一种便于限位晶圆的晶舟盒及其工作方法与流程

本发明涉及电气元件，具体涉及一种便于限位晶圆的晶舟盒及其工作方法。

背景技术：

1、晶舟盒，在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆。

2、但是，一般在运输过程中，晶圆容易发生滑动。尤其是，随着半导体装置的高积体化，提升每一枚晶圆的装置收获率，而使得晶圆的大直径化有所进展。结果，晶圆的自重变大，使得在晶圆在晶舟盒中更容易发生滑动；发生滑动是会大幅度峰低晶圆的品质，因而防止该滑动极重要；因此，研发一种便于限位晶圆的晶舟盒及其工作方法是很有必要的。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种便于限位晶圆的晶舟盒。

2、为了解决上述技术问题，本发明提供了一种便于限位晶圆的晶舟盒，包括：

3、盒本体和若干支撑限位组件，所述盒本体一侧开设有一开口；

4、若干所述支撑限位组件滑动设置在所述盒本体内侧壁，且每两个所述支撑限位组件相对设置；

5、其中，按压支撑限位组件的外活动端向下转动，以使晶圆片能够插入盒本体内；

6、外活动端向下转动时，适于带动支撑限位组件的内活动端同步向上翻转，以限位晶圆片；

7、内活动端向上翻转时，适于挤压位于下方的一个支撑限位组件向下滑动。

8、作为优选，所述支撑限位组件水平设置，且所述支撑限位组件适于沿所述盒本体高度方向竖直滑动。

9、作为优选，所述支撑限位组件包括：外按压件、内限位件、联动件和定位件，所述盒本体内侧被开设有一滑动槽，所述定位件水平设置在所述滑动槽内，且所述定位件适于在所述滑动槽内竖直滑动；

10、所述外按压件铰接在所述定位件外端侧壁；

11、所述内限位件铰接在所述定位件内端侧壁；

12、所述联动件滑动设置在所述定位件侧壁，且所述联动件分别与外按压件和所述内限位件联动；

13、其中，按压所述外按压件向下翻转时，联动件被推动向内水平滑动；

14、所述联动件适于推动所述内限位件以铰接点为轴向上翻转。

15、作为优选，所述外按压件包括：水平板、第一转轴和扇形块，所述水平板设置在所述联动件下方；

16、所述扇形块一侧固定在所述水平板上，所述扇形块的圆弧面朝向联动件；

17、所述第一转轴固定在水平板远离所述联动件的一侧，所述第一转轴可转动的设置在所述定位件侧壁。

18、作为优选，所述第一转轴外壁套设有一扭簧，所述扭簧一端固定在水平板上，所述扭簧的另一端固定在所述定位件侧壁，所述扭簧适于推动所述水平板，使其保持水平状态。

19、作为优选，所述水平板与所述扇形块之间设置有一间隙，所述联动件的一端适于插入该间隙内。

20、作为优选，所述内限位件包括：第二转轴、延长板和限位块，所述延长板倾斜固定在所述限位块下端，所述第二转轴固定在所述限位块远离所述水平板的一端；

21、所述第二转轴可转动的设置在所述联动件的一侧；

22、所述限位块靠近所述联动件的一侧设置有一斜面，所述斜面与所述联动件抵接；

23、其中，扇形块推动所述联动件水平移动时，所述联动件适于驱动所述限位块向上翻转。

24、作为优选，所述定位件远离所述扇形块的一侧固定有一定位板，所述定位板设置在对应的延长板的下方，延长板以第二转轴翻转时，适于推动所述定位板向下滑动。

25、作为优选，所述联动件包括：联动块和升降板，所述联动块内部中空，所述联动块滑动设置在所述定位件侧壁，且所述联动块一端与所述限位块抵接；

26、所述升降板可升降的设置在所述联动块下端。

27、作为优选，所述升降板上固定有若干凸块，所述凸块上端为柔性件；

28、所述联动块上开设有若干与所述凸块相适配的通槽，所述凸块适于在所述通槽内竖直滑动，且所述凸块适于凸出所述联动块的上表面。

29、作为优选，所述滑动槽内固定有两压缩弹簧，所述压缩弹簧对称设置在所述定位件的下底面的两端，所述压缩弹簧适于推动所述定位件，使其与滑动槽的内顶壁抵接。

30、另一方面，本发明还提供了一种便于限位晶圆的晶舟盒的工作方法，包括如下步骤：

31、向内按压外按压件，使其以第一转轴为轴向下翻转；扇形块适于推动联动件向内限位件方向移动；

32、晶圆片适于越过扇形块向内限位件方向移动；

33、限位块被联动块推动后，适于以第二转轴为轴向上翻转，同步的，延长板适于挤压定位块同步向下滑动；

34、晶圆片向内移动至与限位块侧壁抵接后，对外按压件的推力消失，扭簧适于推动外按压件复位翻转；

35、水平板同步向上移动，水平板适于推动升降板向上移动，以使凸块凸出联动块向上移动，至凸块与晶圆片抵接；

36、限位块与扇形块互相配合，起到限位固定晶圆片的效果。

37、本发明的有益效果是，本发明的一种便于限位晶圆的晶舟盒，通过支撑限位组件的设置，能够提高晶圆片在晶舟盒内固定的稳定性，避免了晶圆片在运输过程中出现滑动的情况，提高了晶圆片的质量。

38、本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。

39、为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

技术特征：

1.一种便于限位晶圆的晶舟盒，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种便于限位晶圆的晶舟盒，其特征在于：

3.如权利要求2所述的一种便于限位晶圆的晶舟盒，其特征在于：

4.如权利要求3所述的一种便于限位晶圆的晶舟盒，其特征在于：

5.如权利要求4所述的一种便于限位晶圆的晶舟盒，其特征在于：

6.如权利要求5所述的一种便于限位晶圆的晶舟盒，其特征在于：

7.如权利要求6所述的一种便于限位晶圆的晶舟盒，其特征在于：

8.如权利要求7所述的一种便于限位晶圆的晶舟盒，其特征在于：

9.如权利要求8所述的一种便于限位晶圆的晶舟盒，其特征在于：

10.一种便于限位晶圆的晶舟盒的工作方法，其特征在于，使用如权利要求1-9任一所述的一种便于限位晶圆的晶舟盒，包括如下步骤：

技术总结
本发明涉及电气元件，具体涉及一种便于限位晶圆的晶舟盒及其工作方法；本发明提供了一种便于限位晶圆的晶舟盒，盒本体和若干支撑限位组件，所述盒本体一侧开设有一开口；若干所述支撑限位组件滑动设置在所述盒本体内侧壁，且每两个所述支撑限位组件相对设置；其中，按压支撑限位组件的外活动端向下转动，以使晶圆片能够插入盒本体内；外活动端向下转动时，适于带动支撑限位组件的内活动端同步向上翻转，以限位晶圆片；内活动端向上翻转时，适于挤压位于下方的一个支撑限位组件向下滑动；通过支撑限位组件的设置，能够提高晶圆片在晶舟盒内固定的稳定性，避免了晶圆片的滑动。

技术研发人员：赵兵,付善任
受保护的技术使用者：上海岚玥新材料科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/8