一种晶圆输送储存装置及其工作方法与流程

本发明涉及晶圆输送，具体涉及一种晶圆输送储存装置及其工作方法。

背景技术：

1、晶圆盒，在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆。

2、但是，晶圆在输送过程中，容易出现损伤，因此，多将晶圆放置在晶圆载具上。传统的晶圆盒，在将载具与晶圆一同放置在晶圆盒内时，由于是多层互相堆叠放置，在放入和取出的过程中，夹取设备存在损伤晶圆的表面的情况。因此，研发一种晶圆输送储存装置及其工作方法是很有必要的。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种晶圆输送储存装置。

2、为了解决上述技术问题，本发明提供了一种晶圆输送储存装置，包括：

3、盒本体、载具、限位件和联动件，每两个所述限位件对称固定在所述盒本体内壁，且两限位件相对设置；

4、一个联动件对应一个限位件，所述联动件滑动设置在所述盒本体内壁；

5、所述载具适于承载晶圆片，所述载具与所述限位件联动；

6、其中，载具插入盒本体内后，载具适于推动限位件的活动端自内向外滑动，至限位件的活动端与联动件抵接；

7、限位件的活动端适于推动载具的活动端向内滑动，以使晶圆片收缩滑入载具内部。

8、作为优选，所述限位件包括：限位板、支撑架和限位块，所述限位板垂直固定在所述盒本体内壁，且每两所述限位板相对设置；

9、所述限位块滑动设置在所述限位板侧壁，且所述限位块与所述载具滑动适配；

10、所述支撑架固定在所述限位板下端，所述支撑架适于从下端承载载具。

11、作为优选，所述限位板靠近载具的一侧成圆弧状。

12、作为优选，所述限位板靠近载具的一侧设置有一限位柱，所述限位块套设在所述限位柱上；

13、所述限位柱外壁套设有一拉簧，所述拉簧的两端分别固定在限位块和限位板内端壁。

14、作为优选，相对设置的两支撑架之间的间距小于载具的直径。

15、作为优选，所述限位块靠近所述联动件的一侧设置有一凸块，所述凸块适于与联动件插接。

16、作为优选，所述联动件内端部开设有一与所述凸块相适配的卡槽，限位块沿限位柱滑动至与联动件抵接时，所述凸块适于卡入所述卡槽内。

17、作为优选，所述载具包括：承载盘和两升降板，所述承载盘内部设置有一放置仓；

18、所述升降板滑动设置在所述放置仓内，且所述升降板的一端适于凸出所述承载盘外壁。

19、作为优选，所述承载盘内固定有与所述升降板相适配的引导块，所述引导块侧壁与升降板抵接；

20、其中，升降板向外滑动时，引导块适于推动升降板水平高度升高；

21、升降板向内滑动时，引导块适于引导升降板水平高度降低。

22、作为优选，所述升降板下端固定有一与所述引导块相适配的滑块，所述滑块的斜面与所述引导块的斜面抵接。

23、作为优选，所述盒本体上铰接有两拉手，两所述拉手对称设置。

24、另一方面，本发明还提供了一种晶圆输送储存装置的工作方法，包括如下步骤：

25、晶圆片水平放置在载具上，升降板适于支撑晶圆片，此时，两升降板的外端凸出承载盘外壁；

26、将载具插入盒本体内，承载盘在插入两限位板之间的过程中，适于与限位块抵接，承载盘适于推动两限位块，使其向联动件方向滑动；

27、至限位块与联动件抵接；

28、限位块在向联动件的方向滑动的过程中，适于推动升降板向内滑动，引导块适于引导升降板，使其水平高度降低，此时，晶圆片适于收缩在承载盘内；

29、需要取出承载盘时，向外拉动联动件，以使联动件与限位块分离，拉簧适于拉动限位块向远离联动件的方向移动，限位块适于推动承载盘，使其向盒本体外部方向移动。

30、本发明的有益效果是，本发明的一种晶圆输送储存装置，通过载具和限位件的配合，能够在储存晶圆片时，使得晶圆片收缩在载具内，避免了运输和夹取时损伤上下层载具内的晶圆片。

31、本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。

32、为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

技术特征：

1.一种晶圆输送储存装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

3.如权利要求2所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

4.如权利要求3所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

5.如权利要求4所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

6.如权利要求5所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

7.如权利要求6所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

8.如权利要求7所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

9.如权利要求8所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

10.如权利要求9所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

11.如权利要求10所述的一种晶圆输送储存装置，其特征在于：

12.一种晶圆输送储存装置的工作方法，其特征在于，如权利要求11所述的一种晶圆输送储存装置，包括如下步骤：

技术总结
本发明涉及晶圆输送技术领域，具体涉及一种晶圆输送储存装置及其工作方法；本发明提供了一种晶圆输送储存装置，包括：盒本体、载具、限位件和联动件，每两个所述限位件对称固定在所述盒本体内壁，且两限位件相对设置；一个联动件对应一个限位件，所述联动件滑动设置在所述盒本体内壁；所述载具适于承载晶圆片，所述载具与所述限位件联动；其中，载具插入盒本体内后，载具适于推动限位件的活动端自内向外滑动，至限位件的活动端与联动件抵接；限位件的活动端适于推动载具的活动端向内滑动，以使晶圆片收缩滑入载具内部；通过载具和限位件的配合，能够在储存晶圆片时，使得晶圆片收缩在载具内，避免了运输和夹取过程中晶圆片被损伤。

技术研发人员：赵兵,付善任
受保护的技术使用者：常州岚玥新材料科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/11