扁平状，被所述侧挡主体和所述夹板夹持固定。

11、作为本发明进一步的方案：所述缓冲片采用优力胶。

12、一种提篮,所述提篮内设有上述所述的重力压紧机构。

13、本发明的有益效果：通过设置基座和限位架，使限位架的支撑部与基座铰接，限位架的侧挡部上设置缓冲片，使晶圆在放入提篮后，被支撑部承托，支撑部在承托晶圆的同时在晶圆的重力作用下相对基座转动，带动侧挡部向晶圆靠近，直至缓冲片与晶圆周面抵接，使晶圆被缓冲片夹紧在提篮中，防止晶圆水平晃动，缓冲片与晶圆之间的摩擦力也有效防止晶圆沿竖直方向晃动。

技术特征：

1.一种重力压紧机构，用于对放置在提篮中的晶圆进行减震，其特征在于，包括基座以及设于所述基座上的限位架，所述基座包括两相对设置的支脚，两所述支脚之间形成一容纳腔，且两所述支脚之间设有一轴销，所述轴销上套设有一扭簧，所述限位架包括与所述基座铰接并用于支撑晶圆的支撑部以及设于所述支撑部顶部且大体垂直于所述支撑部的侧挡部，所述支撑部设于所述容纳腔内且套设在所述轴销上，所述侧挡部上设有缓冲片，所述缓冲片至少部分凸出所述侧挡部侧面用于与晶圆周面抵触，当晶圆压在所述支撑部上时，所述扭簧被压缩，所述限位架从初始位置转至限位位置使所述缓冲片与晶圆周面抵触；当晶圆从所述支撑部上拿开时，所述扭簧回弹，带动所述限位架从限位位置转至初始位置。

2.根据权利要求1所述的一种重力压紧机构,其特征在于，所述支撑部底端开设扭簧安装槽，所述轴销下方设有一止挡板，所述扭簧位于所述扭簧安装槽内，且所述扭簧一端与所述扭簧安装槽的顶壁抵接，另一端与所述止挡板的第一侧面抵接，所述支撑部与所述侧挡部连接的一端的底部设于能够与所述止挡板的第二侧面抵接的止挡部，其中，所述第一侧面和所述第二侧面为相对面。

3.根据权利要求2所述的一种重力压紧机构,其特征在于，所述扭簧安装槽开设于所述支撑部底端中部，所述扭簧安装槽两侧均开设有与所述轴销适配的轴孔，所述轴销穿设在两所述轴孔内与所述限位架转动连接。

4.根据权利要求2所述的一种重力压紧机构,其特征在于，所述支撑部具有支撑主体以及设于所述扭簧安装槽一侧且与所述支撑主体可拆卸连接的扭簧盖板。

5.根据权利要求4所述的一种重力压紧机构,其特征在于，所述支撑主体侧面上开设有与所述扭簧盖板适配的盖板安装槽。

6.根据权利要求1所述的一种重力压紧机构,其特征在于，所述侧挡部包括侧挡主体以及设于所述侧挡主体一侧且与其可拆卸连接的夹板，所述缓冲片呈扁平状，被所述侧挡主体和所述夹板夹持固定。

7.根据权利要求1-6任一项所述的一种重力压紧机构,其特征在于，所述缓冲片采用优力胶。

8.一种提篮,其特征在于，所述提篮内设有如权利要求1-7任一项所述的重力压紧机构。

技术总结
本发明公开了一种重力压紧机构及提篮，涉及晶圆承载工具技术领域，其中，重力压紧机构包括基座以及设于基座上的限位架，限位架包括与基座铰接用于支撑晶圆的支撑部以及设于支撑部顶部且大体垂直于支撑部的侧挡部，侧挡板上设有缓冲片，缓冲片至少部分凸出侧挡部侧面用于与晶圆周面抵触，使晶圆能够被缓冲片夹紧在提篮中，防止晶圆水平晃动，且缓冲片通过与晶圆之间的摩擦力有效防止晶圆沿竖直方向晃动。

技术研发人员：徐伟峰,洪成都
受保护的技术使用者：捷螺智能设备（苏州）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/7