本技术涉及半导体检测，特别涉及一种晶圆夹持旋转机构。
背景技术：
1、晶圆在生产过程中，需要对其外缘进行外观检测，以确保合格出厂。现有技术中，通常会采用夹持旋转机构来夹持和旋转晶圆。夹持旋转机构包括旋转台、设置在旋转台的转盘上的夹持件和与夹持件传动连接的夹持驱动件，夹持件数量有多个，且沿着转盘的周向间隔布置，夹持驱动件可驱动夹持件夹紧或松开晶圆。然而采用上述结构，夹持件和夹持驱动件均设置在转盘上，为了确保转盘具有足够的安装空间，转盘外径势必较大，导致其空间适应性较差。
2、因此，有必要对现有技术予以改良以克服现有技术中的所述缺陷。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种晶圆夹持旋转机构，能够可靠夹持或松开晶圆的同时，空间适应性佳。
2、本实用新型的目的是通过以下技术方案实现：一种晶圆夹持旋转机构，包括：
3、旋转台，包括旋转本体和与所述旋转本体旋转端相接的转盘；
4、多个活动夹持件，与所述转盘活动连接，并可移至夹持状态或松开状态；
5、顶升组件，设置在所述旋转本体上，且位于所述转盘下方；
6、传动组件，包括传动杆和传动环，所述传动杆可沿着所述转盘的轴线方向活动地穿设于所述转盘中，所述传动杆的上端伸出所述转盘，并与所述活动夹持件传动配合，所述传动环承载于所述顶升组件上，并与所述传动杆的下端固定连接；
7、复位结构，用于提供驱使所述活动夹持件移向所述夹持状态的作用力；
8、其中，所述传动环适于在所述顶升组件的顶升下沿着所述转盘的轴线方向上升，所述传动杆适于随所述传动环同步上升，并推动所述活动夹持件由所述夹持状态切换至所述松开状态。
9、进一步地，所述晶圆夹持旋转机构包括多个与所述转盘固定连接的固定夹持件，所述活动夹持件和所述固定夹持件沿着所述转盘的周向交替布置，且每一所述活动夹持件均与一所述固定夹持件相对设置。
10、进一步地，所述顶升组件包括：
11、顶升驱动件，与所述旋转本体固定连接；
12、支撑环，承载于所述顶升驱动件，并与所述顶升驱动件的输出端固定连接；
13、第一滚轮，与所述支撑环转动连接，且相对所述支撑环的顶面凸出；
14、其中，所述顶升驱动件和所述第一滚轮的数量均为多个，且沿着所述支撑环的周向均匀布置，所述传动环承载于所述第一滚轮上。
15、进一步地，所述传动环、所述支撑环和所述转盘同轴布置。
16、进一步地，所述转盘沿其轴线方向贯通开设有安装孔，所述传动组件包括固定穿设于所述安装孔内的直线轴承，所述传动杆穿设于所述直线轴承中，并可沿着所述直线轴承的轴线方向滑动。
17、进一步地，所述传动杆的外周环设有一圈凸缘，所述凸缘与所述直线轴承的上端面相对设置。
18、进一步地，所述传动杆沿着所述传动环的周向间隔布置有多个，多个所述传动杆与所述活动夹持件一一对应，所述安装孔和所述直线轴承与所述传动杆一一对应。
19、进一步地，所述传动组件还包括：
20、导套，套设在所述传动杆外，且承载于所述传动环；
21、第一弹性件，套设在所述直线轴承和所述导套外；
22、其中，所述直线轴承包括与所述传动环相对的法兰部，所述第一弹性件的两端分别与所述传动环和所述法兰部相接触。
23、进一步地，所述传动杆的上端转动连接有第二滚轮，所述活动夹持件包括传动块，所述传动块具有与所述第二滚轮相配合的传动斜面，所述第二滚轮适于在所述传动杆上升过程中推动所述传动斜面，并驱使所述活动夹持件移向所述松开状态。
24、进一步地，所述复位结构数量有多个，且与所述活动夹持件一一对应，所述复位结构包括第二弹性件和固定在所述转盘上的安装柱，所述第二弹性件的伸缩方向与所述活动夹持件的移动方向一致，所述第二弹性件的一端与所述活动夹持件相接，另一端与所述安装柱相接。
25、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：本实用新型通过设置位于转盘下方的顶升组件和传动组件，顶升组件可对传动组件进行顶升，以驱使传动组件推动活动夹持件由夹持状态切换至松开状态，且通过设置复位结构，当顶升组件下降时，复位结构能够提供作用力驱使活动夹持件由松开状态复位至夹持状态，无需在转盘上设置驱动活动夹持件的驱动结构，从而避免增大转盘的外径，提高空间适应性。
1.一种晶圆夹持旋转机构，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的晶圆夹持旋转机构，其特征在于，所述晶圆夹持旋转机构包括多个与所述转盘（120）固定连接的固定夹持件（220），所述活动夹持件（210）和所述固定夹持件（220）沿着所述转盘（120）的周向交替布置，且每一所述活动夹持件（210）均与一所述固定夹持件（220）相对设置。
3.如权利要求2所述的晶圆夹持旋转机构，其特征在于，所述顶升组件（300）包括：
4.如权利要求3所述的晶圆夹持旋转机构，其特征在于，所述传动环（420）、所述支撑环（320）和所述转盘（120）同轴布置。
5.如权利要求2所述的晶圆夹持旋转机构，其特征在于，所述转盘（120）沿其轴线方向贯通开设有安装孔（121），所述传动组件（400）包括固定穿设于所述安装孔（121）内的直线轴承（430），所述传动杆（410）穿设于所述直线轴承（430）中，并可沿着所述直线轴承（430）的轴线方向滑动。
6.如权利要求5所述的晶圆夹持旋转机构，其特征在于，所述传动杆（410）的外周环设有一圈凸缘（411），所述凸缘（411）与所述直线轴承（430）的上端面相对设置。
7.如权利要求5所述的晶圆夹持旋转机构，其特征在于，所述传动杆（410）沿着所述传动环（420）的周向间隔布置有多个，多个所述传动杆（410）与所述活动夹持件（210）一一对应，所述安装孔（121）和所述直线轴承（430）与所述传动杆（410）一一对应。
8.如权利要求5所述的晶圆夹持旋转机构，其特征在于，所述传动组件（400）还包括：
9.如权利要求1所述的晶圆夹持旋转机构，其特征在于，所述传动杆（410）的上端转动连接有第二滚轮（460），所述活动夹持件（210）包括传动块（211），所述传动块（211）具有与所述第二滚轮（460）相配合的传动斜面（212），所述第二滚轮（460）适于在所述传动杆（410）上升过程中推动所述传动斜面（212），并驱使所述活动夹持件（210）移向所述松开状态。
10.如权利要求1所述的晶圆夹持旋转机构，其特征在于，所述复位结构数量有多个，且与所述活动夹持件（210）一一对应，所述复位结构包括第二弹性件（510）和固定在所述转盘（120）上的安装柱（520），所述第二弹性件（510）的伸缩方向与所述活动夹持件（210）的移动方向一致，所述第二弹性件（510）的一端与所述活动夹持件（210）相接，另一端与所述安装柱（520）相接。